stylus profiler

Download Report

Transcript stylus profiler 

Mục
Lục
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
GVHD : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
SVTH : Nguyễn Duy Khánh
Địa chỉ bạn đã tải:
http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/semin
Nơi bạn có thể thảo luận:
http://myyagy.com/mientay/
Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí:
http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html
Dự án dịch học liệu mở:
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html
Liên hệ với người quản lí trang web:
Yahoo: [email protected]
Gmail: [email protected]
 Cấu tạo
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
 Cấu tạo
Stylus Profiler
Camera
Mũi dò
Đĩa giữ mẫu
Bộ
dịch chuyển
Vít điều chỉnh
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g
Bộ biến đổi vi sai
tuyến tính
(LVDT)
Stylus Profiler
Tín hiệu AC
• Bộ khuếch đại
• Bộ lọc
Bộ chuyển đổi A-D
Mũi dò - Tip
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Độ dày màng
Mẫu
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g
~1.016mm
Bộ biến đổi vi sai
tuyến tính
Mũi dò - Tip
(LVDT)
~880 m
Mẫu
Stylus Profiler
Mũi dò – Tip
• Hình
dạng
loại chính : Ball-stylus và Chisel-Stylus
Tín
hiệu: 2AC
• Kích thước :
Bộ mặt
khuếch
*• Bề
mịnđại
< 2m
*• Bề
Bộ mặt
lọc nhám : 2 – 10 m
• Vật liệu :
Bộ chuyển đổi A-D
* Bề mặt kim loại : Saphere, Ruby
* Bề mặt thuỷ tinh : SiN
• Lực kéo
Ball tip :
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Giảm tín hiệu nhiễu
• Độ dày màng
• Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò
• Sử dụng cho nhiều loại vật liệu
Chisel tip :
• Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao
Ball tip
Chisel tip
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g
Stylus Profiler
Tín hiệu AC
~1.016mm
• Bộ khuếch đại
~880 m
Scan direction
• Bộ lọc
Bộ chuyển đổi A-D
Barrier
Height
~880 nm
Mẫu
Ball tip :
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Giảm tín hiệu nhiễu
• Độ dày màng
• Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò
• Sử dụng cho nhiều loại vật liệu
Chisel tip :
• Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao
Ball tip
Chisel tip
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g
Stylus Profiler
Tín hiệu AC
~1.016mm
• Bộ khuếch đại
~880 m
Scan direction
• Bộ lọc
Bộ chuyển đổi A-D
Barrier
Height
~880 nm
Mẫu
Ball tip :
• Hình thái bề mặt (2D-3D)
• Giảm tín hiệu nhiễu
• Độ dày màng
• Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò
• Sử dụng cho nhiều loại vật liệu
Chisel tip :
• Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao
Ball tip
Chisel tip
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g
Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT)
Stylus Profiler
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Cấu tạo
Nguyên tắc hoạt động
Một số ứng dụng
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
L
RP
RV
Z
1
R A =  z dx
L0
RT
L
o RA : Độ gồ ghề trung bình
o RP : Độ lớn đỉnh cao nhất nằm trên đường chuẩn
o RV : Độ lớn vị trí thấp nhất nằm dưới đường chuẩn
o RT : Khoảng cách điểm cao nhất và thấp nhất
o RZ : Độ cao trung bình của 5 đỉnh cao nhất và sâu nhất
5

1 5
R Z =   zP + z V 
5  i=1 i i=1 i 
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 2mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
100 m – 500 m
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Bước lấy mẫu dài  không chi tiết
Bước lấy mẫu ngắn  nhiễu
Lmax = 2mm
o L  80m : 0.04 – 0.2 m
o 80  L  400 m : 0.2m – 1.0 m
o 400  L  2000 m : 1.0m – 5.0 m
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Bước lấy mẫu dài  không chi tiết
Bước lấy mẫu ngắn  nhiễu
Lmax = 2mm
o L  80m : 0.04 – 0.2 m
o 80  L  400 m : 0.2m – 1.0 m
o 400  L  2000 m : 1.0m – 5.0 m
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
• Thuỷ tinh – Ceramic
• Áp suất bề mặt mẫu - tip
 6WE'2 
Po =  3 2 
 R 
1
3
• R = 0,1 m, W = 1mg
• Ni-P
E = 83 GPa : Thuỷ tinh – Ceramic
130 GPa : Ni-P
1140 GPa : Mũi dò kim cương
 PG-C = 11,4 GPa và PNi-P = 15 Gpa
lớn hơn độ cứng của vật liệu
 Phá huỷ
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
 Một số ứng dụng
Stylus Profiler
Một số ứng dụng
Thông số
• Chiều dài quét : 30m – 30mm
• Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét
• Lực quét : load 1 – 15mg
Đường ITO
Thủy tinh
Thanks for your attention !