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半導體製程材料
Kun Shan University
http://www.ksu.edu.tw/
教學大綱
科目名稱(中
半導體製程材料 科目代碼
文)
CI8790
授課部
別
二技
授課班 CI141選修
級
應纖四Ａ
科目名稱(英 Semiconductor
文)
Materials
學分數
3
上課總
時數
3
授課教
蔡福人
師
科目類別
校訂選修科目
修課別
選修課 實習時
程
數
0
授課地
D3207
點
教學目標
使學生了解半導體製程之基本理論及材料光電性質
Kun Shan University
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教學內容
週次 教學內容
01
半導體物理原理
02
半導體物理原理
03
半導體物理原理
04
半導體元件簡介
05
半導體元件簡介
06
半導體製程介紹(一)︰黃光製程
07
半導體製程介紹(一)︰黃光製程
08
半導體製程介紹(一)︰黃光製程
09
半導體製程介紹(二)︰蝕刻製程
10
半導體製程介紹(二)︰蝕刻製程
11
半導體製程介紹(三)︰薄膜製程
12
半導體製程介紹(三)︰薄膜製程
13
半導體製程實習
14
半導體製程實習
15
半導體製程實習
16
半導體製程實習
17
半導體製程實習
18
產業參觀
19
期末測驗
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教學內容
一、使用教材(書名、作者、出版社)
半導體元件物理及製作技術、施敏、交大出版社
二、參考書目(書名、作者、出版社)
半導體製程技術導論，蕭宏著、羅正忠、張鼎張譯，歐亞書局
半導體製造技術，Quirk．Serda著、羅文雄、蔡榮輝、鄭岫盈譯，滄海書局
三、指定閱讀書籍(書名、作者、出版社)
四、教學方式
講授、實作及參觀
五、成績評量及標準
平常考查 30%
期中考查 30% (含測驗及作業)
期未考查 40% (含測驗及報告)
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