Transcript 本學期課程規劃

本學期課程規劃 :
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6/21 期末考方式
 題目: (四擇一)
1.
Wet clean process - DIW tank clean efficiency improve (如何以流場或機械力方
式提升洗淨能力)
2.
如何減輕自動化搬運系統台車行走時的軌道振動 (低頻or高頻, 如何設計減振機構)
3.
以台積十四廠巨大的廠房 (800mx200m), 如何充份運用外牆及地面, 從事節能省碳
(需有建制成本分析, 回收投資年份預估, 成效分析, 維護成本, 人力)
4.
Spin Coating process – 在均勻塗布的要求下, 如何做到儘可能減少甩掉的浪費
(規劃 spin 的加減速曲線)
 分組方式:

按照先前期中報告分組即可，不做變動

以 PPT格式撰寫, ,頁數至少10頁, 首頁要有分工說明

6/ 19 前mail 給助教, 當日需展示投影片

當日以抽籤方式安排 6 組上台報告, 每組15min (自願者全組加5分)

課後依紙本報告評分
 提示:

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請以量化或建立Model 型式(以何理論依據) 探討, 不要只以定性描述
DIW tank clean efficiency improve
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自動化搬運系統台車行走時的軌道振動
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Fab14 GigaFab 節能減碳
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Coating 光阻減量
 厚度及平坦度Control
 光祖液噴塗量 1 CC
 快速完成噴塗
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