Transcript università degli studi di padova istituto nazionale di fisica nucleare a

UNIVERSITÀ DEGLI
STUDI DI PADOVA
ISTITUTO NAZIONALE
DI FISICA NUCLEARE
Facoltà di Scienze MM.FF.NN.
Facoltà di Ingegneria
Laboratori Nazionali di Legnaro
MASTER Thesis in
“Surface Treatments for Industrial Applications”
A NEW DESINGN OF PLANAR MAGNETRON
SPUTTERING FOR HIGH
UNIFORMITY TARGET EROSION
Supervisor : Prof. Vincenzo Palmieri
Assistan supervisor : Dott. Giorgio Keppel
Student: Ing. Gonzalez, Winder A.
Matr. N°: 878922
Academic year 2008-2009
Tesi Segretata