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TMS Co. , Ltd
2014. 07. 18.
Vapor MFC
MFC-가스,증기,액체
액상 제품을 기화하여 압력 제어를 통한 유량 제어
Type 1150C Type 1152C
VAPOR SOURCE MASS-FLO® CONTROLLERS
가스, 증기 및 액체 전달용 제품
적용물질: TEOS,DADBS, HMDS, TMCTS, TEAL, TEB, TEG, TEI, TMAL,
TMB, TMG, TMI, TaCl5, DMEAA, Ti[OCH(CH3)2]4, TiCl4,
TIBAL, and TMP.
Type 1150C
구성: 1 Control Valve+1 pressure sensor
+ Orifice + flowmeter
Viscous choked flow
(Orifice를 통해 흐르게 하여 제어하는 방식)
 Upstream pressure P1 은 downstream pressure P2에 2배이어야
 Q(mass flow)=CP1
Type 1152C
Viscous Laminar flow
(층류흐름을 제어하는 방식)
구성: 1 Control Valve+2 pressure sensor + flowmeter
 Upstream pressure P1 은 downstream pressure P2보다 약간 높은 압력만 요구
 Q(mass flow)=K(P1^2-P2^2)
 246,247,647 power supply/readout기기와 사용
 Heater전원공급: 260PS-1(1.5amps), 260-PS3(3.5amps)