Transcript 平成22年3月4日（木） - イノベーション推進機構

～ナノメートル平滑面の最新加工・計測技術～
日
時：平成２２年３月４日（木）13:00～17:00
平成２２年３月５日（金） 9:30～17:00
場
所：熊本大学工学部機会システム工学科研究棟Ⅰ
502会議室・104実験室
講 習 料：９，０００円
募集定員：１０名（定員に達し次第締め切らさせていただきます。）
募集対象：民間機関を含む学外の技術者・研究者・教育者
研修内容
第１日目 平成22年3月4日（木）13:00～17:00
＜講 義＞
「紫外光支援加工による高硬度ダイヤモンド系材料の超精密研磨 技術」
（熊本大学大学院自然科学研究科・教授・峠 睦 他）
＜研磨実習＞ 高硬度ダイヤモンド系材料の紫外光支援加工
＜討 論 会＞ 紫外光支援加工に関する総合討論
第２日目午前 平成22年3月5日（金） 9:30～17:00
＜計測実習＞
・走査型レーザー顕微鏡／走査型プローブ顕微鏡複合装置の技術と応用（座学）
・走査型プローブ顕微鏡の最新計測技術（座学）
・走査型プローブ顕微鏡SPM-9600を用いた超精密研磨面の計測
・光学干渉式粗さ計の最新計測技術（座学）
・光学干渉式粗さ計NT-9100を用いた超精密研磨面の計測実習
趣旨・目的
次世代パワー半導体材料として注目されている単結晶
ダイヤモンドや単結晶SICは硬度がきわめて高く，これ
までの研磨技術では半導体基板として求められる加工
変質層のない平滑面を得ることはできない。また，高硬
度ダイヤモンド系材料であるCVDダイヤモンド膜や焼
結ダイヤモンドは工具等への応用が広がっているが，
同様に加工が困難である．本研究室で開発された紫外
光支援加工はこれらの材料を加工変質層や加工ひず
みなしにナノメートル平滑面とすることができる。本高度
技術研修はこの新しい研磨技術の講義・研磨実習を行
い，原子間力顕微鏡および光干渉式粗さ計の最新計測
原理を講義し，これらの計測装置を用いて紫外光支援
加工した研磨面を観察することにより，最新計測技術の
理解を深めることを目的としている。
主催： 熊本大学イノベーション推進機構
地図
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お申込み・お問い合せ
熊本大学研究・国際部 社会連携課 守田
電話：096-342-2048
メール：[email protected]
参加申込書（ＦＡＸ用）
平成２１年度熊本大学イノベーション推進機構
地域共同ラボラトリー高度技術研修
~ナノメートル平滑面の最新加工・計測技術~
ＦＡＸ：０９６－３４２－３２３９
（熊本大学研究・国際部 社会連携課）
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熊本大学社会連携課 [email protected]までお申込み下さい。
※講習料は前納とさせて頂きます。申込受付後３日以内に社会連携課より
上記連絡先へ請求書を送付させて頂きます。ご請求先が上記と異なりま
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