Transcript EG4090-INK操作教學(未壓縮檔)

EG4090u INK 操作
Index
INK 更換
INK 中心設定
相關參數設定
INK 位置設定
INK 更換1
INK Type
Due Date
領取ink須注意下列規格
1.INK Dot Size
2.INK Type
3.INK Due Date
INK Dot Size
INK 更換2
1.新品INK外觀
2.上蓋緊密卡住,且
兩凸塊成一夾角
INK 更換3
1.將上方凸塊逆
時針旋轉至與下
方凸塊方向重疊
INK 更換4
將上蓋往上拉起,
ink密封解除
INK 更換5
將上蓋順時針旋轉,兩凸
塊成一90度夾角
INK 更換6
1.將ink裝入ink器中,
尚未完全卡入
2.注意ink上端旋轉
蓋及下方塑膠管口末
端須卡入ink器
INK 更換7
3.電磁閥頂
心需插入魚
線上方小孔
2.調整ink瓶身凸塊
靠近ink器內側
1.調整旋蓋凸塊靠近
金屬卡槽右側
INK 中心設定 1
2.選擇Inkers
1.選擇
setup
INK 中心設定 2
1.確認inker type,
必須為Offline
2.利用TOGGLE
TYPE改變Inker
Type
3.選擇 Set XYZ,
進入設定畫面
INK 中心設定 3
1.利用Change,選
擇Inker位置為
Probe Center
2.Move XY 移
動chuck至ink
底下
INK 中心設定 4
1.移動chuck,並將
chuck中心對準
ink管末端
2.按Set XY紀
錄inker位置
INK 中心設定 5
3.可利用手動方式將
chuck上升至300mil
1.選擇Move Z
chuck 上升
2.確認高度設定
為300mil
INK 中心設定 6
1.確認chuck已上升至300mil
2.調整ink器上方旋鈕,ink管末
端與chuck表面保持約3mm
高度
ink器上方旋鈕
INK 中心設定 7
1.選擇 Set Z
紀錄高度
2.確認此處為
30mil
3.OK ,Inker
與chuck中心
校正完成
相關參數設定 1
2.選擇所要檔案
3.Load 檔案
1.選擇檔案
所在位置
4.Close離開
相關參數設定 2
3.選擇Lot Recipe
4.選Ink-FD
5. Load所選擇的
Lot Recipe
2.選擇Recipes
1.選擇F7
相關參數設定 4
1.放入Cassette
選擇View/edit
2.輸入生產資料
相關參數設定 5
1. 選擇 PROBE,
開始load wafer,
profile wafer ,
alignment wafer,
動作完成後設備
自動暫停
INK 位置設定 1
3.Inkers
2.Setup(F5)
1.先將inker檯起,
避免wafer遭
inker異常刮傷
4.Set XYZ
INK 位置設定 2
1.選擇
Inspect
2.進入camera影像,將十字線
移到最接近的Die中心,按
ENTER離開畫面
INK 位置設定 3
3.選擇under,
wafer會移到
ink底下
INK 位置設定 4
1.使用搖桿index,移動chuck
到edge die試打ink
2.Inspect進入
camera
INK 位置設定 5
1.若十字線未在
ink墨點中心
3.Set XYZ,
儲存位置
2.利用搖桿將十字線
移到墨點中心,完成
後按ENTER離開
INK 位置設定 6
每支Inking 有效次數為17萬次
這支還可以在撐
(現在只使用42696)
Inker mode:有四組
正常都是選Inker 1
Finish