Transcript 研削液の循環

研削実験の状況報告
第17回新技術望遠鏡技術検討会
2009年7月25日
名古屋大学
所 仁志
前回のおさらい
• セグメント 非軸対称形状 粗加工（#170）
前回のおさらい
• レーザー変位計 + X-Y同期形状ならい、8方向
• 補正なしで ~4 mm (p-v)、非軸対称性はなさそう
• 4月からC社に依頼されたレンズ（計2枚）の加工
- 当初は5月中旬に終わる予定だった…
• 1枚目のレンズでトラブル
- 仕上げ直前にスクラッチ発生、原因解明・対策・修復に
1.5ヶ月以上
• 現在、2枚目を加工中
• 今回はスクラッチについて報告
ワーク
• 直径880 mm, 近似R1,500 mm非球面,
66 mm凹
• #170  #325  #1,200の順に加工、
#1,200（平均粒径14 mm）でスクラッチ発生
スクラッチ
• 計3箇所、半径（砥石回転）方向
• 幅~0.3 mm, 長さ~10 mm
深さ~50 mm
R190 mm (5/12)
R210 mm (5/23)
R160 mm (5/11)
中心
• 顕微鏡による観察（×300）
1 mm
中心
• クラックが進行する恐れがあり、手研磨で除去
（~300 mm）
スクラッチ発生原因
• 加工プログラムの確認中に発生、ワークと砥石の
隙間は20~100 mm (#1,200平均粒径：14 mm)
• 研削液内の異物
（100 mm <）が砥石
に巻き込まれた
• 異物の発生原因
- 砥石エッジの欠け
- 砥石カバー内の汚れ
- 研削液の浄化が不十
研削液の浄化が不十分
100 mm
異物の採集1
• 10 mmメッシュフィルターで研削液を濾過（半日）
異物の採集2
• メーカー仕様では“濾過精度0.5 mm”のはずが…
異物
• 錆・塗装片などの除去のため、有機溶媒・酸処理
• 割り箸の先に異物を付着さ
せて、ガラスをこする
 “ガラス切りの感触で
（舞原先生）”スクラッチが
ついた
研削液の循環（対策前）
• ダーティー槽とクリーン槽がタンク底面でバイパス
フィルター
（5mmメッシュ）
研削盤へ
研削盤から
3m
クリーン槽
1.5 m
ダーティー槽
研削液の循環（対策後）
• タンク-研削盤の間に2段のフィルターを設置
フィルター
（100mmメッシュ）
フィルター
（5mmメッシュ）
研削盤から
研削盤へ
3m
フィルター
（10mmメッシュ）
1.5 m
まとめと予定
• フィルターを設置することで、異物の混入はなくなっ
た（スクラッチの発生もなくなった）
• 2
2枚目のレンズは8/5に出荷予定
• 8/6からセグメントの加工を
再開
- 研削時はもぐらを使わない
（温度むら・変化によって、基盤
形状が時間変化するため）
- t20 mmの面板を使用