Transcript 간편설정 메뉴얼 Sero

Sero2000 간단 사용 메뉴얼
1. 목표유량(Set Point) 설정
및 Flow On/Off.
2. 최대유량(Full Scale)값 결정
3. 최대유량(Full Scale)값 설정방법
4. 표시단위(Unit) 설정방법
5. 소수점(Dot) 설정방법
1. 목표유량(Set Point)설정 및 Flow On/Off
1. Sero 2000 전원을 버튼을 켜면 부팅 화면이 5초 정도 유지됩니다.
2. 부팅 후 Main Mode로 전환됩니다.
3. ‘Enter’ 키 눌러 Set Point 값 설정 모드 진입.
(녹색 Set Point Rate 값이 점등합니다.)
4. ‘↑’, ’↓’ 방향키를 눌러 목표유량(Set point)를 설정 합니다.
(방향키를 길게 누르고 있으면 증.감속도가 빨라 집니다.)
5. ‘Enter’ 키 눌러 Main Mode로 복귀 합니다.
6. 'Flow On/Off' 버튼을 눌러 흐름을 활성화 시킵니다.
(G-Flow LED가 녹색으로 점등되며 동시에 MFC커넥터의 Set-point핀에
G-Flow
Y-RMT
설정된 유량에 해당하는 제어전압(0~5V)이 송출 됩니다.)
R-Error
7. 'Flow On/Off' 버튼을 누르면 흐름을 비활성화 된다.
(G-Flow LED가 소등되며 동시에 MFC커넥터의 Set-Point핀의 전압이 0V로 변합니다.
2. 최대유량(Full Scale)값 결정
- Readout의 기능은 MFC에 전원공급, 목표유량설정, 현재유량취득의 크게 3가지 기능을 합니다.
- MFC의 목표유량설정(Set Point), 현재유량취득(Flow)신호는 전압(0~5V)또는 전류(4~20mA)형태의
전기신호로 전달됩니다.
- MFC의 최대유량은 사용자 지정에 의해 제작되며 유량신호의 전압, 전류 레벨이 의미하는 유량값
또한 MFC의 최대유량값에 의해 결정됩니다.
- MFC의 최대유량 정보는 Readout이 자동으로 취득할 수 없는 데이타 이므로 사용자가 반드시
직접 입력하여야 합니다.
- 이러한 이유로 사용자는 Readout이 MFC를 정확히 제어하기 위해서 MFC의 최대 유량값을
반드시 Readout에 정확히 설정해야 합니다. 한번 설정된 값은 비휘발성 메모리에 저장되며,
무전원시에도 사라지지 않습니다.
- 최대 유량이 10SLM인 MFC에 5SLM의 유량을 설정할 경우 전압값(0~5V)은 다음과 같습니다.
목표유량(5SLM) / 최대유량(10SLM) * 전압범위(5V) = 설정전압(Set point, 2.5V).
- Full Scale은 최대유량을 의미하며 100~5000범위의 4자리의 수치 값으로 정의 됩니다.
- Full Scale의 설정값은 MFC의 최대유량, 표시단위(SLM,SCCM), 소수점위치(Dot)에 의해 결정됩니다.
Full Scale = SLM단위로 표현한 MFC의 최대유량값 (1SLM:1.0, 100SCCM : 0.1 , 10SCCM : 0.01)
* 표시단위 설정 (SLM:1) , (SCCM:1000) (':'는 조건입니다.)
* 소수점위치 설정 ('0.000': 1000) , ('00.00' : 100) , ('000.0' : 10) , ('0000': 1 )
예) 최대유량:1.0 SLM, 표시단위 설정:SLM, 소수점위치 설정:0.000 일 때 Full Scale=1000
예) 최대유량:100SCCM, 표시단위 설정:SCCM, 소수점위치 설정:000.0 일 때 Full Scale=1000
예) 최대유량: 10SCCM, 표시단위 설정:SCCM, 소수점위치 설정:000.0 일 때 Full Scale= 100
3. 최대유량(Full Scale)값 설정방법
1. '↓방향키'를 5초간 눌러 Function Mode로 진입.
2. 'Enter’ 키를 눌러 Full Scale 설정모드로 전환.
3. ‘↑’, ’↓’ 방향키를 조작해 Full Scale 값을 설정.
(예: Full Scale이 1000일 경우)
4. ‘Flow On/Off’ 키를 길게 눌러 Function Mode에서 나옵니다.
Main Mode로 복귀와 동시에 메모리에 설정값이 저장 됩니다.
5. ‘Enter’ 키 눌러 Set Point 값 설정 모드 진입.
(녹색 Set Point Rate 값이 점등합니다.)
6. ‘↑’, ’↓’ 방향키를 눌러 목표유량(Set point)를 설정 합니다.
(목표유량(Set-Point)은 Full Scale 범위로 제한 됩니다.)
7. ‘Enter’ 키 눌러 Main Mode로 복귀 합니다.
4. 표시단위(Unit) 설정방법
1. '↓방향키'를 5초간 눌러 Function Mode로 진입.
2. 'Enter키'를 4번 눌러 Unit 설정모드로 전환.
3. ‘↑’, ’↓’ 방향키를 조작해 표시단위(Unit) 선택.
(SCCM -> SLM -> PER -> 반복)
SCCM
SLM
Percent
4. ‘Enter’ 키 눌러 Main Mode로 복귀 합니다.
Main Mode로 복귀와 동시에 메모리에 설정값이 저장 됩니다.
** Unit 설정에서 선택된 표시단위 LED가 점등됩니다.
표시단위는 Set-Point, Flow 창에 표시되는 수치값의 단위를 의미 합니다.
5. 소수점(Dot) 설정방법
1. '↓방향키'를 5초간 눌러 Function Mode로 진입.
2. 'Enter키'를 5번 눌러 Unit 설정모드로 전환.
3. ‘↑’, ’↓’ 방향키를 조작해 Full Scale 값을 설정.
(녹색 점의 위치가 이동 합니다.)
4. ‘Enter’ 키 눌러 Main Mode로 복귀 합니다.
Main Mode로 복귀와 동시에 메모리에 설정값이 저장 됩니다.