Transcript Mask_Aligner
Mask Aligner
K-307PS???
Kyowariken
한국판매처
:
재성 엔지리어링
http://www.maskcleaners.com/
1
구성 요소
2 4 5
1. Microscope 2. Mercury Lamp 3. Mask Holder 4. Controller 5. Mercury Lamp power supply 6. Vacuum Pump
3 크기 W 730×D 530×H 750mm
•
Nikon Microscope and Transformer
micrpscope 2 eyepiece scope （동축 조명장치 포함） 100×,200×
•
Mercury Lamp and Power Supply
노광원 노광 면적 조도 초고압 수은등 160mmφ 365nm(I) 4.6 mJ/cm 2 405nm(G) 13.7 mJ/cm 2
•
Mask Holder
얼라인먼트용 매니퓨레타 X,Y축 미동 얼라인먼트용 매니퓨레타 Z축 미동 얼라인먼트용 매니퓨레타 θ축 미동 10mm 500μm/1회전 10mm 500μm/1회전 ±10° Z축 미동 나사 XY 축 미동 나사 Θ 미동 나사
1 •
Controller
2 4 3 5
1.
램프 셔터 개폐용 타이머
2.
램프 냉각팬용
ON/OFF
지연 타이머
3. Start/Stop
스위치
4. Fix, Level, Ready
스위치
5. Power ON/OFF
스위치 •
Fix, level, ready
스위치
- Ready :
준비완료일때 불이들어옴
- Level :
웨이퍼 홀더의 수평 유지
- Fix2 :
마스크를 떨어지지 않게 유지
- Fix1 :
웨이퍼를 떨어지지 않게 유지
• 램프셔터 개폐용 타이머
0.1
～
999.9sec
• 냉각팬용
ON/OFF
지연 타이머
ON :
점등시 워밍업용
(0
～
5min) OFF :
소등후 냉각용
(0
～
30min)
vacuum pump ■DA-30S(Ultimate pressure 200 Torr)
1 2 3
조작 방법
1.
에 마스크를 위치시킨 후
1
을 누른다
2. Spin Coating
한 웨이퍼를
Fix2( )
를 누른다 2 에 위치시킨 후
, 3.
마스크가 장착된 잠근다
1
을 덮고
3
을 오른쪽으로 돌려
4.
상하 조절 나사
1
을 회전시켜 웨이퍼와 마스크를 밀착 시킨다
(
밀착이 되면
READY
스위치
5. Level
을 눌러
2
를 고정 시킨다
4
가 점등한다
) 4 3 2 1 2 1 3 2
2 3 1 2 6.
상하 조절 나사
1
을
1
회전 시켜 마스키와 웨이퍼를
500um
정도 간격을 만들어 준다
7.
2 3
의 버튼을 돌려 웨이퍼와 마스크를 정렬시켜준다
8.
현미경을 사용하여 정밀하게 정렬시킨다
1 9.
상하 조절 나사를 회전시켜 마스키와 웨이퍼를 밀착시킨다
(
밀착이 되면
READY
스위치가 점등한다
) 10.
노광 시간을 입력한다
11.
을 눌러 노광을 시작한다
. 3 2
PR 노광 시간
PR 종류 AZ 1512 SU-8 50 노광 시간(sec) 15 50um 100um 46~50 76~80