Transcript PowerPoint
半导体的光发射 • 当电子与空穴分别注入到半导体的导带与价带, 这些电子与空穴将会发生复合并发射光子。 • 在没有任何光子存在的条件下,辐射几率就是半 导体电子的自发辐射几率。 • 但这个结论的先决条件是:在电子状态𝑘处,同 时有一个电子在导带,有一个空穴在价带。 • 这个条件并不总是满足的,实际情况,电子和空 穴在导带和价带都只是有一定的占有几率。 • 在计算半导体的自发辐射几率时必须考虑电子与 空穴的占有几率。 • 电子和空穴的占有几率用费米分布来求得。 自发辐射速率 𝑅(ℏ𝜔)𝑠𝑝𝑜𝑛 2 2𝑒 2 𝑛𝑟 ℏ𝜔 = 3 𝑚0 2 𝑐 3 ℏ2 1 𝑑3 𝑘 𝑝𝑖𝑓 3 (2𝜋) 2 × 𝑓𝑒 (𝐸 𝑒 𝑘 )𝑓ℎ (𝐸 ℎ 𝑘 ) × 𝛿(𝐸 𝑒 𝑘 − 𝐸 ℎ 𝑘 − ℏ𝜔)𝑚−3 𝑠 −1 𝑓𝑒 𝐸 𝑒 𝑘 的含义为:在导带中,状态𝑘位置所对应的能量 为𝐸 𝑒 𝑘 这个能量处电子的占有几率。 𝑓ℎ 𝐸 ℎ 𝑘 的含义为:在价带中,状态𝑘位置所对应的能 量为𝐸 ℎ 𝑘 这个能量处空穴的占有几率。 这也意味着在这个能量位置电子的占有几率为1 − 𝑓ℎ (𝐸 ℎ 𝑘 ) 总的辐射速率: 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 = 𝑊𝑠𝑝𝑜𝑛 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 = 𝑅 ℏ𝜔 𝑑 ℏ𝜔 𝑁𝑐𝑣 ∙ 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 ∙ 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ 𝑑 ℏ𝜔 由载流子复合几率𝑊𝑠𝑝𝑜𝑛 与载流子寿命𝜏0 的关系: 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 1 = 𝜏0 𝑁𝑐𝑣 ∙ 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 ∙ 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ 𝑑 ℏ𝜔 自发辐射在光电子器件中具有重要作用,特别像LED器件, 其工作的原理就是自发辐射。 不同注入情况下的复合速率 一:如果样品为重掺杂,例如𝑛 ≫ 𝑝,这种情况下,电子的 占有几率将𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 ≅ 1。即:电子可以视作总是占满的, 因此,可以想象,这种情况,自发辐射速率将随空穴的浓 度而发生变化 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 1 ≅ 𝜏0 1 ≅ 𝜏0 𝑑 ℏ𝜔 𝑁𝑐𝑣 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ 𝑑 ℏ𝜔 𝑁ℎ 𝑓ℎ 𝐸ℎ 3 ∗ 2 𝑚𝑟 𝑚ℎ ∗ 1 𝑚𝑟 ∗ 3/2 ≅ ( ∗) 𝑝 𝜏0 𝑚 ℎ 因此在样品重掺杂,且少数载流子注入情况下,电子与空 穴的复合速率随少数载流子浓度的变化而变化。 二:强注入时,高浓度的电子和空穴同时注入, 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 ≅ 1, 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ ≅ 1,这时的自发复合速率可以写作 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 𝑛 𝑝 = = 𝜏0 𝜏0 特例:当强注入导致电子与空穴的粒子数占有几率之和 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 + 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ = 1,称为注入的反转条件。简单地, 如果此时𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 ≅ 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ ≅ 1/2,那么复合几率为 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 𝑛 𝑝 = = 4𝜏0 4𝜏0 三:小注入时,电子与空穴浓度都很低,费米分布的占 有几率都远远小于1 𝑓𝑒 ∙ 𝑓ℎ ≅ 𝑒𝑥𝑝 − 𝐸𝑐 −𝐸𝐹𝑛 𝑘𝐵 𝑇 𝑒𝑥𝑝 − 𝐸𝐹𝑝 −𝐸𝑣 𝑘𝐵 𝑇 𝑒𝑥𝑝 − ℏ𝜔−𝐸𝑔 𝑘𝐵 𝑇 计算的,小注入时的复合速率为 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 𝑛𝑝 2𝜋ℏ2 𝑚𝑟 ∗ = ( ) 2𝜏0 𝑘𝐵 𝑇𝑚𝑒 ∗ 𝑚ℎ ∗ 3/2 也可理解:将注入载流子浓度写成 𝑛 = 𝑛0 + ∆𝑛; p = 𝑝0 + ∆𝑝 ,可求出在一个基础载流子浓度上, 额外注入载流子的复合速率 额外注入载流子的复合速率为 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 ∆𝑛𝑝0 + ∆𝑝𝑛0 2𝜋ℏ2 𝑚𝑟 ∗ 3/2 = ( ) 2𝜏0 𝑘𝐵 𝑇𝑚𝑒 ∗ 𝑚ℎ ∗ 如果注入的载流子浓度∆𝑛 = ∆𝑝,则可求得,每 注入一个载流子的复合几率 𝑅𝑠𝑝𝑜𝑛 𝑝0 + 𝑛0 2𝜋ℏ2 𝑚𝑟 ∗ 1 = = ∆𝑛 2𝜏0 𝑘𝐵 𝑇𝑚𝑒 ∗ 𝑚ℎ ∗ 𝜏𝑟 相比于一个电子总可以找到一个空穴复合时的 复合寿命𝜏0 ,小注入时,载流子寿命将由于复 合几率的减小极大提高。 例题:GaAs的空穴质量𝑚ℎ = 0.45𝑚0 ,电子质量𝑚𝑒 = 0.065𝑚0 ,约化质量分别为𝑚𝑟 = 0.067𝑚0 ,求温度300K 时,注入电子空穴密度为1 × 1015 𝑐𝑚−3 时,载流子的复 合寿命𝜏𝑟 。 重掺杂与少子注入时,以及强注入时,载流子 的寿命𝜏𝑟 ≅ 𝜏0 ,典型的关系如下图 载流子的非辐射复合 • 在完整的半导体结构中,导带底和价带顶的中间是没有电 子状态的,然而在真正的半导体材料中, 由于各种不可 避免的,或者是人为的原因,在带间会有一些缺陷,这些 缺陷将形成缺陷能级。 • 这些缺陷能级具有陷阱的作用,电子,空穴可以分别从导 带和价带进入这些缺陷能级,形成非辐射复合。在半导体 的表面也会形成表面复合。 • 这种非辐射复合对半导体光电子器件将有重要的影响,在 半导体激光中,非辐射复合显然是不希望的,但如果要求 半导体光电子器件具有较高的响应速度,即降低载流子的 寿命时,非辐射复合将是非常重要的。 非辐射复合寿命 当半导体中由于各种缺陷导致在能带中间形成缺陷能级, 载流子被这些缺陷能级捕获,其捕获截面为𝜎,载流子的 热运动速度为𝑣𝑡ℎ , 1 ∗ 2 3 𝑚 𝑣𝑡ℎ = 𝑘𝐵 𝑇 2 2 当该缺陷能级处电子与空穴的占有几率均为1时,缺陷的 密度为𝑁𝑡 ,电子与空穴在该能级的非辐射复合几率 𝑅𝑛𝑟 = 𝑁𝑡 ∙ 𝑣𝑡ℎ ∙ 𝜎 对应非辐射复合几率的非辐射复合寿命为 𝜏𝑛𝑟 1 = 𝑅𝑛𝑟 例题:GaAs结区的缺陷密度𝑁𝑡 =1 ∙ 1016 𝑐𝑚−3 , 缺陷能级的捕获截面𝜎 = 1 ∙ 10−14 𝑐𝑚2 ,求GaAs 结温温度77K与300K时,载流子的非辐射复合寿 命𝜏𝑛𝑟 。 非辐射复合:Auger过程 载流子从高能级向低能级跃迁,发生电子-空穴复 合时,复合释放的能量传递给另一个载流子,使这 个载流子被激发到更高的能级上去,当它重新跃迁 回低能级时,多余的能量以声子的形式释放出,这 种复合称为Auger复合。 • 随能带带隙的降低而指数级上升。 • 随温度上升而成指数级上升。 • 与载流子浓度成三次方关系。 半导体的光增益 • 一个光子撞击到半导体上,半导体价带的电子会吸收这 个光子并跃迁到半导体导带上,形成光吸收。这个过程 要求价带有一个电子存在,而导带没有电子存在。 • 如果价带没有电子存在,即形成空穴,而导带有电子存 在,这个时候光子将不会被吸收,而是诱导导带的电子 与价带的空穴复合释放出一个光子,从而得到两个光子, 形成光的放大。 • 但这种情况在自然状态下一般是不会发生的,因为电子 总是要优先填满低一级的能态,但在有载流子注入时, 这种情况会出现。 在有电子,空穴注入的情况下,半导体对光的吸收系数 𝜋𝑒 2 ℏ 𝑝𝑐𝑣 2 1 𝑔(ℏ𝜔)吸收 = ( ) 𝑁𝑐𝑣 (ℏ𝜔) ∙ (1 − 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 ) ∙ (1 − 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ ) 2𝑛𝑟 𝑐𝜀0 𝑚0 𝑚0 ℏ𝜔 𝑓 𝑒 (𝐸 𝑒 ) 电子在导带能量 𝐸 𝑒 处占有的几率。 ℎ 𝑓 ℎ (𝐸 ℎ ) 空穴在价带能量 𝐸 处占有的几率。 𝜋𝑒 2 ℏ 𝑝𝑐𝑣 2 1 𝑔(ℏ𝜔)发射 = ( ) 𝑁𝑐𝑣 (ℏ𝜔) ∙ 𝑓 𝑒 (𝐸 𝑒 ) ∙ 𝑓 ℎ (𝐸 ℎ ) 2𝑛𝑟 𝑐𝜀0 𝑚0 𝑚0 ℏ𝜔 𝑔 ℏ𝜔 = 𝑔(ℏ𝜔)吸收 − 𝑔 ℏ𝜔 发射 𝜋𝑒 2 ℏ 𝑝𝑐𝑣 2 1 = ( ) 𝑁𝑐𝑣 (ℏ𝜔) ∙ (𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 − 1 − 𝑓 ℎ 𝐸 ℎ ) 2𝑛𝑟 𝑐𝜀0 𝑚0 𝑚0 ℏ𝜔 要使得半导体处于增益状态,必须有 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 > 1 − 𝑓 ℎ (𝐸 ℎ ) ,即 𝑓 𝑒 𝐸 𝑒 > 𝑓 𝑣 (𝐸 ℎ ) • 这个条件表示在光跃迁对应的能量处,电子在 导带占有的几率大于电子在价带占有的几率。 • 热平衡时,电子总是优先占据低能态,即价带, 因此,该条件也称为粒子数的反转条件。 • 当粒子数反转分布时,光入射到半导体中可以 获得一定的增益系数,与吸收系数类似,光在 该半导体中将被放大: 𝐼 𝑧 = 𝐼0 𝑒𝑥𝑝 𝑔𝑧 【例题】计算温度为300K,与77K时,分别注入 载流子浓度为多大时,GaAs变成透明?GaAs的 有效状态密度在300K,77K时分别为𝑁𝑐300𝐾 = 4.7 ∙ 1017 𝑐𝑚−3 ,𝑁𝑣300𝐾 = 7 ∙ 1018 𝑐𝑚−3 , 𝑁𝑐77𝐾 = 6.1 ∙ 1016 𝑐𝑚−3 ,𝑁𝑣77𝐾 = 9.1 ∙ 1017 𝑐𝑚−3