표면 거칠기 측정

1

“거칠기”란

SURFTEST 물건의 표면은 반들 반들하다, 혹은 거칠 거칠 하다 등의 표현을 쓰듯이 여러 가지 요철들이 있다.

자연물(사람의 피부의 표면 등), 인조물(기계 가공한 면, 도장 표 면 등 ) 등 물 건 의 표 면 에 는 불 규 칙 한 요 철 이 있 어 거 칠 거 칠 하 다 , 혹 은 반들 반들 하다 라고 하는 촉감이 있다.

The surface texture of the objects, natural one like a human skin, artificial one like a machined surface or a painted surface or etc, has the ununiform irregularities on the surface, that was expressed “smooth” or “rough”.

공산품에서는 이 불규칙한 요철이 외관 품질, 제품 수명, 기계 효율 등 여러 가지 성능에 영향을 주고 있어 이 거칠 거칠하거나 반들 반들 한 정도를 명확하게 수치 화 한 것이 표면 조도이다.

For the industrial product, this ununiform irregularities influences the life time, the quality of appearance, and the efficiency of the machine.

the figure digitized this ununiform irregularities is “Sirface Roughness”.

2

표면 조도 측정의 목적

SURFTEST • 외관 품질 Appearance quality – 가전제품의 수지 성형품 plastic mold of electric appliances – 자동차의 도장면 painted surface of automobile • 밀봉성 Hermetic performance – 압축 가스나 오일 누출면 surface sealed to compressed gas or oil • 접동면 Sliding surface – 가이드나 베어링 guide plane of machine tool, bearing surface – 자기테이프 magnetic tape • 마찰력 frictional force – 프린터의 종이 이송용 롤 feed roller of printer • 접착력 adhesive force – 플라스틱 부품, 합판 plastic parts, plywood 3

표면 조도 측정 방법

SURFTEST 비교법 To compare 단면측정 Measure section 공간용적법 Cubic capacity 측정 방법의 분류 classified the method to measure roughness 육안에 손톱과 의한 현미경에 관찰 의한 see with the naked eye 관찰 감촉 feel by finger or nail observe by microscope 절단법 Cutting method 촉침법 Probing method 광파간섭법 Interference method 전기용량법 라디오 Electric capacitance method 아이소토프법 Radio isotope method すき見法 Observing gap method 4

SURFTEST

Stylus (Nosepiece) Detector

촉침식 표면 조도 측정기의 구조

Column Driving unit Data Processing Unit Base (measuring table) PC 해석 형 표면 조도 측정기의 예

5

Principal of Contact type R. M. M.

SURFTEST 측정 대상물 표면에 촉침을 접촉 시켜, 이송 장치에 의해 검출기를 이동 시켜서 촉침으로 측정 대상물 표면을 측정 한다. 이때 표면의 요철에 의해 상하 촉침의 움직임을 차동 변압기 등으로 전기신호 로 변환하고 증폭하여 측정 단면 곡선을 얻는다 필터(측정 단면 곡선을 조도 곡선과 파상도 곡선 으로 분리하는 장치)를 통과하여, 필요한 곡선을 구하고 파라미터 산출이나 곡선을 확대해 출력 한다.

stylus Detector Workpiece

6

SURFTEST 표면 조도가 가장 크게 나타나는 방향으로 측정 한다.

통상, 결 방향과 직각 방향 Select the direction to be roughness becoming largest.

Usually, the direction perpendicular to the machining mark is used.

단 , 도 면 에 측 정 방 향 에 관 한 지 시 가 있 는 경우는 그에 따른다.

However, when a drawing show the direction, follow it.

표면 조도 측정 방향

7

SURFTEST

단면 곡선

×

5000

×

5000

A B ×

5000

×

100

C D 8

단면 곡선에 포함되는 성분

SURFTEST 단면 곡선 Profile 형상 편차-평면도, 진직도 Flatness, Straightens 파상도 Waviness 공작기계의 안내 오차, 공작기계 또는 공작물의 굴곡, 공작물 설치시 오차, 담금질에 의한 왜곡, 마모 Guide error of machine tool, Bending machine tool/work, Work installed error, thermal change 컷팅 툴의 편심 또는 형상 오차, 공작기계 또는 공구의 진동 Centering error of cutting tool, Vibration of machine tool or tool, 표면 조도 Roughness 공구 칼끝 형상, 공구의 이송, 샌드 블레스트에 있어서의 재료 변형, 결정화, 부식 작용, 물질 구조 내에서의 물리적 및 화학 적 작용 등 Profile of tool edge, Feeding tool, Crystallization, Corrosion, Physical & chemical action internally 9

G H A B E F C D SURFTEST

표면 형상의 성분

파상도 곡선 Waviness curve ： A+B+C+D 단면 곡선 Profile curve ： A+B+C+D+E+F+G+H 조도곡선 Roughness curve ： E+F+G+H 10

SURFTEST

표면 형상의 성분

Large stone small stone = Sand etc 단면 곡선

Profile

Large stone = 파상도 곡선 Waviness 체

=

필터

Filter Size of sieve mesh =

컷오프 값λc

cut-off value

Small stone Sand = 표면조도곡선

Roughness

11

SURFTEST

단면 곡선 거칠기 곡선(1)

절단치λc0. 8mm

거칠기 곡선(2)

절단치λc0. 25mm

거칠기 곡선(3)

절단치λc0. 08mm

절단치의 영향

断面曲線 カ ッ ト オフ ： 0. 8mm カ ッ ト オフ ： 0. 25mm カ ッ ト オフ ： 0. 08mm 12

파라미터의 정의 -최대높이 : Rz

SURFTEST Standard Parameter Profile Present JIS B0601-2001 최대높이 Rz Roughness profile Previous JIS B0601-1994 최대높이 Ry Primary profile m Definitions Standard value L 평균선에서 가장 높은 산 높이 Yp와 가장 낮은 골 까지의 깊이 Yv와의 합.

Rz=Yp+Yv Ry is the sum of height Yp of the heights peak from the mean line and depth Yv of the deepest valley from the mean line.

Range of Rz ( μ m) over Less than (0.025) 0.10 0.10 0.50 10.0 50.0 0.50 10.0 50.0 200.0 Sampling L. (mm) 0.08 0.25 0.8 2.5 8 Evaluation L. (mm) 0.4 1.25 4 12.5 40 Range of Ry ( μ m) over － Less than 0.8 0.8 6.3 25 100 6.3 25 100 400 Sampling L. (mm) 0.25 0.8 2.5 8 25 13

파리미터의 정의-10점 평균 조도 : RzJIS

SURFTEST Standard Parameter Profile Present JIS 십점평균조도 B0601-2001 RzJIS 조도곡선 Previous JIS B0601-1994 십점평균조도 Rz 조도곡선

m

Definitions Standard Value

L

평균선에서 가장 높은 산에서 5번째까지의 산의 높이 Yp의 절대치의 평균치와 가장 낮은 골의 깊이에서 5번째까지의 골의 깊이 Yv의 절대치의 평균치와의 합 |Yp1+Yp2+Yp3+Yp4+Yp5|+|Yv1+Yv2+Yv3+Yv4+Yv5| RzJIS= 5 Sum of the mean height of the five highest profile peaks and the mean depth of five deepest profile valleys measured from al line parallel to the mean line.

Range of Rz JIS ( μ m) over Less than (0.025) 0.10 0.10 0.50 10.0 50.0 0.50 10.0 50.0 200.0 Sampling L. (mm) 0.08 0.25 0.8 2.5 8 Evaluation L. (mm) 0.4 1.25 4 12.5 40 Range of Rz ( μ m) over Less than － 0.8

0.8

6.3

25 100 6.3

25 100 400 Sampling L.

(mm) 0.25

0.8

2.5

8 25 14

파라미터의 정의-산술 평균 조도 : Ra

SURFTEST Standard Parameter Profile Present JIS B0601-1994 산술 평균 조도 Arithmetic mean deviation of roughness Ra 거칠기 곡선 Previous JIS B0601-1982 산술 평균 조도 Arithmetic mean deviation of roughness Ra Definition s Standard Value m L 평균선으로부터 측정 곡선의 편차의 절대치를 합해서 평균한 값 The arithmetic mean of the absolute values of the profile deviations from the mean line .

Ra= 1 l ∫ 0 l |f(x) |dx Range of Ra ( μ m) over Less than (0.006) 0.02

0.02

0.1

0.1

2.0

10.0

2.0

10.0

80.0

Sampling L.

(mm) 0.08

0.25

0.8

2.5

8 Evaluation L.

(mm) 0.4

1.25

4 12.5

40 Range of Ra ( μ m) Over Less than － 12.5

12.5

100 Cut-off value (mm) 0.8

2.5

측정 길이는, 원칙적으로 컷오프값의 3배 이상으로 한다.

The sampling length should be longer then three times of the cut-off value.

15

SURFTEST

파라미터 계산 예(1)

Sample-A Sample-B Ra Ry RzJIS A 1.5μm 6.0μm 6.0μm B 1.5μm 6.0μm 6.0μm 16

SURFTEST

파라미터의 계산예(2)

Sample-C Sample-D Ra Ry RzJIS C 2.0μm 6.0μm 6.0μm D 2.0μm 6.0μm 6.0μm 17

파라미터의 정의-요철 평균 산 간격: Sm

SURFTEST Standard Parameter Profile Definitions Standard Value Present JIS B0601-1994 요철의 평균 간격 Sm Mean width of profile elements Sm1 조도곡선 Roughness profile Sm2 Sm3 Smi Smn m L 1개의 산 및 인접한 1개의 계곡에 대응하는 평균선 길이의 합을 구해 평균치를 mm로 표시한 것.

The mean of the profile element widths, that is the length of x-segment intersecting with profile peak and adjacent profile valley, within a sampling length.

n Sm= 1 n Σ i=1 Smi Range of Sm (mm) over Less than 0.013

0.04

0.04

0.13

0.13

0.4

1.3

0.4

1.3

4.0

Sampling L.

(mm) 0.08

0.25

0.8

2.5

8 Evaluation L.

(mm) 0.4

1.25

4 12.5

40 18

SURFTEST Standard Parameter Profile Definitions Standard Value

파라미터의 정의-평균 산 간격 : S

Present JIS B0601-1994 국부 산정의 평균 간격 S Mean width of peaks of profile S1S2 S3 S4 거칠기 곡선 Roughness profile Si Sn m L 서로 이웃이 되는 국부 산정에 대응하는 평균선 길이의 평균치.

The mean width of adjacent local peaks .

S= n 1 Σ n i=1 Si Range of S (mm) over Less than 0.013

0.04

0.04

0.13

0.4

1.3

0.13

0.4

1.3

4.0

Sampling L.

(mm) 0.08

0.25

0.8

2.5

8 Evaluation L.

(mm) 0.4

1.25

4 12.5

40 19

파라미터의 계산예(3)

SURFTEST 2mm 2mm Sample-A Sample-B 1mm 1mm Sm S A 2mm 2mm B 1mm 1mm 20

파라미터의 계산예

(4)

SURFTEST 2mm 4mm Sample-C Sample-D 2mm 4mm Sm S C 4mm 2mm D 4mm 2mm 21

파라미터의 정의-부하길이율: tp

SURFTEST Standard Parameter Profile b1 Present JIS B0601-1994 부하 길이 비율 tp Material ratio of the profile b2 b3 거칠기 곡선 Roughness profile bi bn Definitions Standard Value m L 한 기준길이 내에 있는 단면 곡선의 중심선에 평행하게 절단 위치를 잡고 그 선이 거칠기 표면과 닿는 부분의 길이와 기준길이에 대한 비율.

Ratio(%) of the material length, that is the sum of the length of sections made by a line which is parallel to the mean line and intersects the profile element, of the profile elements at a given (slice) level to the evaluation length.

Range of Ry ( μ m) over Less than (0.025) 0.10

0.10

0.50

10.0

50.0

0.50

10.0

50.0

200.0

mr = ηp l ×100 Sampling L.

(mm) 0.08

0.25

0.8

2.5

8 Evaluation L.

(mm) 0.4

1.25

4 12.5

40 22

파라미터의 계산예(5)

SURFTEST Sample-A Sample-B 20% Ry ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ tp(c20%) A 20% B 20% 23

파라미터의 계산예(6)

SURFTEST Sample-C Sample-D 20% Ry tp(c20%) C 60% D 10% 24

SURFTEST

10 5 0 -5 -10

위상 보상형 필터 Gaussian

10 5 0 -5 -10

단면 곡선 조도 곡선

10 5 0 -5 -10

위상 보상이란

위상 보상 없음 2CR 조도 곡선 25

표면 조도 측정시 주의 사항

SURFTEST 표면 조도 측정에서는, 같은 측정물이라고 해도 측정 조건에 따라 다른 측정 결과를 얻을 수 있는 것이 있습니다. 관련 기업간에 측정 데이터를 주고 받을 때에는 상호간에 측정 조건의 통일이 중요합니다.

또 표면 조도 측정기의 측정 조건 이외예 피측정물의 셋팅이 측정값에 영향을 미치는 경우가 있어, 특히 원통 형상의 피측정물을 축방향(원통 모선상)으로 측정하는 경우에는 충분한 주의가 필요합니다.

At the Roughness measurement, if the measuring conditions and workpiece setting are different, the result of measurement become different, too.

It is important to standardize the conditions and setting in the related departments.

26

촉침 형상의 영향

SURFTEST 일반적인 표면 형상을 측정할 경우, 선단 곡률 반경이 작은 stylus에 의해 보다 미세한 골을 측정 할 수가 있기 때문에, 특히 세로 방향의 정보로부터 계산되는 파라미터(Ra, Ry, Rz등 )에서 나온다고 말해지고 있습니다.

On the roughness measurement, the stylus which has smaller radius can trace the more minute valley of surface texture.

Parameter, that is calculated by the horizontal information like Ra, Ry, Rz and etc, become larger.

90° 60° R2 um 60° R5 um 1.14um

R2um 0.59um

90° R5um 1.87um

27

촉침 형상의 규격

SURFTEST JIS B0651-1996 「촉침식 표면 조도 측정기」 선단부 원추의 테이퍼 각도：60°또는 90° 선단 곡율 반경의 표준값：2, 5, 10μm JIS B0651-1996 [Instruments for the assessment of surface texture] Cone angle of Stylus : 60 ° or 90 ° Tip radius : 2, 5, 10μm ISO3274-1996 「GPS-표면 성질과 상태：윤곽 곡선 방식-촉침식 표면 조도 측정기의 특성」 선단부 원추의 테이퍼 각도：60°또는 90°이며, 특별한 지시가 없는 한 60°이라고 한다 선단 곡율 반경의 표준값：2, 5, 10μm 조도 곡선용 컷오프값λc와 촉침 선단 반경 rtip의 관계를 정의 ISO3274-1996 (JIS B0651-2001) [GPS-Surface texture:Profile method-Nominal characteristics of contact (stylus) instruments] Cone angle of Stylus: 60 ° or 90 ° If not otherwise specified for the “ideal” instrument, cone angle 60оapplies.

Tip radius: 2, 5, 10μm Defined the relationship between cut-off wavelength and tip radius.

28

SURFTEST

촉침 형상의 영향

촉침의 마모와 파손

stylus 선단은 다이아몬드입니다만, 장기 사용에 의해 선단이 마모하거나 어떠한 원인에 의해 파손되기도 합니다.

따라서, 마모나 파손에 의해 표면을 정확하게 측정 할 수 없고 또한 측정 결과에 영향을 줍니다.

Stylus is made of diamond. However, using for long term or some troubles, the point of the stylus has wear and lacks.

The stylus which has wear and lacks can not trace the surface correctly, and make the effect for the result of measurement.

29

SURFTEST

촉침 형상의 규격

Stylus선단의 체크 방법

현미경으로 관찰하는 방법.

눈에 의한 검사 때문에 정량화하는 것이 곤란.

Observation with Microscope It is hard to check quantitatively.

stylus 선단 체크용 표준편을 이용하는 방법 체크용 표준편은 표면 조도 Ra 약 0.5μm의 값으로 되어 있어 선단이 마모되어 있거나 하면 Ra 0.5μm보다 작은 0.1∼0.2μm라고 하는 결과가 됩니다.

예를 들면 사내에서 stylus 선단 체크용 표준편을 측정해, Ra가 0.2μm 이하가 되는 stylus는 사용하지 않는다(교환)라고 하는 규정을 마련하는 것이 유효 합니다.

Check by measuring the precision reference specimen Ra of the precision reference specimen (optional acces. ) measure the roughness, the measured result becomes smaller like a 0.1μm- 0.2μm.

is 0.5μm.

When the wore point is used to 30

SURFTEST

촉침 형상의 규격

Stylus선단의 체크 방법

Ra 마모전 0.46um

마모후 0.36um

縦倍率 横倍率 : ×20000 : × 200 마모전 마모후 5um / cm 마모된 stylus의 기록 형상에서는, 산정상은 둥그스름 하며 골의 밑 바닥부는 예리한 형상이 된다.

At the profile measured with the wore point stylus, the shape of the peak become round and the shape of the valley become sharp.

31

측정력의 영향

SURFTEST 경질의 금속 표면 등을 측정하는 경우는, 측정력에 의한 영향은 거의 없다라고 생각됩니다만, 동, 알루미늄이나 수지 제품 등의 연물질은, 측정력이 크면 측정면을 손상시키면서 트레이스 하는 것이 있기 때문에 측정 결과에도 영향을 미친다고 생각됩니다.

stylus 선단 곡율 반경과 동일하게 측정기 메이커에 따라 표준 부속으로 하고 있는 검출기의 측정력은 1 종류이므로, 다른 측정기를 이용할 때에는, 측정력이 같은 것을 준비할 필요가 있습니다.

32

측정력의 영향

SURFTEST

측정력 규격

JIS B0651-1996 [촉침식 표면 거칠기 측정기] 표 2. 촉침의 평균 위치에 의한 정적 측정력 JIS B0651-1996 [Instruments for the assessment of surface texture]

Static measuring force in the mean position

Stylus Radius ( μ m) Static measuring force (mN) Rate of change of Static meas. force (mN/ μ m) 2

0.7

0.035

5 10

4 16

0.2

0.8

ISO3274-1996 「GPS-표면 성질과 상태：윤곽 곡선 방식-촉침식 표면 조도 측정기의 특성」 정적 측정력：0.75 mN, 측정력 변화의 비율：0N/m AISO3274-1996 (JIS B0651-2001) [GPS-Surface texture:Profile method-Nominal characteristics of contact (stylus) instruments] Static measuring force: 0.75mN

Rate of change of Static meas. force: 0N/m 33

측정 속도의 영향

SURFTEST 측정 표면이 거칠은 요철로 형성되어 있는 경우, 측정 속도가 빠르면 stylus가 뛰는 현상이 생겨 정확히 표면을 추종 할 수 없고 측정 결과에 영향을 주는 경우가 있습니다.

또 측정기에 따라서는 측정 속도와 샘플링 간격에 의존하고 있는 경우가 있고, 고속으로 측정할 경우, 샘플링 간격이 거칠고, 앨리어싱(aliasing)이 발생하는 경우가 있습니다.

측정 속도는, 각 측정기에서 설정 할 수 있는 수열이 정해져 있어 전혀 다른 기종간에 같은 측정 속도를 같게 설정하는 것은 곤란함으로, 미리 동일 측정물의 동일한 곳에 측정 속도를 바꾸어 반복 측정을 해, 속도에 의한 영향을 확인해 두면 좋다고 생각합니다.

표면 조도 측정기는 서브 마이크로 미터라고하는 미세한 변이를 측정하는 기기이기때문에, 다른 정밀 측정기와 같이 바닥 진동, 온도 등의 주위의 환경에 민감하게 영향을 주기 때문에, 방진대의 설치나 급격한 온도 변화가 없는 장소나 항온 항습기에서 나오는 바람을 직접 받지 않도록 주의해서 설치할 것을 추천 합니다.

○ Tracing speed ○ environment ·temperature ·floor vibration ·air motion 34

평가 곡선의 차이

SURFTEST 최근의 표면 조도 측정기는, 각국의 표면 조도의 규격에 대응 할 수 있도록 여러 가지 평가 곡선을 설정할 수 있습니다. 대표적인 곡선은 아래와 같습니다.

①단면 곡선 (일반적인 기호 표기 :P) 측정기로 표면을 측정 한 데이터. JIS B0601-1994 표면 거칠기-정의 및 표시에서는 「대상 면에 직각인 평면에서 대상 면을 절단 했을 때 ,그 단면에 나타나는 윤곽」 ②조도 곡선 (일반적인 기호 표기 :R) 단면 곡선으로부터 필터에 의해 표면 파상도 성분을 제거한 곡선 ③파상도 곡선 (일반적인 기호 표기 :Wc) 단면 곡선으로부터 필터에 의해 표면 거칠기 성분을 제거한 곡선 35

평가 곡선의 차이

SURFTEST 같은 파라미터를 계산하는 경우, 평가 곡선이 다르면 다른 값이 얻어집니다. Ra, Ry나 Rz라고 하는 파라미터는 일반적으로 조도 곡선에서 얻어진 값이 단면 곡선에서 얻어진 값보다 작게 나온다고 알려지고 있습니다.

JIS B0601-1994 표 면 조 도 - 정 의 및 표 시 ( 이 하 , 현 행 JIS) 에 서 는 , 모 든 파라미터는 조도 곡선에 의해 구해지며, JIS B0601-1982 표면 조도의 정의 및 표시(이하, 종래의 JIS)에서는, Ra는 거칠기 곡선으로부터, Rmax, Rz는 단면 곡선으로부터 구해진다.

36

필터 종류에 의한 영향

SURFTEST 조도 곡선을 구하기 위해서 필터를 사용합니다, 필터의 특성도 측정값에 영향을 미치는 요인됩니다.

JIS B0601-1994, ISO11562-1996 가우시안 필터(위상 보상형) 진폭 전달율 50% JIS B0601-1982 아날로그 필터 진폭 전달율 70∼80% 위상 보상에 관한 기술 없음 일반적으로는 진폭 전달율이 작으면 Ra, Ry, Rz 등의 측정 결과는 작아집니다. 또 위상 보상형 필터를 이용하면 파형 일그러짐이 적은 조도 곡선을 얻을 수 있습니다.

Filter is used to determine the roughness profile.

Filter type influence the result of measurement.

Generally, the smaller retie of amplitude transmission filter calculated the smaller result of Ra, Ry and Rz.

When the phase correct filter, Gaussian, is used, the roughness profile has small distortion.

37

필터의 종류에 의한 영향

SURFTEST

필터는 각 측정기 메이커에서 약어를 이용하거나 평가 곡선의 종류로 구별하고 있는 경우가 있기 때문에, 측정기의 취급 설명서 등에서, 어떤 설정을 하면 어느 필터의 특성 곡선을 얻을 수 있는지를 조사하기 때문에, 설정하지 않으면 안된다.

미쓰도요 PC대응 형 측정기의 표기예

①Gaussian : 위상 보상형 가우시안 필터, 진폭 전달율 50%

· · · · · ·

현행의 JIS, ISO 기준 ②2CRPC75 : 위상 보상형 필터, 진폭 전달율 75% ③2CR75 : 위상 보상 없음, 진폭 전달율 75%

· · · · · ·

종래의 JIS 38

컷오프 값에 의한 영향

SURFTEST 같은 측정면으로부터 얻은 데이터에 다른 컷오프 값을 설정하여 표면 거칠기 값을 구할 경우, 각각 다른 조도 곡선이 구해집니다.

Setting the different cut-off wavelength to the same primary profile, the different roughness profile is calculated.

－단면곡선 －거칠기곡선 λc0. 8mm －거칠기곡선 λc0. 25mm －거칠기곡선 λc0. 08mm

0 0.5

1 1.5

2 2.5

3 3.5

4 4.5

39

평가 길이에 의한 영향

SURFTEST 평가 길이도 절단 값과 같이 도면의 지시에 따라 설정합니다.

JIS나 ISO에서는 평가 길이에 관해서 파라미터가 요구할 때의 평가 길이가 표준 값을 규정하고 있습니다.

예/Ra0. 2μm를 요구할 때의 표준값 JIS B0601-1994 평가 길이：4mm JIS B0601-1982 평가 길이：2.4 mm이상 =절단값×5구간=0. 8mm×5 =절단값×3구간이상 =0. 8×3이상 40

파라미터의 계산

SURFTEST 복수 구간에서 파라미터를 계산하는 경우, 각 구간 마다 파라미터를 계산해, 평균치를 요구하고 있습니다.

JIS-1994나 ISO에서는 5구간을 표준 값으로 하고 있습니다.

Case of using plural sections of sample length, parameters is calculated for each section and the mean is calculated.

Five sections is standard at JIS-1994 and ISO Ry=26um !?

Ry1=6um Ry2=5um Ry3=16um Ry4=14um Ry5=6um 基準長さ 評価長さ

Ry 26μm = mistake

基準長さ 評価長さ Ry  Ry 1  Ry 2  Ry 3  Ry 4  Ry 5  6 16  14 5  6 5  41

환경에 의한 영향

SURFTEST

표면 조도 측정기는 서브 마이크로 미터라고 하는 미소한 변이를 측정하는 기기이므로, 다른 정밀 측정기와 같이 마루 진동, 온도 등의 주위의 환경에 민감하게 영향을 받기 때문에, 방진대의 설치나 급격한 온도 변화가 없는 장소나 공조기 등에서 보내지는 바람을 직접 받지 않는 장소에 설치할 것을 권장 합니다.

42

파리미터의 계산

SURFTEST 표면 거칠기 측정기의 파라미터 계산 방법은, 종래 측정기 메이커에 의해 미묘하게 차이가 났습니다.

JIS 개정(현행의 JIS)에 수반해, 국내 메이커간에서 파라미터의 계산 방법 등을 통일하도록 정해졌습니다만, 예전 모델 측정기를 사용하시는 경우, 파라미터 계산의 일부가 다른 경우가 있습니다. 상세한 것에 대하여는 사용하시는 측정기 메이커에 문의 해 주세요.

The calculation method was different between the national standards or the manufacture. Now, the these methods was standardized.

However, when old machine is used, the detail of calculation is different from the other.

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측정물 셋팅

SURFTEST

경사 조정 불충분

표면 조도 측정에 있어, 측정 전에 측정 면의 경사 조정(수평 방편)이 필요합니다. 이 때 경사 조정이 필요한 면은 stylus 선단이 표면 골짜기의 밑바닥을 정확하게 측정 할 수 없기 때문에, 충분하게 경사 조정을 할 필요가 있습니다.

올바른 경사 보정 불충분한 경사 보정 44

측정물 셋팅

SURFTEST

Axis alignment on cylindrical surface

원통 형상의 피측정물을 축방향(원통 모선상)으로 측정하는 경우, 측정 방향과 피측정물의 방향이 맞지 않으면 아래 그림과 같이 오자가 발생 할 수 있습니다. 따라서 계산되는 파라미터는 정확하게 조정되어 측정된 결과 보다 값이 커지는 경우가 있습니다.

Axis alignment ： OK Axis alignment ： NG 45

측정물 셋팅

SURFTEST

Setting the peak of cylindrical surface

상술한 대로 수평 조정 후, stylus가 원통 모선상을 지나도록 정점 수평 조정이 필요합니다. 일반적인 방법은, X-Y스테이지 등을 이용해 stylus를 정점 근방에 접촉 시켜, 검출기의 레벨 미터를 보면서, 검출 레벨이 가장 커지는 점을 찾습니다.

정점이 맞지 않을 경우 원래 피측정부의 중심에 대해 법선 방향으로 측정 해야 할 때 , 각도를 가지고 검출하게 되어, 검출 감도가 무디어져 측정값에 영향을 미치게 됩니다 .

On the peak OK Z(direction) Y On the peak NG 46