Transcript Spin coater 사용 방법

Work Manual
SPIN COATER
나노응용시스템연구센터
CONFIDENTIAL
1. Photo-resist coating
시작
장비 상태 확인
공용 척에서 사용자 척(Chuck)으로 교환
장비 사용
장비 세정
NO
와이퍼 & 아세톤을 이용하
여 부분 부분을 세정
세정 상태 양호한가 ?
YES
공용 척으로 교환
CONFIDENTIAL
끝
2. PDMS coating
시작
장비 상태 확인
랩 또는 호일로 Bowl 를 덮음
공용 척에서 사용자 척(Chuck)으로 교환
장비 사용
랩 또는 호일 제거 및 장비 세정
와이퍼를 이용하여 부분 부
분을 세정
NO
세정 상태 양호한가 ?
YES
공용 척으로 교환
CONFIDENTIAL
끝
3. Si bead coating
시작
장비 상태 확인
랩 또는 호일로 Bowl 를 덮음
공용 척에서 사용자 척(Chuck)으로 교환
장비 사용
랩 또는 호일 제거 및 장비 세정
와이퍼를 이용하여 부분 부
분을 세정
NO
세정 상태 양호한가 ?
YES
공용 척으로 교환
CONFIDENTIAL
끝