Transcript 本學期特推課程積體電路製程先進技術與設備

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本學期特推課程
積體電路製程先進技術與設備
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積體電路製程先進技術與設備
 課程時程及對象

對象: 碩士班研究生

時程: 一學期, 每堂 3 HR
 課程教育目標

針對機械學程研究生, 開設半導體設備課程 ,提升學生對半導體產
業的認識，以為未來進修或就業的參考
 核心能力

了解台灣半導體產業發展趨勢

了解Fab 運作及晶片生產製程

了解半導體設備科技所運用的機械相關學門

了解半導體設備工程師的角色及重要性
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積體電路製程先進技術與設備
 針對機械系學生專長量身訂作
 深入剖析目前最先進製程與設備, 超越一般教科書內容
 台積南科廠各領域精英擔任講師 ; 講師多為成大畢業學長,
可作經驗分享
 安排晶圓廠及衛星工廠參訪, 實際體會所學
 有助未來求職時的加分
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本學期課程規劃 :
#
日期
課程名稱
講師
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2月21日
半導體產業趨勢
楊懷德 副處長
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3月7日
矽晶圓製造流程
陳國聲 教授
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3月14日
晶圓 IC 製程概論
陳國聲 教授
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3月21日
後段封裝製程概論
陳國聲 教授
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3月28日
Fab14及衛星工廠參觀
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4月11日
半導體工廠廠務系統
尤國男 經理
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4月18日
新進自動化工廠運作
王希鳴 經理
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4月25日
期中考 (報告)
曾憲華 經理
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5月2日
先進離子植入設備與實務
陳伯郁 經理
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5月9日
先進蝕刻設備與實務
Coating 技術在半導體設備的應用
黃崇銘 經理
林亦寬 博士
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5月16日
先進晶圓潔淨設備與實務
湯廣年 副理
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5月23日
奈米級黃光顯影設備與實務
林志銘 經理
13
5月30日
物理氣相沉積設備與實務
呂鴻彬 經理
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6月6日
先進平坦化設備與實務
張家誠 副理
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6月13日
Fab14及衛星工廠參觀
林俊澤 部經理
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6月20日
期末考(報告)
林俊澤 部經理
曾憲華 經理
成大機械所學生參訪
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Fab14及衛星工廠參觀 (3/28)
A組-Fab14 P1 (40人)
B組 -衛星工廠 榮眾+漢民微測 +AIBT
12:50
13:50
14:00~ 15:30
15:40 ~ 16:40
16:50 ~ 17:20
17:30
 12:50
成大出發by 遊覽車
 13:30
抵達榮眾科技 (新營)
 13:40 ~ 15:00 榮眾科技廠內參訪
 15:30
抵達AIBT (南科)
 15:30 ~ 17:30 AIBT+漢民微測參訪(可擇一)
 17:40
大合照 and 回成大by 遊覽車
© 2012 TSMC, Ltd
成大發車by 遊覽車
到tsmc P1
Fab14 簡介P1 R109
Cleanroom 參觀P1 in /P1 out
Summary
P1 R109
大合照 and 回成大by 遊覽車
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本學期評分標準 :
 (30%) 課後小考 :

每堂課由講師提供四題簡答題 (每題 25分)

每堂課最後 15 分鐘開始發考卷

小考取代點名 & Homework , 下課時請同學交給助教
 (20%) 上課發言 :

請於下課時,找助教登記

每人一學期中最少五次發問, 超過者另有加分 (+10%)

(10%) 特別加分: 期中, 期末報告發表
 (50%) 分組報告 :

期中 / 期末報告各 25%
多出席, 多發問, 認真寫報告
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上課中注意事項 :
 手機請改為震動模式
 請勿吃東西
 請勿談天
 請勿錄音, 錄影
 請勤寫筆記
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上課方式:
 共有 12堂課堂課, 及兩次校外工廠參訪 (3/21, 6/13) ,及
期中/期末報告
 課堂課由講師以現場投影片教學, 因涉及公司機密只有部
份課程提供講義
 課程中會有分組討論活動, 藉由實際案例討論, 以腦力激盪
方式讓學生融會貫通
 課程中有期中, 期末報告各一次, 可選擇課程中特定主題發
揮 (要有自己的想法)
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參考資料及書目:
 Basic

“半導體製程”, 機電與微系統動態實驗室網站,陳國聲教授

“半導體製程技術導論”,全華圖書 2012 , 蕭宏著

“半導體製程設備”, 五南, 張勁燕

“真空技術入門”, 世茂 2010 , 小宮宗治著 羅丞曜譯

“半導體潔淨技術”, 普林斯頓 2003 , 楊肇政編

“半導體製造程序”, 普林斯頓 2003 , 魏聚喜譯
 Advanced

“Handbook of semiconductor wafer cleaning technology”, Noyes pub.
1993, Werner Kern

“Glow discharge process”, John Wiley & Sons 1980, Brian Chapman
 Added

“從半導體看世界” , 遠見出版 2012 ,李雅明

“統計，讓數字說話！” , 天下出版2010,鄭惟厚譯