Transcript 1. 진공 패드

CONVUM 제품 소개
2005년 10월
CONTENTS
1.
2.
3.
4.
5.
진공 패드
압력 센서
진공 펌프
진공 발생기/절환밸브
신제품
1. 진공 패드
패드 고무의 종류와 특징
재질
칼라
특징
사용온도 및 경도
니트릴(N)주1
검은색
내유성 • 내마모성 • 내노화성 우수
-10 ~ 130℃/55⁰
실리콘(Si)
유백색
내열 •내한성 우수, 무취 •무독성
-30 ~ 200℃/55⁰
우레탄(U)
청색
내마모성 우수 • 역학적 강도 우수
0 ~ 80℃/55⁰
불소(F)주2
검은색/백색점
내열성 • 내약품성주3 우수
-20 ~ 150℃/70⁰
클로로플렌(CR)
녹색
내후성 •내오존성 •내열성 •내약품성
-/55⁰
천연고무(NR)
노란색
내마모성 •역학적 성질 우수
-/40⁰
도전성 니트릴(NE) 검은색/청색점
니트릴 + 도전성
-10 ~ 130℃/70⁰
도전성 실리콘(SE)
검은색/적색점
실리콘 + 도전성
-30 ~ 200℃/55⁰
마크레스 패드
검은색/은색점
니트릴 대비 흡착자국 1/30
-/70⁰
• 주1. 전체의 약 80%가 NBR이고 특징의 비교 기준은 NBR임.
• 주2. 바이톤(듀폰 브랜드)
• 주3. 알칼리에 약하고 산성에 강함
1. 진공 패드
패드 시리즈
패드
시리즈
특징
애플리케이션
PA
패드의 립 부분이 아주 얇은 흡착 패드(1mm이하)
필름형태의 워크
PB
자바라 패드 PJ 타입보다 립 부분이 두꺼움.
동판 • 보드
PC
3단 자바라 패드
둥근 파이프, 무늬가 있는 플라스틱, 골프공
PCD
가운데 구멍이 있는 워크의 흡착반송
CD • DVD
PD
스펀지패드
표면에 요철이 있는 워크
소구경 독포 스펀지 고무 패드
반원형 요철이 있는 워크 BGA
PDTM
PE
특주 패드
PF
표준형 흡착 패드.
동판 • 보드 등 표면이 평평한 워크
PH
심형 패드
흡착면 내부에 요철이 있는 워크
PJ
자바라 패드. 패드의 립 부분이 얇아서 밀착성이 좋음
기울기가 있는 워크 외, 종이 • 비닐에 적합
PK
금속제 심이 없는 환경패드
자동차등 ISO 14000 용 에코패드
PN
박형 패드
비닐 봉지의 입구 개폐에 적합
PQ
회전 금지 패드
방향성이 있는 워크에 적합
PR
봉재용 패드
작은 직경의 봉재에 적합
PS
PF/PJ 패드에 금형이 붙은 간단한 패드
PU
평형 헤드 진동형 패드
흡착면이 수평이 아닌 워크에 적합
PW
장환형 패드
워크 스페이스가 타원형일 때 적합
RA
신재질의 패드로 패드의 자국이 줄어듬
IC관련, 액정 관련 등의 흔적관리 업체
1. 진공 패드
패드 시리즈
PA
PB
PC
PCD
PD
PDTM
PE
PF
PH
PJ
PK
PN
PQ
PR
PS
PU
PW
1. 진공 패드
마크레스패드 시리즈-RA패드
패드 표면에 전자선(산소 플라즈마)를 조사하여
표면의 분자 구조를 변형시켜 유분 등의 유출을
방지합니다. 액정, 유리 기판 등에 최적입니다.
광선을 조사하면 고무의 분자 결합 구조가 강해집니다. 분자간의 결합을
강하게 하여 패드 성분으로 인한 흡착 자국을 경감하는 데 효과적입니다.
기존패드의 분자 이미지
RA 패드의 분자 이미지
RA 패드의 효과
분자간 결합이 강화되어 고무의 탄성율이 향상됩니다.
흡착 자국, 흡착성, 점착성 등이 경감되어 글래스 기판 반송에 최적입니다.
1. 진공 패드
마크레스패드 시리즈-CORE패드
표준 패드에 부착하여
흡착 자국 방지, 내열 사양으로 변신!
슈퍼 엔지니어 플라스틱이나 금속제의 「코어」를
PJG/PCG 패드에 붙이는 것으로 흡착 자국 방지, 내열
사양 변경이 가능합니다.
「코어」는 용도에 맞추어 형태 재질 선택이 가능합니다.
사양
•
사용 가능 패드와 직경
PJG 시리즈 (φ10～φ50)
PCG 시리즈 (φ10～φ50)
흡착 반송의 주요 적용 사례
LCD 디스플레이/유기 EL
 LCD내부의 백라이트유닛
 글래스 보드
 실리콘 웨이퍼

2. 압력센서
센서 라인업
시리즈명
개요
압력범위 kPa
MPS-２
장방형 디지털 표시방식
-101～0
MPS-３/３１
정방형 디지털 표시방식
-101～ ０、 -101～ 500、 0 ～ 1000
MPS-４
미세차압 디지털 표시방식
-101～ ０、 -2 ～ 2、
MPS-５
스텐레스 다이아프램 센서 헤드
-101～ ０、 -101～ 500、 0 ～ 1000
MPS-６
공기압용 센서헤드(16mm폭)
-101～ ０、 -101～ 500、 0 ～ 1000
MPS-８
공기압용 센서헤드(10mm폭)
-101～ ０、 -101～ 500
MPS-７１/７４/７８
디지털 표시기(１ＣＨ、４ＣＨ、 ８ＣＨ)
MPS-5/6/8 접속
MPS-９
10mm폭 초소형 디지털 표시 압력 센서
-101 ～ 0、-101～ 500
MＶＳ－０３０ＡＢ
CONVUM 탑재용
-10.1 ～ -101.2
MVS-０３５Ｇ
CONVUM 탑재용, 아나로그출력 첨부
-2.7 ～ -10..2
ＭＶＳ－０７０
CONVUM 탑재용, 디지털 표시기능 탑재
0 ～ -99.9
MVS-２０１
전자밸브제어 첨부 디지털 압력 센서
-101～ 500
ＣＶＡ－Ｖ
CVA CONVUM 탑재 전용, 기계식 진공 스위치
-33.3 ～ -73..2
2. 압력센서
경합비교(S사)
MPS-※31시리즈
MPS-※3시리즈
MPS-※3SR시리즈
MPS-※3S5시리즈
2. 압력센서
경합비교(S사)
MPS-※5시리즈
MPS-※8시리즈
MPS-※71＋74 ＋78 시리즈
2. 압력센서
경합비교(K사)
MPS-※31시리즈
MPS-※3S5 시리즈
MPS-※8＋74 시리즈
MPS-※5＋74 시리즈
2. 압력센서
경합비교(SU사)
DP2
MPS-※31 시리즈
DP-Y
MPS-※3 시리즈
MPS-※3S5 시리즈
DPH
DP5
MPS-※8＋74 시리즈
3. 진공펌프
제품라인업
CCP 시리즈
소형/로터리 펌프
모델
배기용량
도달진공도
CCP-15-L-100
15L/min
-55kPa
CCP-30-L-100
30L/min
-60kPa
CCP-40-L-100
40L/min
-60kPa
모델
배기용량
소음(dB)
VTE-3
70L/min
57
VTE-6
120L/min
59
VTE-8
160L/min
61
VTE-10
200L/min
62
모델
배기용량
소음(dB)
VLT 시리즈
VLT-10
225L/min
61
VLT-15
342L/min
63
필터내장/로터리 펌프
VLT-25
512L/min
66
VLT-40
840L/min
69
VTE 시리즈
저소음/로터리 펌프
도달진공도
-81.3kPa
도달진공도
-81.3kPa
4. 진공발생기/절환밸브
CONVUM이란?
コンプレッサ + バキューム ＝ コンバム
콘프레셔
+ 바큐무
＝ 콘바무 ＝ CONVUM
컴프레셔로 압축한 공기를 이용하여 진공을 발생시킨다.
CONVUM의 원리
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
ＣＶ 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ～3.0ｍｍ
（6종류）
가동부가 없어 내구성이 우수하다
기계식 진공 스위치 첨부 선택 가능
내약품/내가스용 CONVUM
노즐 직경：1.0ｍｍ～2.0ｍｍ（3종류）
약품/가스를 사용하는 반도체 제조 공정용
SUS303, SUS316
ALL PTFE CONVUM
제품 전체 PTFE 제작(PTFE용접)
내약품성이 우수하여 약품, 약액흡입 사용 가능
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
ＣＶA 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ～1.5ｍｍ（3종류）
전자밸브 탑재(진공발생제어용）
진공 센서, 파괴 밸브 본체 탈/부착 가능
전자식/기계식 진공 센서 선택 가능
ＣＶF 시리즈
노즐
진공
진공
필터
직경：0.5ｍｍ、1.0ｍｍ(2종류)
발생 전자밸브 탑재(CVF–2 타입)
센서 탈/부착 가능
탑재
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
ＣＶR2 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ～1.3ｍｍ(4종류)
매니폴드 가능(최고 10연)
필터/체크밸브 탑재
진공 발생/파괴 제어용 전자밸브 탑재(전기제어가능)
포펫밸브 내장으로 파괴유량이 큼/파괴유량 조절 니들 탑재
진공센서 탈/부착 가능
ＣＶ4 시리즈
노즐직경：0.5ｍｍ～1.3ｍｍ（3종류）
ＣＶ CONVUM의 전자식 진공 스위치 탑재 타입
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
MC2 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ～1.0ｍｍ(3종류)
본체 폭 20mm/수지본체로 경량/매니폴드 가능
필터/체크밸브 탑재 선택 가능
진공 발생/파괴 제어용 전자밸브 탑재(전기제어가능)
포펫밸브 내장으로 파괴유량이 큼/파괴유량 조절 니들 탑재
진공센서 탈/부착 가능
MC3 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ～1.0ｍｍ(3종류)
본체 폭 10mm/매니폴드 가능(최고 8연)
필터, 진공 발생/파괴 제어용 전자밸브 탑재
포펫밸브 내장으로 파괴유량이 큼/파괴유량 조절 니들 탑재
진공센서(V9 센서)의 부착으로 외형이 변경
배기를 개별 외부 배기(개별 포트 배기)
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
MC4 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ、0.7ｍｍ(2종류)
본체 폭 10mm/매니폴드 가능(최고 5연)
수지 본체로 경량
진공 발생/파괴 제어용 전자밸브 탑재(전기제어가능)
파괴 에어는 진공 발생용과 별도의 회로(별도의 압력 설정 가능)
진공 센서(V9센서부착가능)의 부착으로 외형 변경
파괴유량 조절 니들 탑재
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
MC5 시리즈
노즐 직경：0.5ｍｍ～ 1.0ｍｍ(3종류)
본체 폭 10mm/매니폴드 가능(최고 5연)
수지 본체로 최경량(싱글70g)/헤드탑재가능
진공 발생/파괴 속도 각 20msec 실현
진공 발생/파괴 제어용 전자밸브 탑재(전기제어가능)
10mm폭 진공 센서(V8센서)+MPS78 Indicator
파괴유량 조절가능(출하시 설정)
4. 진공발생기/절환밸브
제품 라인업
MPV3
진공라인/소형펌프 흡착반송
매니폴드화 가능(8연)
MPV4
본체폭 10mm
소형/경량(54g)-헤드장착가능
MC4와 본체 공유
MPV6
클린룸사양(0.01μ m필터장착)
더블솔레노이드 사양
VA01시리즈
컴팩트/경량
고응답성
매니폴드화 가능
5. 신제품
MC7 CONVUM
CVK 후속 모델(무게４９０ g)
대배기량/다기능형 CONVUM
노즐 사이즈 1.5mm ～2.5mm(3종류)
전자밸브 탑재 진공발생/진공파괴
필터・센서 유닛을 사용조건에 맞춰 조립이 가능
항목
형식
노즐 직경
흡입량
도달진공도
공기소비량
공급압력
㎜
L/min（ANR）
-kPa
L/min（ANR）
MPa
１５ＨＳ
φ１．５
５５
８６．６
１００
０．５
１５ＬＳ
φ１．５
９０
５３．３
１００
０．５
２０ＨＳ
φ ２．０
９５
８６．６
１８０
０．５
２０ＬＳ
φ ２．０
１３０（１１０）※
５３．３
１８０
０．５
２５ＨＳ
φ ２． ５
１４０（１２０）※
８６．６
２６５
０．５
１５ＨＲ
φ１．５
４６
８６．６
１００
０．３５
２０ＨＲ
φ ２．０
８０
８６．６
１８０
０．３５
※ 는 체크밸브탑재시
5. 신제품
경쟁사 비교자료
흡입량 비교(L/min)
도달진공도
(-kPa)
0
60
70
80
90
VTM100L
1,060
96
64
27
3.2
MC7
140
45
25
18
-
진공도달속도(sec)
도달진공도
(-kPa)
0
60
70
80
90
VTM100L
0.007
0.165
0.255
0.41
1.152
MC7
0
0.023
0.031
0.043
(0.072)
측정기준
배관 내경 : Φ 8
배관 길이 : 1,000mm
5. 신제품
디지털 압력 센서 MVS-201
전자밸브 제어 내장
컨범 탑재 가능(MC2/MC7/CVK)
진공 레벨 자체설정으로 에어 소비량 감소
부/정압의 디지털 제어로 컨트롤라의 부담 감소
기존품 대비 I/O 배선 2개 감소
5. 신제품
HFV 시리즈
배기
포트
진공
포트
압축공기
＜ 하이플로우컨범의 특징 및 용도 ＞
흡입유량이 공급유량의 100～200％
가동부가 없는 간단한 구조
가볍고 통기성이 있는 워크의 흡착 반송
미립자물의 흡출
공기나 가스의 흡출
＜ 흡착워크 ＞
・기판
・파티클
・비부식성액체
5. 신제품
신형 2경도 ECO 패드-PKMG/PKBG시리즈
고경도
（NBR 95°)
저경도
（NBR 55°）
교환 기준 눈금
프레스공정
조립 공정
감사합니다.