Transcript 分子の散乱
1.固体表面と気体分子 1. 表面における分子散乱 2. 適応係数 3. 付着確率と凝縮係数 4. 理想表面と実用表面 5. 吸着平衡 6. 昇温脱離スペクトル http://www.oflab.iis.u-tokyo.ac.jp/ (Lahaye, Thesis) 1 表面の適応係数を利用した真空排気 Accommodation pump J.P.Hobson: Review of pumping by thermal molecular pressures, J. Vacuum Science and Technology A18, 1758(2000). 熱遷移:thermal transpiration λ / a 1 粘性流領域 自由分子流領域 p1 p2 1 1 n1v1 n2 v2 4 4 p1 T 1 p2 T2 2 長い配管を介して接続している場合 smooth p1 T γ 1 p2 T2 rough 0.05N HCl 100℃x100h 1.1 γ 1.3 pA γ pB 3 4 分子と固体表面の相互作用 分子間相互作用 相互作用ポテンシャル E Edis Eind Ees Eval dE F (r ) dr r 原子価相互作用 (価電子交換、共有) 永久電気双極子・四極子相互作用 誘起電気双極子・四極子 分散力(ファンデルワールス相互作用) 5 二体間相互作用 分散力相互作用 原子のまわりの電荷の揺らぎ による隣接原子の分極 原子価相互作用 電子交換による共有結合 化学結合 反結合性軌道 結合性軌道 アルゴン原子間相互作用 水素原子間相互作用 6 分子の電気双極子・四極子モーメント z + +q d ー -q r 1 z (r , z ) dq 3 4πε0 r 双極子モーメント D:デバイ d=0.1nm q=1.6 x 10-19 c (4.8x10-10 esu) 4.8D 四極子モーメント N2分子 表面における理論Ⅱ(丸善、1995)、p4. 7 分子の双極子・四極子モーメント Kr/Cu(111) 1 esu =1018D 1eV 20kcal / mole. 8 レナード・ジョーンズ ポテンシャル (Lennard-Jones) 2 斥力項 ε rε0 0 引力項 ε 2 r0 rm 9 Lenard-Jones Potential 10 1eV 20kcal / mole. (超高真空の物理)11 分子と表面の相互作用 固体全体との二体間相互作用 表面1層のみとの二体間相互作用 12 気体分子と表面の相互作用ポテンシャルの測定 分子線散乱 selective adsorption bound-state resonance カロリメトリー 吸着熱 昇温脱離スペクトル 脱離の活性化エネルギー 13 分子線散乱と表面ポテンシャル Hoinkes: Physical interaction potential of gas atoms with single crystal surfaces determined from gas surface diffraction experiment, Rev. Mod. Phys. 52, 933(1980). 入射分子の波動関数 Diffracted beam kG z 0 2 Closed-channel σgs: zero cross σss: lattice const. Bound-state channel 14 回折データの測定 γ回転 θi回転 Ei変化 15 Fig.6. H/NaCl(001) Fig.7. D/NaCl(001) 16 Fig.16. Morse potential 17 物理吸着と化学吸着 Physical adsorption: physisorption Chemical adsorption: chemisorption 結合エネルギー 表面選択性 多層吸着 解離 相互作用 大 大 なし(単層のみ) あり(場合による) 化学結合力 小 小 あり,凝縮 なし 分散力 18 物理吸着の吸着ポテンシャル(理論計算) He H H a Hs H as α(iu) : atomicpolarizability Zaremba and Kohn: Phys.Rev. B15, 1769(1977), B13, 2270(1975). 19 物理吸着希ガス分子の吸着 Da Silva: Phys.Rev.B72(2005)075424. Z (A) Z Xe (A) Z Xe (A) 20 化学吸着(酸素分子の解離吸着の模式図) 切断 結合 解離エネルギー 吸着の活性化エネルギー 吸着エネルギー(物理吸着) 物理吸着状態 吸着エネルギー(化学吸着) 化学吸着状態 脱離の活性化エネルギー Surfaces (Oxford Chemistry Primers, 1998) 21 化学吸着の電子論 反結合性 反結合性 結合性 d-バンド 結合性 s-バンド 逆供与 (back donation) 金属表面 吸着分子 孤立分子 表面の反応性 22 Si(001) c(4x2)表面での酸化反応(Terakura) 23 24 表面物理学(村田好正) 付着確率と凝縮係数 付着確率:sticking probability 表面の吸着位置(化学吸着)に 捕捉される確率 凝縮係数:condensation coefficient 表面で物理吸着する確率 多層膜に吸着する過程を含む 25 凝縮係数 (超高真空の物理) 26 付着確率 27