歡 迎 經濟部能源局及相關人員 蒞 臨 指 導

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Transcript 歡 迎 經濟部能源局及相關人員 蒞 臨 指 導

歡
迎
經濟部能源局及相關人員
蒞 臨 指 導
時程:15:30~15:50 簡
報
15:50~16:30 現場指導
16:30~17:00 Q & A
Page- ‹#›
瀚宇彩晶楊梅廠
節能措施簡報
主講: 鄭 博 仁
電話:(03)4882888-2643
E-mail:[email protected]
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報告內容
壹、楊梅廠介紹
貳、能源管理與查核制度實施情形
參、節約能源措施及成效
肆、整體節約能源實效
伍、特殊事蹟
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壹、楊梅廠介紹
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彩晶核心
公司簡介
瀚宇彩晶成立於 1998 年 6 月,專事生產薄膜電晶體液晶
顯示器面板,主要應用領域為筆記型電腦顯示器及桌上型電
腦監視器。董事長為 焦佑麒 先生.
彩晶規模
彩晶現有資本額為 500 億元,員工總人數 5000 人,擁有
楊梅兩座&南科一座 LCD 廠及高雄一座 LCM 廠.
企業願景
讓我們的下一代都能享受
新彩麗世界的新希望
經營理念
為提供人類最健康的視覺環境,致力於低輻射、低耗電與輕
薄便利的薄膜電晶體液晶面板之研發、製造與銷售
技術來源
技術由日本東芝及日立分別移轉,為最成熟與量產效率最高
的薄膜電晶體液晶顯示器生產技術.
楊梅廠人數
約1600人
楊梅廠產能
440K/M
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廠區平面示意圖
Fab area:120x100m*2
1F-Module
2F-Cell
4F-Array
Fab2
CUB
C/R area 36,900m2
Fab1
W/W
Office
W/W
N
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貳、能源管理與查核制度實施情形
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一、能源查核專責組織
CY000 楊梅製造廠
吳 廠長
管理人員
(訂定節能目標)
推行人員
(擬定節能計畫,
推動、考核與管考)
CM310 機電部
葉文明 副處長
CM320 水氣化部
李榮政 經理
能源管理員
鄭 博 仁 空調技師
執行人員
(執行節能計畫,
發現問題並往上陳報)
曾漢春 副理
劉偉志 副理
.一般照明
.冰水系統及冷卻塔
.製程排氣
.空氣壓縮機
.C/R空調系統
.能源查核報表
CM410 製造IE部
李雍真 經理
綠色政策
杜 建 德 環工技師
江 長 陵 環工技師
李重賢 副理
胡 志 堯 副理
.製程回收水再利用
.廢水處理藥劑降低
.製程冷卻水節能
.節約能源宣導
.各項活動推動
.海報製作.
.製程排氣減量
.製程用水減量
.製程化學用品減量
.製程用電減量
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二、定期記錄各製程能源耗用量
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
CDA System
14%
Gas Yard
8%
F1 Array
24%
Chiller System F1
14%
F1 Cell
5%
F1 Module+QA
3%
水處理系統 to F1
5%
F1 PCW
2%
F1 UTILITY
8%
F1 排氣設備
3%
F1 C/R 空調系統
14%
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三、定期檢查主要能源設備
保養項目
保養週期
一月
3
二月
系統
設備名稱
冰水系統
冰水主機
年度大保養(依照合約年度大保養工作項目共11台) 年保養
冰水系統
冰水主機
季定檢(依照合約季定檢維護保養工作表25項)
季保養
冰水系統
冰水主機
月點檢(運轉日點檢表格之項目)
月保養
M
M
冰水系統
冰水主機
安全釋氣閥功能檢查
月保養
M
M
冰水系統
SCADA
各監控點設定值檢查
半年保養
冰水系統
SCADA
各監控點警報檢查
半年保養
冰水系統
冷卻水泵
震動及異音檢視
半年保養
冰水系統
冷卻水泵
軸承添加更換黃油(每年第一次添加,第二次更換)半年保養
冰水系統
冷卻水泵
Y-型過濾器髒污程度檢查及清洗
冰水系統
冷卻水泵
泵浦頭排水
冰水系統
冰水泵(一次&二次) 震動及異音檢視
半年保養
冰水系統
冰水泵(一次&二次) 軸承添加黃油
半年保養
冰水系統
冰水泵(一次&二次) Y-型過濾器髒污程度檢查及清洗
年保養
冰水系統
冰水泵(一次&二次) 泵浦頭排水
季保養
冰水系統
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
CDA
一期冷卻水塔
空壓機馬達
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
空壓機主機
1
2
4
5
6
7
8
9
H
H
年保養
季保養
風車皮帶更換
年保養
馬達軸承(1000小時)/Oil Pump馬達軸承打黃油
月保養
半年點檢
半年度大保養(依照合約年度大保養工作項目共8台)
運轉狀況檢查及記錄
半年點檢
數據分析及保養建議
半年點檢
油泵馬達黃油施打
半年點檢
馬達軸承黃油施打
半年點檢
各段振動值測試檢查
半年點檢
油氣真空抽系統功能檢查
半年點檢
進氣閥(IGV),排放閥(BOV),煞車功能測試檢 半年點檢
連軸器檢查及黃油添加
半年保養
所有感應器線性變化檢查
半年保養
管路檢查及所有螺絲檢查固定
半年保養
油過濾器更換
半年保養
止回閥功能檢查及調整
半年保養
油氣真空抽過濾蕊更換
半年保養
空壓主機月點檢
月保養
Q
H
H
Q
M
M
Q
Q
Q
Q
Q
Q
Q
Q
M
M
Page- ‹#›
四、定期實施能源耗用統計及單位產品能源使用效率
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
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五、定期實施能源流程分析
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
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六、擬定節約能源作業計劃
楊梅廠務 94年度預算費用
項目
金額(NT,K)
比例(%)
電費
維修費
間接材料
比例(%)
金額(NT,K)
31,875
數據資料請
參考評審委
員之書面資
料
水費
廢棄物處理費
TOTAL
Cost Down 目標
-
9,686
說明
1. 調整電費三段計價方式
2. 全面減少照明及一般空調用電
3. 冰水與 CDA 系統參數調整
1. 延長委外保養週期及增加自主保養項
目 (以機台實際運轉狀況)
2. 延長耗材使用 & 評估 2nd Source
3,769 POU 參數 (receipt) 調整,降低用量
7,200
1. 井水補注量增加
2. 水費代徵清潔費申請免徵
3. Wet etching UPW 減量計畫
1,771
1. 最佳加藥量控制,減少污泥量
2. 提昇廢液純度,提升回收價值
3. 導入廠內廢水處理,減少外運量
-
以 Cost down 目標努力達成
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楊梅廠務 Cost Down 成效總表
單位: K (仟元)
可控制
CN700 YM
CN710
可節約
CN720
Total
CN710
CN720
CN700YM
Total
Total
數據資料請
參考評審委
員之書面資
料
94年預算 (Mar.會計Final)(A)
94年預算 (Jan.廠務Final)(B)
預算 (B) 總金額cost down目標
降幅 %
有效益產出提案件數
19
14
33
19
21
40
73
3,424
6,878
10,302
15,690
13,609
29,299
39,601
提案評估中件數
0
2
2
6
10
16
18
提案規劃中 Cost Down 金額 (預估)
0
1,428
1,428
941
3,682
4,622
6,050
提案執行中 Cost Down 金額
備註:
1. 可控制費用:維修費,雜項購置,加班費,測試費,消耗品,無塵用品,文具印刷,運費,其他等
Total
C/D Rate
91
45,651
#DIV/0!
2. 可節約費用:電費,水費,瓦斯費,廢棄物清理費,GAS,CHEMICAL等
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七、推動整體節約能源教育宣導活動
1.公司專案室發行全面成本降低與改善電子報,
楊梅廠亦推動節約能源月以電子郵件及公開教育
訓練方式,加強整體節約能源宣導。
2.每月配合專案室進行節能技術/成果發表,楊梅
廠亦發表Cost Down執行月電子報,進行成果案
例宣導。
3.重要出入口張貼節約能源海報。
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全廠節約能源海報宣導
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全公司提案資料庫-YM(楊梅廠)
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楊梅廠Cost down資料庫
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八、其他能源管理與查核制度實施成效
1.公告廠區各照明節能責任分區,請分區負責單
位協助督導落實,要求最後離開辦公室或會議室
之同仁,必須負責關閉該區域所有照明,並不定
期稽核公佈執行情況。
2.每月配合專案室進行能源節約績效查核,楊梅
廠亦發表Cost Down執行月電子報, 以維持節能
績效。
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參、節約能源措施及成效
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大 綱
.建廠設計階段
1).提高69KV功率因素為0.996
2).照明採用電子式安定器並行減量之措施
3).風車(扇)及泵浦使用變頻控制
.生產運轉階段
1). CDA系統節能最佳化調整
2).貫流鍋爐系統節能最佳化調整
3).冰機系統節能最佳化調整
4). Review可停止運轉之設備
5).無塵室空調系統節能最佳化調整
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建廠設計階段
1、提高69KV功率因素為0.996
.改善措施:
利用電力電容改善功率因數,減少傳輸電線與變壓器之銅損,以
達到節能之目的。台電並針對功率因素,給予電費之減免。
.改善效益:
可減少用電量:2,625,481 KWH/年
節省電費成本:2,625,481 * 1.8 = 4,719 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 1,812 公噸 /年
93年實際TPC獎勵功率因數提升電費減少 10,087 仟元/年
共計節省金額: 4,719K + 10,087K = 14,806 仟元/年
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TPC 69kv
INCOMING
C-GIS 2F
DG
TPC 69kv
INCOMING
ACB-2
輔機用電
C-GIS 1F
E
SYN
FROM TPC
610
11.4kv
6000kw
760
750
TR-2
69-11.4kv
35/43.75MVA
主變電站
SYN
SYN
TR-1
69-11.4kv
35/43.75MVA
COSθ=0.996
HV-T2-M
SYN
52G1
SYN
C-GIS 3F
HV-T1-M
11.4kv
G2 6000kw
G1
SYN
52G2
ACB-1
480V/
11.4KV
52A
52T
HV-TIE
HV-T2-25
HV-T2-24
HV-T2-23
HV-T2-22
N.O.
HV-T1-12
sc
HV-T1-13
HV-T1-14
HV-T1-15
SYN
sc
52B3
SYN
52B2
52B1
Tie Line-1
Tie Line-2
FAB1
FAB2
HV-22-M
HV-12-M
HV-12T22
CUB
HV-24-M
HV-14-M
HV-14T24
HV-23-M
HV-13-M
HV-13T23
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建廠設計階段
2、照明採用電子式安定器並行減量之措施
.改善措施:
全廠照明燈具採用高效率型電子式安定器標準照明專用燈具,以
大幅降低照明用電,依使用場合(含C/R)需求拆除及採雙迴路之單迴
路供電有效控制照度(亦可降低空調負荷) ,並公告廠區各照明節能
責任分區,請分區負責單位協助督導落實以達節能效益。
.改善效益:
可減少用電量:9,770,547 KWH/年
節省電費成本:9,770,547 * 1.8 = 17,587 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 6,742 公噸 /年
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非無塵室照明拆除及管制表
項目
棟別
區域
既設費用
(元/年)
拆除燈管 管制燈管
(支)
(支)
Cost down
(kW)
節能措施
Cost down
(元/年)
ToTal
(%)
辦公區
438
747
136.102 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
425,804
75.91%
C/R L0區
365
3803
150.048 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
1,971,631
60.12%
公設區
456
1911
75.466 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
991,627
57.12%
767
1269
51.912 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
682,124
22.73%
93
173
30.035 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
93,966
134.56%
0
120
1.440 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
18,922
3.71%
154
528
24.552 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
322,613
99.64%
辦公區
731
963
67.005 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
209,630
42.42%
公設區
207
168
1.537 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
20,193
2.26%
廠務區
36
48
2.430 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
31,930
20.59%
附屬棟 公設區
104
266
7.703 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
101,211
23.83%
廠務區
693
569
24.948 拆除燈管、關閉電源、節能關燈
327,817
26.56%
4044
10565
573.177
1262
1883
233.141
調整照度,拆除部份照明燈管
729,400
64.83%
C/R L0區
365
3803
150.048
調整照度,拆除部份照明燈管
1,971,631
60.12%
公設區
767
2465
86.146
調整照度,拆除部份照明燈管
1,131,953
31.75%
廠務區
1650
2414
103.842
調整照度,拆除部份照明燈管
1,364,484
28.94%
FAB
廠務區
CUB
辦公區
公設區
廠務區
晶彩
Total 楊梅廠區
辦公區
數據資料請
參考評審委
員之書面資
料
節能措施
5,197,467 46.25%
Page- ‹#›
照明減量措施照片
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建廠設計階段
3、風車(扇)及泵浦使用變頻控制
.改善措施:
風車(扇)及泵浦加裝變頻器以控制輸出功率,依使用端負載之需
求,自動調整風量或水量之供應,以減少能源之消耗。運轉策略為
使備轉機台投入系統一起運轉,降低系統之運轉速度,節省更多之
電能。
.改善效益:
可減少用電量:10,790,568 KWH/年
節省電費成本:10,790,568 * 1.8 = 19,423 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 7445 公噸 /年
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使用變頻控制措施照片
排氣風機
變頻器
外氣風機
變頻器
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生產運轉階段
1、CDA系統節能最佳化調整
.改善措施:
BA系統空氣壓縮部份以CDA供應
降低CDA系統管損&CDA乾度由-70℃調整至-60℃減少purge量
CDA主機運轉於Auto dual節能模式
調整最佳化使CDA主機BOV趨於OFF
.改善效益:
可減少用電量:2,058,935 KWH/年
節省電費成本:2,058,935 * 1.8 = 3,706 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 1,421 公噸 /年
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CDA系統節能最佳化調整示意圖
1.增加
機組減
少管損
Sub-main
pipe
4.BOV
OFF
Outside air
3.Dryer
purge
量減少
5.IGV
節能運
轉
2.出口露點
溫度調升(70℃至-60℃)
3-stage
comp.
700HP
6. 切換
500HP運
Outside air
轉
3-stage
comp.
500HP
POU
Buffer tank
7.Auto dual
節能模式
Pre-filter
0.04μm
After filter
1μm
Final filter
0.01μm
Dryer
Page- ‹#›
以CDA供應BA呼吸系統管路示意圖
BA (Breathing Air)系統示意圖
CO2
Catalyst
POU
micro-filter Dryer
adsorber
0.01μm
Final filter
Pre-filter Sub-micro-filter
HC
0.1μm
0.1μm
0.01μm
adsorber
Buffer tank
1- stage
1-stage
comp. set
CDA (Clean Dry Air)系統示意圖
CDA Back-up BA壓縮段管路
Sub-main pipe
Outside air
Outside air
3- stage
3-stage
comp.
POU
Buffer tank
Outside air
No.
3- stage
3-stage
comp.
Pre-filter
0.04μm
After filter
1μm
Final filter
0.01μm
Page- ‹#›
使CDA主機BOV趨於OFF
60%
40%
60%
40%
Page- ‹#›
生產運轉階段
2、貫流鍋爐系統節能最佳化調整
.改善措施:
選用日本高效率貫流鍋爐 (效率96%含廢氣熱回收)
製程用電熱鍋爐切換為中央貫流鍋爐供應
廚房用鍋爐切換為中央貫流鍋爐供應
貫流鍋爐夏季出口壓力調降1kg/cm2至6.5kg/cm2
.改善效益:
可減少用電量:2,772,540 KWH/年
節省電/瓦斯費成本:4,329 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 1,630 公噸 /年
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貫流鍋爐供應最佳化管路示意圖
2.製程用
切換為中
央供應
Steam
Separator
4.夏季時
壓力調降
1kg/cm2
M/C
EB
Waste air
1.選用
高效率
鍋爐
Cooking
B 3.廚房用
切換為中
央供應
MAU
Fresh air
Boiler
Make-up
water
Natural gas
HWS
Oil
Page- ‹#›
日本高效率貫流鍋爐特性
☛ 高効率
ボイラ効率
96%
蒸発量 800kg/h~2000kg/h
☛ 超低NOx
35ppm以下
(O2=0%換算値)
CO2排出量の削減
•ボイラの高効率
化
•燃料のガス化
NOx排出量の削減
•低NOxバーナの開
発
•新燃焼機構の開発
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電熱鍋爐/貫流鍋爐機組
Page- ‹#›
生產運轉階段
3、冰機系統節能最佳化調整
.改善措施:
設定冰水主機在最佳效率點運轉
空調冷凝水回收至冷卻水塔使用
修剪冷卻水泵葉輪直徑(原葉輪直徑12.25“修剪至11.5”)
調高冰水主機出口冰水溫度(原設定7℃,夏季調至8℃,非夏季至9℃)
.改善效益:
可減少用電量:2,418,327 KWH/年
節省電費成本:2,418,327 * 1.8 = 4,353 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 1,669 公噸 /年
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冰水系統供應最佳化管路示意圖
2.使用空
調冷凝水
冷卻水塔
水冷式
冷凝器
冷卻水泵浦
冰水主機
蒸發器
冰水泵浦
3.修剪冷卻
水泵葉輪
直徑
(12.25“至
11.5”)
4.調高冰水
出口溫度
(夏季8℃,
非夏季9℃)
1.運轉於最
佳效率點
(65~95%)
冷房負荷
Page- ‹#›
回收空調冷凝水
.改善措施:
將外氣空調箱除濕時產生之冷凝水(導電度甚低約100μs/cm)收集
至冷卻水塔使用,降低冷卻水塔之用水消耗及排水消耗。並利用低
溫之冷凝水降低冷卻水塔之冷卻水溫度,降低冷卻水塔風扇運轉電
能。
.改善效益:
可減少用水量:33,600 噸/年;504 仟元/年
可減少用電量:21,607 KWH/年
節省電費成本:21,607 * 1.8 = 39 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 15 公噸 /年
Page- ‹#›
回收空調冷凝水措施照片
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車削冷卻水泵葉輪直徑
改善前葉輪直徑12.25“
改善後葉輪直徑11.50“
Page- ‹#›
冷卻水泵性能曲線說明
Head(M)
原定製12.25”
設計點
修剪後11.25”
運轉點
30
22.7
20
原設計系統
阻力曲線
Flow(M^3/hr)
3
0
實際運轉系
統阻力曲線
葉輪修剪後運轉點
1062
1241
Page- ‹#›
生產運轉階段
4、Review可停止運轉之設備
.改善措施:
原為四台有機排氣風機切換為二台(負載適中效率高)並聯運轉
晶彩一實驗室用洗滌塔停機
HV非常日上班時間停止運轉
Fab1&2 C/R 13F未使用區域的FFU停止運轉
辦公區室內溫度設定及空調運轉時間調整
.改善效益:
可減少用電量:1,619,812 KWH/年
節省電費成本:1,619,812 * 1.8 = 2,916 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 1,118 公噸 /年
Page- ‹#›
排氣管路改善示意圖
VOC
OEX#2
OEX#4
原管路設計
改善後設計
OEX#3
OEX#1
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生產運轉階段
5、無塵室空調系統節能最佳化調整
.改善措施:
無塵室正壓調降(C/R正壓由3.0調降至2.0mmAq)
無塵室室溫調升(C/R 2樓為22℃調升至23℃)
降低無塵室Make up Air洩漏量
Make up Air供風溫度與Dry Coil之負載搭配
.改善效益:
可減少用電量:9,178,234 KWH/年
節省電費成本:9,178,234 * 1.8 = 16,521 仟元/年
抑低二氧化碳排放量 6,333 公噸 /年
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無塵室溫度調升
調 整 前
調 整 後
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無塵室靜壓調降
調 整 前
調 整 後
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洩漏改善過程相片(1)
缺失
改善
1. 管線未保持氣密。
1.加裝填縫鐵板。
2.再以Silicone保持氣密。
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洩漏改善過程相片(2)
缺失
改善
1.隔間庫板接縫處Silicone 破
裂。
1.以Silicone保持氣密。
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洩漏改善過程相片(3)
缺失
改善
1. Silicone 破裂。
1. 清潔後, 以Silicone 再填塞。
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改善過程相片(4)
缺失
改善
1. Silicone 破裂。
1. 清潔後, 以Silicone 再填塞。
2. 填縫鐵板只靠Silicone固定。
2. 填縫鐵板以螺絲固定。
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改善前/後環境微塵粒子趨勢圖
8000顆
2000顆
8000顆
2000顆
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外氣高溫低濕時之外氣空調箱控制
.改善措施:
冬天天氣乾冷時,則先經加熱至出風設定溫度,再經加濕至設定
之露點溫度。1-4月氣候易高溫低濕,此時先經冷卻至出風設定溫
(同時亦除濕),再經加濕至設定之露點溫度。此部份較浪費能源
乾球溫度
控制器
.效益:
加熱
•55,000 m3/hr set /3,600 hr/s*
10 set * 1.2 kg/m3 * 3kJ/kg* 8
hr/day * 90 day/year * 2* 2廠 =
C
1,584,000 m3 KWH/year
露點溫度
冷
卻
高低訊號比
較器
MAX(除濕量,冷
卻量)
控制器
除
濕
加
濕
H
DP.
S
C
C
MAU01,02,03
T
.
S
加濕器
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整體節約能源績效
節能方案
(1-X建廠設計階段;2-X生產運轉階段)
投資金額
(仟元)
節省電能
(KWH/年)
節省費用 回收年限 抑制CO2排放
(公噸/年)
(仟元/年)
(年)
1-1提高69KV功率因素為1.0
15,000
2,625,481
14,806
1.01
1,812
1-2照明採用電子式安定器並行減量之措施
17,000
9,770,547
17,587
0.97
6,742
1-3風車(扇)及泵浦使用變頻控制
25,000
10,790,568
19,423
1.29
7,445
9,500
2,058,935
3,706
2.56
1,421
12,000
2,772,540
4,329
2.77
1,630
2-3冰機系統節能最佳化調整
4,500
2,418,327
4,353
1.03
1,669
2-4Review可停止運轉之設備
3,500
1,619,812
2,916
1.20
1,118
2-5無塵室空調系統節能最佳化調整
6,500
9,178,234
16,521
0.39
6,333
93,000
41,234,444
83,641
1.11
28,169
2-1 CDA系統節能最佳化調整
2-2貫流鍋爐系統節能最佳化調整
Total
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肆、整體節約能源實效
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單位產品耗能指標
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
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近三年整廠能源使用節約率
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
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節約能源計劃目標
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
立案評估中2件,年度節省金額2,105仟元
立案執行效益產出42件,年度節省金額40,780仟元
節約能源計劃目標之達成率 >95%
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其他整體節約能源實效
KNTD
60,000
YM Cost Down Target
2005目標
CN710支出
CN720支出
YM 支出
50,000
40,000
30,000
20,000
10,000
Jan-05
Feb-05
Mar-05
Apr-05
May-05
一 ~ 六月累計結餘 $32,774.千元,
COST DOWN比例 12.92 %
Jun-05
Jul-05
Aug-05
Sep-05
Oct-05
Nov-05
Dec-05
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
Month
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伍、特殊事蹟
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其他特殊事蹟
•全廠推行省水活動間接節約能源。
•全廠推行省氣化活動間接節約能源。
•購置Stripper回收設備,減少Stripper新液使用量。
•配合經濟部能源會協辦冰水機房能源使用合理化觀摩研討會。
•自一廠建廠階段即採節能設計,且在生產階段仍持續不斷改
善,二廠因吸收一廠經驗廠務設施能源效率比一廠高10.5% 。
•CDA、PV、排氣設備擴充、馬達更新,投資金額約四千萬 。
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全廠推行省水活動
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
立案評估中4件,年度節省金額1,871仟元
立案執行效益產出22件,年度節省金額21,078仟元
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全廠推行省氣化活動
數據資料請參
考評審委員之
書面資料
立案評估中6件,年度節省金額5,210仟元
立案執行效益產出16件,年度節省金額9,981仟元
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購置Stripper回收設備,減少Stripper新液使用量
改善前狀況:
廠區使用Stripper平均用量為:4.3 KL/day,其由供酸系統供
應生產機台後,再排放至廢液收集桶,造成廢液及生產成本
與環境問題。 每日Stripper用量=4.3KL/day、Stripper新液成本
=69.5元/L。每年之費用=4.3KL×365×69.5=109,080仟元/年
執行內容及成效:
新增Stripper回收設備將Stripper廢液回收再利用,經過蒸餾(
精餾)去除光阻(PR)、金屬離子及水份等不純物後,調整濃度
以符合標準,然後再度供應製程所需,以達到節能的目標。
Stripper回收設備之回收率85%以上。Running cost=4.8元/L 。
每年節省之費用=4.3KL×365×0.85×(69.5-4.8)=86,315仟元/年
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Stripper回收設備照片
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配合能委會協辦觀摩研討會
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實地訪查路線圖
1.SCADA
Fab1
2.SC
Light
Fab2
CUB
4.CDA
Boiler
Chiller W/W
3.INV
MAU
Office
W/W
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Q &A
Thanks!
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