Transcript 等高線方式

研削の状況報告
第19回新技術望遠鏡技術検討会
2010年2月13日
株式会社ナガセインテグレックス
所 仁志
前回まで
• #2,400仕上げ研削
- 表面粗さが悪いため、CGH測定できず
• 形状誤差 1 mm (p-v)
- 非軸対称誤差あり
- 上下軸同期誤差、摩耗による砥石形状誤差
砥石摩耗による形状誤差
砥石断面形状 (R5700mm)
• 加工点が砥石上を移動
- 砥石断面形状がセグメント形状に
転写される
• 対策
加工後（1um×10）
- 砥石断面形状誤差を加工プログラ
ムに反映
セグメント
進入方向
加工前
上下軸の同期誤差
• 上下反転時に指令値からの
遅れが発生
R150 非軸対称性（上下軸固定＋テーブル回転）
加工方向
理想形状
上下軸の同期誤差 原因と対策
• 上下軸のすべり減速機が原因か？
- 入力軸反転時にすべりが生じる
- 三菱電機NCの補償機能では
改善されず
• 加工方式の変更
- 今までは、テーブル1回転で上下軸を微動（渦巻方式）
- 上下軸を微動させない加工法（等高線方式）に変更
渦巻き方式と等高線方式 1
• 内周セグメントの形状
- 近似球面R = 10080.5 mm (19 mm 凹)
- 非球面量 –0.04 ~ +0.05 mm
非球面量
100 mm
(mm)
20
18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
100 mm
100 mm
内周セグメントの形状
100 mm
(mm)
+0.05
+0.04
+0.03
+0.02
+0.01
0.00
-0.01
-0.02
-0.03
-0.04
渦巻き方式と等高線方式 2
非球面量
• 渦巻き方式
- 左右軸を単調減少
- 1回転で上下軸を微動
- 上下軸を単調減少
- 1回転で左右軸を微動
100 mm
• 等高線方式
100 mm
(mm)
+0.05
+0.04
+0.03
+0.02
+0.01
0.00
-0.01
-0.02
-0.03
-0.04
渦巻き方式と等高線方式 3
• 渦巻き方式
- 1回転で上下軸を微動
• 等高線方式
1回転
- 1回転で左右軸を微動
加工軌跡
1回転
対策後 #2,400加工
• 加工条件
- 左右送りロータリー研削
- 周速度一定(4.4 m/min.)
- 左右送り：0.8 mm/rev.
- 切込み：0.3～1.0 mm/pass
- 1pass加工時間：350 min.
#2,400加工結果 1
• 渦巻き方式と等高線方式の比較
渦巻き方式
等高線方式
#2,400加工結果 2
• 砥石形状補正前後の比較
補正前
補正後
#2,400加工結果 3
•
•
•
•
軸対称形状補正後
形状誤差：0.5 mm (p-v)
角度ごとのばらつき：0.2 mm (p-v)
同心円パターンあり（今後の課題）
今後の課題
• 形状が安定しない
- 砥石の熱膨張・収縮か？
（DL = 2×10-5×250×0.2 ℃ = 1 mm ）