Transcript ppt1878 - دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج

‫دانشگاه آزاد اسالمي واحد كرج‬
‫پایان نامه های كارشناس ي ارشد‬
‫گروه ‪ :‬علوم پايه‬
‫رشته تحصيلي ‪ :‬اتمي حالت جامد‬
‫مطالعه خواص فيلم هاي نازک ‪ AI-cu‬رسوب‬
‫گذاري شده بوسيله روش کندو پاش مغناطيسي‬
‫‪DC‬‬
‫نام و نام خانوادگي دانشجو ‪ :‬آسيه محمديان روشن‬
‫‪ ،‬شماره دانشجويي ‪84324003345 :‬‬
‫به راهنمايي ‪:‬عليرضا هژبري‬
‫• چكيده‪:‬‬
‫در اين پروژه اليه نازک ‪ Al-Cu‬بوسيله دستگاه ‪ DC‬مگنترون اسپاترينگ در محدوده ضخامت‬
‫•‬
‫‪ 180-204‬نانومتر روي زير اليه هاي شيشه در دماي اتاق‪ ،‬در محيط گاز آرگون اليه نشاني شد‪.‬‬
‫فشار گاز آرگون در اين آزمايش ثابت نگه داشته شد‪ .‬اثر ضخامت فيلم روي خواص ساختاري فيلم‬
‫ها بوسيله آناليزهاي ميکروسکوپ نيروي اتمي )‪ (AFM‬و پراش اشعه )‪ X (XRD‬و ميکروسکوپ‬
‫الکتروني )‪ (SEM‬بررس ي شد و از تکنيک پروب چهارگانه نيز براي بررس ي مقاومت الکتريکي نمونه‬
‫ها بهره گرفته شد‪ .‬نتايج ‪ AFM‬آشکار مي کند که با افزايش ضخامت فيلمهاي نازک هم زمختي‬
‫سطح و هم شدت پيک ها بتدريج افزايش مي يابند‪ .‬بررس ي نتايج نشان مي دهد که در اثر افزايش‬
‫اندازه دانه هاي فيلم هاي نازک‪ ،‬مقاومت الکتريکي آنها کاهش مي يابد‪ .‬در مرحله بعد آزمايش‪،‬‬
‫نمونه ها در دماهاي ‪ 200‬و ‪600‬درجه سانتي گراد در شرايط خالء بازپخت حرارتي شدند‪ .‬اثر دماي‬
‫بازپخت حرارتي بر روي خواص الکتريکي فيلم هاي ‪ Al-Cu‬بررس ي شد‪ .‬پس از بازپخت‪ ،‬تغييراتي‬
‫روي مقاومت فيلم ها مشاهده شد که اين تغييرات را مي توان تا حدودي در نتيجه تشکيل‬
‫رسوبات مس در اثر گرم کردن نمونه ها دانست‬