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科技部新竹科學工業園區管理局
Hsinchu Science Park Bureau, MOST
103年度園區廠商節水節能減碳輔導計畫
節水輔導初評會議
OOOOOOOO公司
簡報人：OOO
民國103年6月OO日
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節水輔導時間表
1
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廠商名稱
漢磊創新廠
力晶P2廠
台積電F12P1P2廠
聯電8CD廠
新唐科技
旺宏電子二廠
敦南科技
昱晶能源竹南廠
友達龍科廠
京元電子銅鑼廠
廠商聯絡人/電話
節水輔導
說明會
黃○亮/
03-5779245#3820
彭○相/魏○修
03-5795000#6739/5636
陳○助/黃○智
03-5636688#7123348/7321207
郭○榮
03-5789158#8692105
鄭○堂/王○銘
03-5770066#8423/8420
吳○文
03-5786688#85505
王○華
03-5771036#8105
杜○煇
037-586198#6634
顏○倫/楊○章
03-4998800#2890/2892
劉○榮/張○富
037-595666#127386/127391
5/21 (三)
10:00
初步評估會
現場技術輔導
6/10 (二)
09:30
7/08 (二)
09:30
6/10 (二)
10:00
7/10 (四)
09:30
6/10 (二)
10:30
7/15 (二)
09:30
6/10 (二)
11:00
7/22 (二)
9:30
6/10 (二)
11:30
7/24 (四)
09:30
6/11 (三)
09:30
7/29 (二)
09:30
6/11 (三)
10:00
7/31 (四)
09:30
6/11 (三)
10:30
8/05 (二)
09:30
6/11 (三)
11:00
8/12 (二)
09:30
6/11 (三)
11:30
8/14 (四)
09:30
結案評估會
總結報告會
輔導人員
11/5 (三)
9:30
中興社、
節水委員
10/15 (三)
09:30
10/16 (四)
09:30
初評會議：廠商簡報廠內用水現況資料 (15分鐘)；委員提供節水輔導建議方向 (15分鐘)
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廠商配合提供資料-節水輔導
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節水輔導廠商提供資料
工廠基本資料
工廠名稱及地址：
行業別：
廠地面積：
平方公尺
員工人數：
人 開工日數：
日
節水推動小組組織架構及分工
姓名
職稱
經理
分工
○○○
經理
督導
○○○
副理
聯絡窗口
○○○
工程師
執行
副理
工程師
○○○
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節水輔導廠商提供資料
用水現況
項目
*請提供月平均數值
101年6月
102年6月
103年6月註1
自來水
地下水
用水量
(CMD)
地面水
臨時購入水源(如旱災)
雨水
其他_______(如OAC)
合計總用水量(CMD)
全廠回收水量(CMD)
全廠排放水量(CMD)
註1：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
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節水輔導廠商提供資料
單位產品用水量
項目
101年6月
102年6月
103年6月註3
主要產品名稱
主要產品之月產量 (片/月)
單
位
產
品
用
水
量
主要產品每片的面積 (m2)註1
主要產品每片所含的平均層數
(層數/片)註2
單位產品用水量 (噸/片)
主要產品產能利用率 (%)
因擴廠、產品開發、試營運或其他等因
素，因而於年度內使整廠用水量有變動
者，請於右方格內簡略說明原因。
註1：單位產品無法以片計量者 (如非屬面板、晶圓、LED及太陽能產業別之廠家)，填寫時請加註產品單位；另外屬面板業者產品面積
以投片面積(Array + Color Filter)為主，故單位產品用水量需涵蓋Array + Color Filter製程
註2：依據製程狀況填寫產品所含的平均層數，若無此估算方式者可無需填寫，並請標註
註3：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
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節水輔導廠商提供資料
回收率現況註1
園區要求目標
（最近一次審查）
項目
用水計畫書
核備用水量
製程回收率
全廠回收率
全廠排放率
建廠日期
現況
（103年6月）註2
CMD
年
月
CMD
＞
％
％
＞
％
％
＜
％
％
日(以使用執照為主，請檢附使用執照)
冬季全廠排放率調查
項目
全廠排放率
102年12月
%
103年1月
%
註1：請各廠確認是否有各別環評標準
註2：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
103年2月
%
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節水輔導廠商提供資料
用水平衡圖(含製程用水，R7版) - 請額外提供excel檔
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節水輔導廠商提供資料
用水平衡圖(光電業例外版) - 請額外提供excel檔
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節水輔導廠商提供資料
純水系統流程及各出水點水質
範例
依據各廠需求增列
Raw water tank出水點水質
＊導電度<250us/cm
＊TOC < 2500ppb
＊CI- < 1ppm
Raw water
tank
City
water
MB
阻值 > 10MΩ-cm
TOC < 150ppb
SiO2< 50ppb
導電度<100us/cm
TOC < 2000ppb
MMF
回收
MDG
DO< 100ppb
導電度<20us/cm
TOC <500ppb
2B3T
導電度<1 us/cm
TOC < 150ppb
RO
回收
TOCUV
TOC < 100ppb
 請儘量提供水質以利判斷回收潛勢
Polisher loop
P.O.U
P.O.U水質標準
＊阻值 > 18MΩ-cm
＊TOC < 100ppb
＊DO < 100ppb
＊Particles 0.1 μm <10pcs/ml
＊SiO2 < 50ppb
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節水輔導廠商提供資料
製程排水分流以及回收再利用情形
範例
依據各廠需求增列
機台未使用Chemical
之Rinse水(無機)
DR Inorg W/W (A)
(T-731A/B/C/D/E/F))
DR Inorg W/W (B)
(T-732A/B/C/D/E))
機台使用Chemical
之Rinse水(有機)
無機廢水系統
34% 製程用水量
TOC<2ppm
98%系統回收率
UV + AC
Reclaim
TOC < 0.25 mg/L
2%廢水
D-SLA(T-701A/B)
D-Oxalic (T-710)
D-Surfacant(T-705)
D-Surfacant(T-706)
MBR
D-LCG26(T-741)
D-DEV1(T-711A/B)
D-N300(T-703A/B/C/D)
D-DEV2(T-739)
有機廢水系統
63% 製程用水量
MBR
AO + MBR + RO +
UV + AC
TOC<120ppm
87.9%系統回收率
Reclaim
TOC < 0.35 mg/L
D-RinseDV(T-707A/B)
D-Rinse DV(T-708)
D-IPA(T-702)
D-Detergent(T-704)
D-NMP(T-709)
0.1 % 污泥
12%廢水
高濃度
有機廢水系統
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節水輔導廠商提供資料
廢水系統處理流程
範例
低氟酸洗廢水
研磨廢水
酸鹼性廢水
反沖洗廢水
依據各廠需求增列
高氟酸洗廢水
儲存池一
純水系統濃排水
儲存池二
CaCl2
Ca(OH)2
中和池
CaCl2
Ca(OH)2
中和池
NaOH
PAC
快混池
NaOH
PAC
快混池
Polymer
慢混池
Polymer
慢混池
混凝沉澱
混凝沉澱
廢水流向
添加藥劑
污泥流向
污泥暫存池
污泥調理池
污泥脫水
放流
氟化鈣污泥
(委外清運)
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節水輔導廠商提供資料
冷卻水系統
冷卻水塔規格
1. 冷卻水塔總冷卻噸數
RT
(1)
RT×
台，冷卻水塔型式：
(4)
RT×
台，冷卻水塔型式：
(2)
RT×
台，冷卻水塔型式：
(5)
RT×
台，冷卻水塔型式：
(3)
RT×
台，冷卻水塔型式：
(6)
RT×
台，冷卻水塔型式：
2. 103年6月實際操作冷卻能力：
RT
3. 103年6月實際補充水量：
噸/天
4. 103年6月實際蒸發水量：
噸/天
5. 目前冷卻水塔已採行之相關節水措施為何? □提高濃縮倍數 □排放水導電度控制 □回收再利用 □其他
補充水量
排放水
補充水 補充水量
補充水導電度 蒸發損失水量 排放水量
濃縮倍數
季節別
(P)百分比
導電度
水源別 (M) (CMD)
(E1)(µS/cm)
(V)( CMD) (B)( CMD)
(CR)
(％)
(E2) (µS/cm)
102年09月
102年12月
103年03月
備註
自來水或 補水量含自 百分比為指
回收水或 來水、回收 佔全廠用水
替代水源 水取水量 量%
---
---
---
說明：1.冷卻水塔補水量佔全廠用水量百分比計算式：P=冷卻水塔補水量/(全廠自來水取水量+全廠回收水量)×100％
2.冷卻水塔補水量包括冷卻水塔自來水及回收水之取水量
3.冷卻水塔補水量(M)=蒸發水量(V)+排放水量(B)
4.濃縮倍數CR=E2/E1
備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
---
CR=E2/E1
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節水輔導廠商提供資料
廢氣洗滌塔
1.酸排scrubber：
(1)設計處理容量：
(3)蒸發量推估說明：
統計月份
補充水
水源別
CMM
(2)實際操作容量：
補充水量(M) 排水量(B)
(CMD)
(CMD)
蒸發量(V)
(CMD)
CMM
排放水
pH值
排放水導
電度(µS/cm)
103年06月
備註
自來水或回
收水或替代
水源
說明1：排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V)
說明2：L/S蒸發水量(V)多為學理推估值，若廠商無法推估，則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3)，若有其他推估計算方
式， 請於(3)說明
備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
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節水輔導廠商提供資料
廢氣洗滌塔
2.鹼排scrubber：
(1)設計處理容量：
(3)蒸發量推估說明：
統計月份
補充水
水源別
CMM
(2)實際操作容量：
補充水量(M) 排水量(B)
(CMD)
(CMD)
蒸發量(V)
(CMD)
CMM
排放水
pH值
排放水導
電度(µS/cm)
103年06月
備註
自來水或回
收水或替代
水源
說明1：排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V)
說明2：L/S蒸發水量(V)多為學理推估值，若廠商無法推估，則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3)，若有其他推估計算方
式， 請於(3)說明
備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
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節水輔導廠商提供資料
廢氣洗滌塔
3.其他scrubber：
(1)設計處理容量：
(3)蒸發量推估說明：
統計月份
補充水
水源別
CMM
(2)實際操作容量：
補充水量(M) 排水量(B)
(CMD)
(CMD)
蒸發量(V)
(CMD)
CMM
排放水
pH值
排放水導
電度(µS/cm)
103年06月
備註
自來水或回
收水或替代
水源
說明1：排放水量(B)=廢氣洗滌塔補水量(M)-蒸發水量(V)
說明2：L/S蒸發水量(V)多為學理推估值，若廠商無法推估，則建議參考園區R7版用水平衡圖 (1000CMM約為5m3)，若有其他推估計算方
式， 請於(3)說明
備註：請提供最近一月 (5月) 資訊，6月份資料請於現場技術輔導時提供
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節水輔導廠商提供資料
現有節水措施
(1)水回收再利用
製程排水回收處理範例 (另請提供回收水質標準)
A.純水系統
製程排水
活性碳塔
回收水緩衝桶
B.製程排水
C.空調及公用系統
陰離子塔
RO膜組
後端使用
陽離子塔
D.管末回收
E.各設備單元回收水質標準 (TOC、COD、EC以及其他關
切水質項目)
(2)單元設備用水減量
(3)其它替代水源利用
(4)省水器材換裝
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節水輔導廠商提供資料
歷年接受輔導團隊節水建議措施落實之狀況
執行狀況
年度
節水輔導團隊建議方案
合 計
已執行完成
（ 年/ 月）
執行中
（ 年/ 月~ 年/
月）
未執行原因
投資金額
(萬元)
節省水量
（CMD）
---
備註：第一次受輔導廠商免填
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節水輔導廠商提供資料
歷年執行節水措施或自行研發之特殊節水技術
年度
廠內自行推動
節水方案
已完成/執行中
執行方案內容說明
（ 年/ 月）
投資金額
(萬元)
節省水量
（CMD）
合 計
備註：依各廠實際節約用水情形填列
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節水輔導廠商提供資料
特殊節水技術與佐證資料
節水技術佐證照片
節水技術佐證詳細說明
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節水輔導廠商提供資料
未來節水規劃
降低單位產品用水量
提升用水回收率
增設水回收系統
增設處理設備，提升用水循環次數
排水逐級利用
開發替代水源 (雨水貯留、OAC回收)
換裝省水器材
其它＿＿＿＿
希望輔導團隊提供哪方面節水技術服務?
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