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Hurricane Co. Ltd., HCBOND HURRICANE CO.LTD., ™ HCBOND 內層黑棕化取代製程 本產品為多層印刷電路板壓合氧化製 程中符合低成本, 操作安全容易, 且 高性能之有機微蝕型黑棕化取代技術 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 之應用範圍 HCBOND™ 多層板內層氧化處理 均勻之棕色外觀 表面附著有機層以提高表面附著力 良好之抗酸能力 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 製 程 特 色 : ( 與傳統黑棕化比較 ) HCBOND (棕化) 黑 均勻性 , 黑棕色外觀 黑色均勻外觀 製程簡單(二或三道藥液 ,三道水洗) 七道藥液, 六道水洗 水平製程/垂直製程 垂直式浸泡製程 水平設備價格較便宜 水平製程設備昂貴 寬廣的操作範圍 寬廣的操作範圍 較低的操作成本 較高的操作成本 較佳的操作環境 在高溫烘烤下,較易受熱氧化 較低的操作溫度(40℃) 藥液危險度高 優良的性賴度測試 較高的操作溫度 (78℃) 化 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 製 程 特 色 板面外觀均勻 板面顏色均勻 (棕色) 無點狀露銅及coating不佳之情形 優良的信賴度測試 使用高 Tg 樹脂材料具良好的結合強度 可防止粉紅圈及楔形孔破(wedge void) 優良的熱應力性能 廢水處理容易 藥液分析快速(UV,滴定)及維護容易(Auto dosing & Bail out System) HURRICANE CO.LTD., HCBOND™與黑棕化製程對照表 * HCBOND (棕化) * 清 潔 劑 (鹼) C.W.水洗 中 和 (酸) C.W.水洗 預 浸 HCBOND™ D.I.水洗 烘 乾 *黑 化* 清 潔 劑 (鹼) 水 洗 微 水 預 氧 水 洗 還 原 (Post-Dip) 水 洗 抗 氧 化 D.I.洗 烘 乾 蝕 洗 浸 (鹼) 化 (鹼) HURRICANE CO.LTD., HCBOND 槽液控制 所有藥液均有分析方法 (from hurricane) 。 棕化藥液 : 以一般滴定方法即可進行分析。 HURRICANE CO.LTD., HCBOND 廢水處理 Alkaline Cleaner –氫氧化鈉溶液 無胺類 (amines)、矽酸鹽類(silicates)、EDTA HCBOND - 硫酸-雙氧水系蝕刻液 無銅類螯合物 (chelated copper) 銅離子濃度 15 -20 g/l (2.5 oz / gal) 建議使用沈澱法、離子交換法、逆滲透方法 處理 HCBOND™ 製程流程圖 入料 鹼洗 預浸 C.W. 棕化 中和 D.I.W. D.I.W. 烘乾 出料 HURRICANE CO.LTD., BO-610 鹼性清潔劑 Step 1 低泡沫量 清潔效果迅速、有效 體積濃度為 10~20% 操作溫度為 45~60oC 依操作面積更槽(50m²/L) 作用: 清潔板面殘留汙染物(油脂、指紋等) HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 酸中和 Step 2 中和鹼性清潔劑的剩餘污染 清潔板面上的氧化物 HURRICANE CO.LTD., BO-620 加 速 Step 3 BO-620 : 3% 溫 度 : 室 溫 ( 35~40 ℃ ) 依操作面積更槽 (5m²/L) 作用: 將銅面先行預處理,並吸附添加劑BO-620以便迅速 進行微蝕及有機物附著反應。 防止 HCBOND 槽遭汙染。 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 棕化槽 Step 4 雙氧水 H2O2 HCBOND™ 添加劑BO-630 硫 酸 H2SO4 溫 度 : 40℃ 採 Feed & bleed (or batch down) 方式添加及補充藥液 作用: •形成表面粗糙度 •有機金屬膜形成 信賴度測試 測試方法及結果 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 性 能 測 試 測試項目 抗撕強度 Peel Strength 熱應力 Thermal Stress 粉紅圈 Pink Ring Resistance 測試規格 銅皮1oz , 樹脂(2116HR) IPC-TM-650 2.4.13.1 IPC-TM-650 2.6.8 JEDEC JESD22-A102-B HURRICANE CO.LTD., 抗撕強度 Peel Strength oz 銅箔 FR-4 Pre-preg, Tg 135℃ 2116HR 寬度 3 mm 拉伸速率2 inches/minute 強度: 3 ~ 4 lbf/in 測試結果:3.5lbf/in---測 試通過 1 銅箔 棕化面 膠片2116HR 內層板 HURRICANE CO.LTD., HCBOND 各種樹脂基材測試數據 Peel Strength Testing: lbs/in Resin Type Epoxy Tg = 135 Epoxy Tg = 150 Epoxy Tg = 180 BT/Epoxy Tg = 185 Epoxy Tg = 200 Cyanate Ester Tg = 250 Polyimide Tg = 260 HC BOND 4–6 4.5 – 7 3.0 – 4.5 2.0 – 4.0 2.5 – 4.0 2.5 – 3.5 2.0 – 3.0 Reduced Oxide 4–6 5–8 3–4 2–3 2–4 0.5 - 1.5 0.5 – 1.5 樹脂:1080 ×3 HURRICANE CO.LTD., HCBOND 各種 PP 材質測試數據 Peel Strength Testing: lbs/in Resin Type Epoxy 2116HR Epoxy 1080 Epoxy 7630 Epoxy 7628 含膠量 % 52 – 53 62 – 63.5 45 – 46.5 42 – 43 HC BOND 3–6 3–6 3–6 3–6 HURRICANE CO.LTD., 熱應力 Thermal Stress 測試材料為Tg 135℃ , FR-4 板材 錫爐漂洗 10 秒(288 ℃ ) ,空氣中靜置10秒 錫爐漂洗 5 次,經切片無分層現象 結果---測試通過 HURRICANE CO.LTD., 粉紅圈 Pink Ring Resistance 測試材料 : 四、六、八層板成品板 無粉紅圈---通過測試 ™ HCBOND 原理介紹 基本原理及技術資料 HCBOND 硫酸-雙氧水微蝕液形成表面粗 糙度及有機金屬覆膜之反應機構 HURRICANE CO.LTD., HCBOND 鍵結反應機構 銅箔+ HCBOND 銅箔 銅箔+ 處理 黑棕化處理 氧化絨毛層與樹脂之結合力,端賴板面粗糙情形及樹脂對板面之流動及潤溼性 HCBOND 有機金屬覆膜將使樹脂容易潤濕板面;除機械強度結合外並形成化學鍵結 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 槽液成份 Pre-Coating Etching 預浸槽 (Pre-dip) BO-620 3.0% (2.0~4.0%) 棕化槽 (HCBOND™) H2SO4 5 % (4~6%) H2 O 2 4 % (3.5~4.5%) BO-630 25 % HURRICANE CO.LTD., HCBOND 反應機構特性 在預浸槽中620 先行吸附在表面 Coating 在HCBOND 槽中進行微蝕反應 Etching 及有機物附著反 應 Coating(Bonding) Dissolution HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 組成特性 HCBOND 反應為銅面蝕刻(etching)及有機膜覆蓋(coating),兩種反應同 時進行。 氧化劑 H2O2 : 進行銅面蝕刻反應,形成板面粗糙度。 添加劑 BO-630 (AP) : : 為 topography modifier (TM) : • 增加板面粗糙程度,以提昇結合力。 •形成有機金屬覆膜,提高結合強度。 : 為 promoter •附著力促進劑“ adhesion promoter” 可促進添加劑630與 Cu 作用,於銅面上 形成一不溶於水之有機金屬覆膜層。 (CP) : •覆蓋度促進劑“ coverage promoter” 可提昇有機金屬覆膜層之均勻程度。 HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 蝕刻反應機構 ( Etching ) 典型之硫酸-雙氧水蝕銅反應式 : H2O2 + 2H+ + 2e 2H2O (+1.776V) Cu° Cu2+ +2e (-0.3419V) H2O2 + 2H+ + Cu° Cu2+ + 2H2O (+1.4341V) HCBOND 之反應式 : 2 Cu + 2H+ + H2O2 + 630 Cu+630 + 2H20 HURRICANE CO.LTD., HCBOND 覆膜形成機構 ( Coating ) 銅面初期吸附反應 2Cu + 2H+ + H2O2 + B(630) +A(630) 吸附 [Cu 1+ B] + H2O + ½H2O2 + H+ A HCBOND棕色覆膜形成反應 結合 Cu 1+ A + B + H2O + ½H2O2 + H+ 蝕刻反應持續進行 解離 Cu2+ + A + 2[H20] HURRICANE CO.LTD., HCBOND™ 槽液成份 清潔槽 (Cleaner) BO-610 15% 中和槽 (酸浸) H2SO4 0.5 % 預浸槽 ( Pre-dip ) BO-620 3.0 % 棕化槽(HCBOND™) H2SO4 5 % H2O2 4 % BO-630 25% Cu 20 g/l HURRICANE CO.LTD., 製程最佳化 控制參數: 溫 度 雙氧水濃度 硫 酸濃度 槽液攪動情形 HURRICANE CO.LTD., Bail-out / s.f. Cu Surface (ml) HCBOND 槽液 ( Bail Out System ) HCBOND Bath Bail-out 250 225 200 175 150 125 100 75 50 25 0 100 u" etch 75 u" etch 50 u" etch 5 10 15 20 25 30 35 40 45 Copper conc. (g/l) - Steady State 上圖為HCBOND槽液中, bail-out 之速率與銅離子濃度維持 平衡之關係式 HURRICANE CO.LTD., HCBOND BO-630 HURRICANE CO.LTD., HCBOND BO-630 抗酸5分鐘後 HURRICANE CO.LTD., 總 結 HCBOND, 是一種取代傳統黑棕化之新的表面處理 製程(技術)。其優點為製程短 (僅三道藥液)、操作條件安全 、成本低 : HCBOND 可適用於水平線及垂直線,並可 適用現今之高 Tg 樹脂基材 。 HCBOND 提供優良的鍵結強度,防止粉紅圈之產生 及層間分離(Delamination)現象。 HCBOND 為一經濟實用且性能良好之製程產品。