Transcript 2. 정전기 발생원리
정전기 관련 교육자료 교육내용(목차) ◆교육 내용 1. 静電気란 무엇인가 2. 정전기의 발생원리 3. 작업자의 대전방지 대책 4. 도전매트의 구조 5. 도전매트의 역활 6. Shielding bag 기본구조 7. 각종 접지 방법 8. 정전기 관리 필수 계측기 9. 정전기와 전하량 10. 정전기 측정방법 11. 표전전위계(정전기 Check기) 측정범위 12. 표전전위계(정전기 Check기) 측정거리 13. 정전기 관리 매뉴얼 14. 정전기 개선사례 15. 보행에의한 대전방지대책 16. 현장 정전대책 사례 17. 현장 정전기 개선예 18. 정전기 교육 작성후기 1. 정전기란 무엇인가 ･ 물체가 움직이지않고 가만이 있을 때의 전기 상태를 “정전기(静電気)”라고 한다 ･ 전기에는 + (정)전기 와 ― (부)전기 의 2종류가 있으며 모든 물체는 원자로 구성되어 있다 정전기 예 ◈ 건조한 겨울날 문의 손잡이 등 금속이 손에 닿으면, 금속에 대전되어 있던 정전기가 손가락으로 방전되어 손끝이 찌릿하게 느껴지는경우 ◈ 합성섬유의 마찰로 발생한 정전기가 대전되어 합성섬유 내의가 몸에 달라붙는 현상 ◈ 대전된 플라스틱 빗에 머리카락이 달라붙는 현상 ◈ 가연성물질에 정전기 방전으로 인해 큰 산업재해를 일으키는 경우 ♣ 이러한 정전기의 피해를 줄이기 위하여 각종 정전방지 대책이 필요하게 되었다 2. 정전기 발생원리 ･대전된 전자가 가만히있지않고 외부에너지에 의해 원자핵으로부터 탈출하여 움직였을 때 정전기가 발생하게된다, 정전기 발생 ー ー ー + ー + 陽子 ー + + + ー ー +전자와 －양자가 중성인 상태 자유전자 +5 ー ー ー 電子 전자는 광, 열등의 외부에너지에 의해 원자핵으로부터 탈출해 자유롭게 다니는 자유전자로 된다 전기적으로 정（＋）대전된 상태 ー ー ー +5 ー ー ー 전기적으로 부（- ）대전된 상태 3. 작업자의 대전방지 대책 인체는 전기적으로는 도체로 볼수 있으므로 접지를 하면 정전기를 방지할수 있읍니다. 그러나 일반적으로 작업자는 작업동작 등에 의해 계속적으로 대전 하여 정전유도를 하므로 다음과 같은 방법으로 대전방지를 할수 있다. ① 대전방지 작업화(도전화) 을 착용함으로서 인체에 대전되는 정전기를 방지할수 있다 (단, 도전화의 바닥이 청결상태에서만 효과가 있음) ② 작업자가 거의 일정한 위치에서 작업하는 경우에는 어스밴드 이용하여 직접 접지한다. (누전에 의한 감전 위험 방지을 위해 안전저항(1MΩ)을 넣어 접지시킨다) ③ 작업복 등 의복에 의해서 대전이 되는 경우, 대전방지 처리가된 작업복을 착용한다 4. 도전 매트의 구조 ▣ 우리가 흔히 말하는 도전 매트의 구조와 역활에 대해서 알아보자 2겹구조(Static-Dissipative & Conductive)로 정전기에 민감한 Device및 인체와 Mat와의 전위차 를 항상 0 Volt로 유지하여 정전기의 위험으로부터 보호한다 정전층 표면저항 : 10(7)~10(10)ohm/sq 도전층 표면저항 : 10(3)~10(6)ohm/sq 5. 도전 매트의 역활 물체에 발생된 정전하를 완전히 제거시키는 것으로 반도체 제조와전자부품 제조등에서 작업대와 바닥제로 널리 사용 된다 역활로서는 크게 ①발생된 정전기를 적절한 속도로 GROUND로 방전시키는 것과 ②더 이상 정전기를 발생시키지 않도록 하는것 이다 도전매트의 본래용도를 유지하기 위해서는 정기적인 청소가 중요하다. + - + _ - + + + _ - _ + + - + + _ _ + + + + - _ - + _ _ + + + _ _ + - + + - + - 주의:왁스등 유막이 형성되는 것으로는 청소하지 말것. + 안전저항:통상 1MΩ를 사용 6. Shielding Bag의 구조 정전기에 민감한 전자 부품이나 기판의 운반과 보관시 사용되는Shielding Bag 은 보통 아래 그림과 같이 3층구조로 되어 있다. 금속 Coating 층, Polyester 층, Polyethylene 층으로 되어 있고 금속층 (표면저항 약 10-2 Ω/Sq) 은 발생되는 정전유도를 100 micro/sec 이내에 반응하여 보관된 부품의 파괴를 방지하고 절연층으로 구성된 Polyester층은 정전기의 직접방전으로 인한 피해를 방지할 뿐만 아니라 Bag 의 맨 아래 Polyethylene층 에 Anti-Static 물질이 화학적으로 합성되어 있으므로 Bag 내부에서의 마찰로 인한 정전기의 발생을 항상 방지시켜 줍니다. 정전층 Anti-Static층 7.각종 접지 방법 1.治工具 GND 배선 연결 방법 2,設備 GND 배선 연결 방법 도전매트 안전저항 1㏁ 1㏁ 1㏁ ※ SET에 LC/LD 전원 공급 無일때 GND 배선 (1㏁부착) 3.作業台 GND 배선 연결 방법 ※ SET에 LC/LD 전원 공급시,1㏁없이 GND할것 4.바닥 도전 MAT GND 배선 연결 방법 2.5m 1㏁ 5m 1㏁ 1㏁ 5m 1㏁ 2.5m ※ 1㏁ 연결하여 GND 배선 ※ 1㏁ 연결하여 GND 배선