Transcript download presentatie - EMC

Grote systemen en ESD issues
Ing.B.J.W.Grootemaat
KINGSIZE CONSULTANCY
ESD Protected Area
ESD
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
2
Systemen/equipment in EPA
Eisen
Normen/richtlijnen
Verificatie
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
3
NORMEN
•
•
•
•
•
•
•
ANSI/ESD S20.20-2007
IEC61340-5-1-2007
TR10.0-01-02*
SP10.1-2007*
SEMI E78-0912*
SEMI 129-0912
SEMI 43-1108
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
4
Normen/eisen nodig?
• Welke normen /eisen hanteert de
systeembouwer van Automated Handling
Equipment(AHE)
• Welke eisen stelt gebruiker aan een AHE
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
5
Handelingen aan product
Silicium wafer, reticles, plaatsen op foil
zagen,
Die attach, wire bond, testing,
Die packaging, pin preform, transport
packaging,
Unpack, insertion system/pick and place,
solderreflow, zagen, testen, transport
…….enz……..eind aplicatie
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
6
Bewegende delen en …..
Zap
Neutral plate
++++++
------
-----++++++
------
Charge transfer by contact
Charge transfer by Induction
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
7
…………….ESD
+++
+++
------
Second ZAP
Charge transfer
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
8
Bewegende delen en ESD
•Q=CxV
• C=.A/d
• W = 1/2 C . V2
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
9
Praktijk voorbeelden
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
10
System simulatie
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
11
Aandachtspunten
ontwikkeling/verificatie
•
•
•
•
•
“Device critical path”
Materiaal keuze en constructie
Bewegende delen/transport
Ionisatie
Aarding van de machine onderdelen
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
12
Verificatie mogelijkheden
•
•
•
•
•
Weerstandsmetingen Rs en Rg
Veldsterkte metingen
Ionisatie balance and decay
Faraday cup
ESD Events
23-10-2012
KINGSIZE CONSULTANCY
13
Kingsize Consultancy is een onafhankelijk advies bureau dat zich
gespecialiseerd heeft in:
ESD -metingen, -advies, -training en -audits.
Volwaardig lid van de EMC/ESD Vereniging en NEC101
Adres: Ing. B.J.W.Grootemaat
Tel:
0478550988
Ghünenbeek 9
Mobile: 0653103669
5807 CE Oostrum(LB)
Fax :
0478568680
E-mail: [email protected]