Transcript AFM原理及应用
原子力显微镜 Atomic Force Microscope 品质管理部信赖性管理科 分析解析室 顾方晗 目 显微镜的发展史 原子力显微镜的原理 结构 工作模式 应用 录 显微镜的发展历史 光学显微镜 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 光学显微镜 16世纪末，荷兰的眼镜商Zaccharias Janssen, 第一台复合式显微镜，倍数太低 透射电子显微镜（TEM） 1938年，德国工程师 Max Knoll和Ernst Ruska 制造出了世界上第一台透 射电子显微镜（TEM）。 扫描电子显微镜（SEM） 1952年，英国工程师 Charles Oatley制造 出了第一台扫描电子 显微镜（SEM）。 扫描隧道显微镜（STM） 1983年，IBM公司苏黎世实 验室的两位科学家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer 发明了扫描隧道显微镜 （STM）。 STM的原理是电子的“隧道 效应”，所以只能测导体 和部分半导体。 原子力显微镜（AFM） 1985年，IBM公司的 Binning和Stanford大学的 Quate研发出了原子力显微 镜（AFM），弥补了STM的 不足，可以用来测量任何 样品的表面。 AFM的原理 AFM是在STM的基础上发展起来的一种显 微技术。那么，首先我们先来了解下STM 的工作原理。 STM是利用原子间的隧道效应进行测量的。 隧道效应 经典物理学认为，物体越过势垒，有一阈值能量；粒子能量小于此能量则不 能越过，大于此能量则可以越过。例如骑自行车过小坡，先用力骑，如果坡 很低，不蹬自行车也能靠惯性过去。如果坡很高，不蹬自行车，车到一半就 停住，然后退回去。 量子力学则认为，即使粒子能量小于阈值能量，很多粒子冲向势垒，一部分 粒子反弹，还会有一些粒子能过去，好像有一个隧道，故名隧道效应。就像 在山坡上开一隧道，自行车从中穿过一样。可见，宏观上的确定性在微观上 往往就具有不确定性。虽然在通常的情况下，隧道效应并不影响经典的宏观 效应，因为隧穿几率极小，但在某些特丁的条件下宏观的隧道效应也会出现。 STM就是根据这种效应制成的。当针尖和样品面间距足够小时（<0.4nm）， 在针尖和样品间施加一偏置电压，便会产生隧道效应，电子会穿过势垒，在 针尖和样品间流动，形成隧道电流。在相同的偏置电压下，电流强度对针尖 和样品间的距离十分敏感，隧道电流随间距呈指数变化，样品表面的形貌影 响着隧道电流的剧烈变化，这种电流变化有计算机进行处理就可以的到样品 表面的形貌了。 STM的结构与工作过程 压电管控制电压 带电极的压电管（根据隧道 电流的的大小随时调整针尖 和样品的距离，以保持隧道 电流的恒定） 距离控制和扫 描单元 隧道电流放大 器 隧道电压（用以产 生隧道效应） 数据处理及显示 AFM的基本原理 AFM是在STM的基础上发展起来的。所不同 的是，它不是利用电子隧道效应，而是利用 原子之间的范德华力（Van Der Waals Force） 作用来呈现样品的表面特性。 假设两个原子中，一个是在悬臂的探针尖端， 另一个是在样本的表面，它们之间的作用力 会随距离的改变而变化，其作用力与距离的 关系如右图所示，当原子与原子很接近时， 彼此电子云斥力的作用大于原子核与电子云 之间的吸引力作用，所以整个合力表现为斥 力的作用，反之若两原子分开有一定距离时， 其电子云斥力的作用小于彼此原子核与电子 云之间的吸引力作用，故整个合力表现为引 力的作用。若以能量的角度来看，这种原子 与原子之间的距离与彼此之间能量的大小也 可从Lennard –Jones的公式中到另一种印证。 从公式中知道，当 r 降低到某一程度时其能 量为+E，也代表了在空间中两个原子是相当 接近且能量为正值，若假设 r 增加到某一程 度时，其能量就会为-E同时也说明了空间中 两个原子之间距离相当远的且能量为负值。 不管从空间上去看两个原子之间的距离与其 所导致的吸引力和斥力或是从当中能量的关 系来看，原子力显微镜就是利用原子之间微 妙的关系来把原子样子给呈现出来。 σ：原子的直径 r ： 原子之间的距离 AFM工作过程 原子力显微镜的基本原理是：将一个对 微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一 端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻 轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面 原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫 描时控制这种力的恒定，带有针尖的微 悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作 用力的等位面而在垂直于样品的表面方 向起伏运动。利用光学检测法或隧道电 流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各 点的位置变化，从而可以获得样品表面 的形貌。 获得样品表面形貌是通过检测微悬梁位 置的变化而实现的。检测微悬梁位置变 化的主要有：隧道电流法和激光检测法。 AFM探针的针尖 隧道电流法： 是基于STM原理实现的。可将微悬梁看 成样品，在微悬梁上还有一微小探针接触。 微悬梁和探针间施、加一偏置电压，他们之 间便产生了隧道电流。当微悬梁因为和样品 间的原子间力的作用而位置发生改变，那么 他和探针之间的位置也发生相应的变化，导 致隧道电流发生指数级的变化，那么测量原 理就变成了STM的测量原理了。 激光检测法 二极管激光器发出的激光束经过光学系统 聚焦在微悬臂背面，并从微悬臂背面反射到 由光电二极管构成的光斑位置检测器。在样 品扫描时，由于样品表面的原子与微悬臂探 针尖端的原子间的相互作用力，微悬臂将随 样品表面形貌而弯曲起伏，反射光束也将随 之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位 置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信 息。目前的AFM都是采用这种检测模式。 激光检测AFM基本原理图 检 测 激 光 光 斑 位 置 的 光 电 二 极 管 AFM的硬件结构 力检测系统 在AFM的系统中，所要检测的力是原子与原子之间 的范德华力。所以在本系统中是使用微小悬臂来检测 原子之间力的变化量。这微小悬臂有一定的规格，例 如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状，而这些 规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同， 而选择不同类型的探针。 位置检测部分： 在AFM的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用 之后，会使得悬臂摆动，所以当激光照射在悬臂的末 端时，其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变， 这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光 斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以 供SPM控制器作信号处理。 反馈系统： 在AFM的系统中，将信号经由激光检测器取入 之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为 内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷管制作的扫 描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持合适的作 用力。 AFM便是结合以上三个部分来将样品的表面特性呈现出来的：在AFM的系统中，使用微小悬臂来感测针尖与样 品之间的交互作用，这作用力会使微悬梁摆动，再利用激光将光照射在微悬梁的末端，当摆动形成时，会使反射光 的位置改变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的 调整，最后再将样品的表面特性以影像的方式给呈现出来。 AFM的几种工作模式 接触模式： 微悬臂探针紧压样品表面，检测时与样 品保持接触，作用力（斥力）通过微悬臂的 变形进行测量。 该模式下，针尖与样品表面相接触，分 辨率高，但成像时针尖对样品的作用力较大， 适合表面结构稳定的样品。 轻敲模式： 用处于共振状态、上下振荡的微悬臂探针对样品 表面进行扫描，样品表面起伏使微悬臂探针的振幅产 生相应变化，从而得到样品的表面形貌。 该模式下，扫描成像时针尖对样品进行“敲击”， 两者间只有瞬间接触，能有效克服接触模式下因针尖 的作用力，尤其是横向力引起的样品损伤，适合于柔 软或吸附样品的检测。 相位移模式 作为轻敲模式的一项重要扩展技术，相移模式(相 位移模式)通过检测驱动微悬臂探针振动的信号源的 相位角与微悬臂探针实际振动的相位角之差（即两者 的相移）的变化来成像。 引起该相移的因素很多，如样品的组分、硬度、 粘弹性质等。因此利用相移模式(相位移模式)，可以 在纳米尺度上获得样品表面局域性质的丰富信息。迄 今相移模式(相位移模式)已成为原子力显微镜的一种 重要检测技术。 AFM的应用 小尺寸样品的观察： 适用于观察原子级样品，DNA分子等，在纳米材料科学、分子生物学、仿 生学等研究领域有广泛研究。 原子力显微镜对金的观测 烟草花叶病毒扫描图 沉积于云母片上的抗体分子的 AFM成像 纳米加工： 利用AFM可以对样品进行表面原子搬运，原子蚀刻，从而制造纳米器件。 用AFM针尖移动Si原子形成的IBM文字 STM针尖移动原子形成的图形文字