Transcript LABORATUAR GÜVENLİĞİ BİLİM, EĞİTİM ve ETİK DERSİ Prof. Dr. Seydi DOĞAN Atatürk Üniversitesi Fen Fakültesi-Fizik Bölümü Prof.

LABORATUAR GÜVENLİĞİ
BİLİM, EĞİTİM ve ETİK DERSİ
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
Atatürk Üniversitesi
Fen Fakültesi-Fizik Bölümü
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
İÇİNDEKİLER
Laboratuar Güvenliği
 Kişisel Koruma Ekipmanları
 Tehlikeli Malzeme Bilgi Sistemi
 Kullanılan Bazı Aletler
 Genel Laboratuar Güvenliği
 Elektrik güvenliği
 Cihaz Güvenliği
 Uyarı-Dikkat
 Isıtma güvenliği
 Cam Malzeme Güvenliği
 İlk yardım
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
BAZI KİŞİSEL KORUMA EKİPMANLARI
Bazı Kişisel Koruma Ekipmanları
Personal Protective Equipment (PPE)
gloves
Goggles
face shields
eye wash and
showers
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
Apron
first aid kit
07.11.2015
respirator
fire
extinguisher
Bilim, Eğitim ve Etik
TEHLİKELİ MALZEME BİLGİ SİSTEMİ
Çalışılan yerdeki tehlikeli malzeme bilgi sistemi
Workplace Hazardous Materials Information
System (WHMIS)
Oxidizing
Compressed
Gas
Biohazardous Poisonous and
Waste
Infectious
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
Flammable and
Combustible
Toxic
07.11.2015
Corrosive
Radioactive
Dangerously
Reactive
Explosive
Bilim, Eğitim ve Etik
KULLANILAN BAZI TOOL ADLARI
Tape measure
Wrench
Flat Head Screwdriver
Beaker
Phillips Screwdriver
Nut
Bolt
Washer
tweezer
Petri dishes
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
 Başlamadan önce kurallar gözden
geçirilmeli (dinlenmeli veya okunmalı)
 Teknik ve sağlık ile ilgili bilgiler, MSDS’ de
yer almalı ve en yakın yerde bulundurulmalı
 Haftalık eğitim toplantılarına katılmalı
ve pratik yapılmalı
 Öncelikle ne yaptığını, ne gibi potansiyel tehlikelerin
sizleri bekleyebileceğini anlamalı
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
 Yangın söndürücü ve battaniyesinin,
göz yıkama istasyonunun ve ilk
yardım kitinin yerini bilmeli
 Emin değilseniz, kesinlikle
sorumlusuna sorulmalı
 Kimyasal malzemeler ısıtılır veya bir
yerlere dökülürken, safety goggles
kullanılmalı ve lab. önlüğü (apron) giyilmeli
 Mümkün ise laboratuarda yalnız çalışılmamalı””
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
 Kaza (dökülme..) durumunda yetkiliye haber verilmeli
 Lab.da acil durum oluştuğunda, kendi acil eylem
planınız yerine, uygun prosedür uygulanmalı.
 Lab içinde koşulmamalı,şaka yapılmamalı,
bir şeyler yenip içilmemeli ve normalin
dışında hareket edilmemeli.
 Kullanılan alanın oldukça düzenli
olması ve ergonomik dizaynın
(cihazların çalışanların fiziksel ve
ruhsal limitlerine uyumu)
sağlanması gerekli.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
GİYİM:
 Uzun saçlar toplanmalı, ya topuz yapılmalı veya
yanmaz bone içine alınmalı.
 Uzun kollu ve gevşek giyeceklerden sakınılmalı.
 Ayakkabılar laboratuarda çalışmaya uygun olmalı,
sandalet giyilmemeli.
 Açık topuklu ve burnu açık ayakkabı giyilmemeli
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
 Kimyasallardan sona, eller sabun ve su ile yıkanmalı
 Laboratuarda eller yüze temas ettirilmemeli
 Birbirleri ile uyuşmayan kimyasallar bir arada
bulundurulmamalı ve tümü etiketlenmeli.
Lab. içine, chase den sadece gerekli olanlar alınmalı
Kimyasalların nerede ve nasıl kullanılacakları bilinmeli
 Uçucu olup olmadıklarının, gaz ve buharlarının
nereye gittikleri bilinmeli
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
 Asla, asit ve organikler ile (örneğin cözücüler,
solvents) karışım hazırlama
Oksitlenmeye ve patlamalara sebep olabilir.
 Asla, asit ve baz ile karışım hazırlama
Aniden hızlı bir ısı oluşmasına ve patlamalara sebep
olabilir.
 Asla, su asit içine dökülmemeli, asit su iç erisine
yavaşça dökülmeli
 Eğer, kimyasal kokusundan belirlenecek ise,
kimyasalın buharı buruna doğru yavaşça getirilmeli
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
GENEL LABORATUAR GÜVENLİĞİ
 Asit ve bazlar, wet bench lerde bol su ile atık suya
gönderilebilir.
 Diğer tüm kimyasallar ve çözeltiler atık şişelerine
transfer edilmelidir.
 Atık şişeleri doğru bir şeklide etiketlenilmeli, şişeye ne
kadar ve kim tarafından eklenildiği yazılmalı, nereye
gittiklerinin bilinmesi
 Kimyasalların tadı asla test edilmemeli (Lab. da hiçbir
şey tadılmamalı)
 Bilinmeyen kimyasallar asla karıştırılmamalı
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
ELEKTRİK GÜVENLİĞİ
 Asla, elektrik kabloları hareket güzergahı
içerisinde bırakılmamalı.
 Cihazlar kullanılmadan önce
Lab.’ın kuru olduğundan emin
olunmalı.
 Islak eller ile prizlere dokunulmamalı, elektrik
çarpmalarına sebep olur.
 Sizlerin yüksek voltajdan zarar görmenizdense,
cihazınızın zarar görmesi tercih sebebidir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
ELEKTRİK GÜVENLİĞİ
 Cihazlar ile çalışırken, kaza, elektrik çarpması,
yangın, patlama gibi potansiyel tehlikelere nelerin
sebep olabileceği düşünülmeli ve bu risklerin
indirgenmesi sağlanılmalı.
 Cihazlar, uygun elektrik bağlantısı ve gerilimi altında
çalıştırılmalı
 Voltaj belirtilen sınırlar dışında ve kablolar
taşıyamayacak durumda ise, ısınma yangına sebep
olabilir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
ELEKTRİK GÜVENLİĞİ
 Fişlere, kablolara ve prizlere zarar verilmemeli
 Zarar verilmiş şekilde kullanımı, elektrik çarpmalarına,
kısa devrelere ve yangınlara sebep olabilir.
 Bunların tamiri gerekiyorsa, ilgili ile görüşülmeli.
 Cihaz belli bir süreliğine kullanılmayacaksa, kesinlikle
prizden çekilmeli
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CİHAZ GÜVENLİĞİ
 Belli bir öğretim üyesi sorumluluğunda olması gerekir.
 Kullanılmasa bile, periyodik bakımı ihmal edilmemeli.
 Cihazların fişlerinin mümkün olabildiği kadar prize
girmesini sağlanmalı:
Fişin tam olarak girmemesi yangına veya
elektrik çarpmalarına sebep olabilir
Arızalı fiş ve prizleri kullanmayınız.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CİHAZ GÜVENLİĞİ
 BAKIM-ONARIM:
 Deneyimli, cihaz konusunda teknik altyapısı iyi olan,
dokümanları takip edebilecek ingilizce seviyesine
sahip teknik personel tarafından yapılmalı.
 Mümkün ise, yerinde ve en kısa zamanda yapılmalı.
 Mümkün ise, teknik elemana, cihazın bulunduğu
birimde kadro verilmeli ve o şehirde ikameti
sağlanmalı
 Teknik eleman, takım ruhu içerisinde çalışabilme ve
arkadaşlık ilişkileri güçlü olan biri olmalıdır.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CİHAZ GÜVENLİĞİ
 Neyin güvenli olduğunu ve neyin de güvenli
olmadığını bildiren standart belgeler vardır.
 Yüksek voltajın istisnası yoktur. Kesinlikle belirtilmeli.
 Yaklaşık 15 yıldır düşük voltajı da
belirtmek zorunluluğu vardır.
 Voltaj değerleri belirtilmeyen cihaza CE belgesi
verilmez.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CİHAZ GÜVENLİĞİ
 Yüksek voltaj gerektiren cihazlarla çalışırken, güvenlik
oldukça önemli bir konu.
Dikkatli olunmalı.
 Yüksek voltajla çalışmak ölüm yada
oldukça ciddi yaralanmalarla sonuçlanabilir.
 Yüksek voltajdan korumak için izolasyon oldukça
önemli (ısı, ses, elektriksel izolasyon… gibi ).
 Örneğin: En basitinden iki cihazın birbiri ile farklı
gerilimlerde olmaları sağlanır.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
WARNING-CAUTION
Genelde Cihazların üzerinde veya yerine göre
kullanım kılavuzlarında iki tane işaret dikkat çeker.
Eğer talimatlar, kurallar doğru bir
şekilde takip edilmez ise; kaza, ölüm
veya ciddi bir şekilde yaralanma ile
sonuçlanabiliri ifade eder.
WARNING
(UYARI-İHTAR)
Eğer talimatlar, kurallar doğru bir
şekilde takip edilmez ise; kaza,
yaralanmalara veya kalıcı hasarlara
sebep olabiliri ifade eder.
CAUTION
(DİKKAT-ÖZEN)
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
WARNING (UYARI-İHTAR)
 Cihazlar asla, ehil olmayan kişiler
tarafından tamir ve modifiye
edilmemeli ve parçaları sökülmemeli:
Zarar görmesine ve anormal bir şekilde çalışmasına sebep
olabilirsiniz,
Tamiri gerekiyorsa, ilgili ile görüşülmeli.
 Cihazlar sulu ortamda çalıştırılmamalı ve üzerine su
gelmesi önlenmeli:
Kısa devre veya elektrik şoku meydana gelebilir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
WARNING (UYARI-İHTAR)
 Cihazlar topraklanmalı:
Elektronik gürültülerin azalmasını sağlar.
Potansiyel elektrik çarpmalarından korur.
 Otomatik devre koruyucu ve sigortalar kullanılmalı:
Elektrik akımının otomatik olarak sınırlandırılmasını yada
kesilmesini sağlar.
Yangına sebep olabilecek aşırı yüklenmeleri önler.
Aşırı yüklendikleri zaman, devreyi keser.
 Cihazların bakım veya tamiri yapılacaksa, güç
kablolarının prizden çekilmesi gerekli.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CAUTION (DİKKAT-ÖZEN)
 Cihazların yüksek sıcaklık ve nemli ortamlarda
çalıştırılmamasına dikkat edilmeli:
Elektrik kaçağına sebep olabilir, ve elektik çarpması veya
yangınla sonuçlanabilir.
 Mümkün ise, eldiven kullanarak dokunulmamasına
özen gösterilmeli:
Çıplak el ile dokunulmamalı, insan eli kiri uzaklaştırılması en
zor kirdir.
Yağlı ortamlarda kullanılmamalı, yağlı eller ile dokunulmamalı.
 Patlayıcı maddelere yakın bir ortamda kullanılmamalı
Ateş alabilir ve yangına sebep olabilir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CAUTION (DİKKAT-ÖZEN)
 Temizleme işleminde, zarar verecek veya cihazı
çizebilecek, kimyasallar ve temizleme malzemeleri
kullanılmamasına dikkat edilmeli.
 Cihazın kullanımı bittiğinde, üzerinin kapatılmasına
dikkat edilmeli
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
ISITMA GÜVENLİĞİ
 Sıcak cisimleri tutmak için maşa ve (tongs) ve/veya
koruyucu eldivenler kullanılmalı
 Isıtmak için, sadece Kimax veya Pyrex türü
glassware’ ler kullanılmalı
 Sadece, kuru galssware’ ler ısıtma için kullanılmalı
 Asla, sıcak glassware’ler ve
hotplate’ler soğuyana kadar
Lab. dan ayrılmamalı
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
CAM MALZEME GÜVENLİĞİ
 Kırık ve çatlak cam malzemeler (Glassware)
kullanılmamalı
 Kırık glasswares, asla çöp kutusuna atılmamalı, (özel
glassware atık container a konulmalı)
 Asla sıcak glassware’ ler sulu ortamlara veya su
içerisine konmamalı, ani soğuma cam galssware’ leri
kırar veya çatlatabilir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
İLK YARDIM
Laboratuarda karşılaşılacak istenmeyen durumlar ve
yapılması gereken ilk yardım öncelikleri
 Yanmalar (burns)
Hemen, yanan kısım oldukça bol soğuk su içerisine
konulmalı ve yanma hissi geçene kadar içerisinde
tutulmalı
 Kesikler ve zedelenmeler (cuts, bruises)
Açık yaralanmalara eldiven giyinmeden dokunulmamalı,
üzerini birkaç dakika kapatmak küçük yaralanmaları
kesecektir. Zedelenen kısımların üzerlerine soğuk baskı
uygulamak şişme ve kabarmaları önleyecektir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
İLK YARDIM
 Bayılmalar (faintings)
Hemen temiz havaya çıkarılmalı ve başı vücudunun
diğer kısımlarından aşağıya gelecek şekilde yatırılmalı.
 Göze zararlı malzeme kaçması (eyes)
Hemen, eyes washes alanına gidilmeli
ve göz birkaç dakika bol su ile yıkanmalı.
Eğer yabancı cisim gözde kaldı ise göz
asla ovalanmamalı ve gerekli tıbbi müdahale yapılmalı
 Zehirlenmeler (poisonings)
Zehirlenmeye sebep olan neden belirlenmeli ve gerekli
tıbbi müdahale ve önlem alınmalı
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
İLK YARDIM
 Ele ve deriye bir şeyler dökülmesi (spills on the
skin)
Oldukça bol miktarda bol su ile yıkanmalı
Eğer asit dökülmesi ise: Soda çözeltisi ile dökülen
yere uygulama yapınız.
Eğer baz dökülmesi ise: Sirke yada borik asit ile
dökülen yere uygulama yapınız.
 Elektrik şoku (electrical shock)
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
TEŞEKKÜR
SABRINIZ
ve
DİNLEDİĞİNİZ
için
TEŞEKKÜRLER
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
KİMYASAL ZARARLILAR
 Vücuda girişi (entry into the body)
Nefes alma ile (inhalation)
Deri yolu ile (dermal)
Enjeksiyon (injection)
Yutma (ingestion)
 Teknik ve sağlık ile ilgili bilgileri (MSDS)
Material Safety Data Sheet (MSDS), de yer almalı ve
en yakın bir yerde bulundurulmalı
 Saklanması (storage)
Birbirleri ile uyuşmayan zararlılar bir arda bulundurulmamalı ve tümü etiketlenmeli
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
KİMYASAL ZARARLILAR
 Kullanma şartları (Conditions of use)
Nerede ve nasıl kullanılacaklarının bilinmesi
Diğer kimyasallarla olan reaksiyonlarının bilinmesi
Isıtılması, yanıcı özellikleri…bilinmesi
 Taşınması (transport)
Sıçrama, dökülme ve transferi gibi özellikleri bilinmeli
Tüm kimyasallar ikinci bir kap içerisinde taşınmalı
Bütün kapakların kapalı olduğundan emin olunmalı
 Boşaltılması (Exhaust)
Uçucu olup olmadıklarının, gaz ve buharlarının
nereye gittiklerinin bilinmesi
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
KİMYASAL ZARARLILAR
 Yok edilmesi (disposal)
Asit ve bazlar, wet bench lerde bol su ile atık suya
gönderilebilir.
Diğer tüm kimyasallar ve çözeltiler atık şişelerine
transfer edilmelidir
Atık şişeleri doğru bir şeklide etiketlenilmeli, şişeye
ne kadar ve kim tarafından eklenildiği yazılmalı
 Nereye gittiklerinin bilinmesi
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
TEST
1. D ( ) Y ( ) Laboratuarda elektrik güvenliği ihmal
edilmemelidir.
2. D ( ) Y ( ) Laboratuarların denetimleri önemli değildir
3. D ( ) Y ( ) Laboratuarda yemek ve içmek kabul
edilebilir.
4. Laboratuarda Personal Protective Equipment (PPE)
malzemelerinin temininden kimler sorumludur?
5. MSDS ne demektir?
6. D ( ) Y ( ) Laboratuarlardaki sistemler düzenli bakım
gerektirmezler.
7. Laboratuarlardaki kimyasal yanmalara karşı en etkin
ilk yardım tedavisi nedir?
8. D ( ) Y ( ) Laboratuarlardaki kimyasallar bir arada
saklanmalıdır.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
TEST
9. D ( ) Y ( ) Çeker ocaklar kimyasal malzeme
depolamak için kullanılmalıdır
10.MSDS de yer alan bilgilerden bazı nelerdir?
11.PPE’ lerden bazılarının İngilizce isimlerini veriniz?
12.D ( ) Y ( ) Laboratuarlardaki acil sistem duşlarını
test ettirmeye gerek yoktur.
13.D ( ) Y ( ) Laboratuarda acil durum oluştuğunda
kendi acil eylem planının uygulamak en
önemli metottur.
14.Laboratuarda aşağıdakilerden hangisi giyilmelidir?
a) Sandalet giyilmelidir.
b) Açık topuklu ayakkabı giyilmelidir.
c) Kapalı topuklu ayakkabı giyilmelidir.
d) Ayakkabı giyilmemelidir
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
TEST
15. Bir sıvı kimyasal koklanıldığı zaman,
a) Derince teneffüs edilmelidir.
b) Çeker ocak kullanılmalıdır.
c) Masaya dökülmelidir.
d) Kendine doğru yaklaştırılarak buharı koklanmalıdır.
16. Laboratuarda çalışırken kazaları önlemek için
a) Diğer çalışanlara göre daha hızlı, çalışmak gereklidir.
b) Yerine başkalarını çalıştırmak gereklidir.
c) Kurallara uymak gereklidir.
d) Kestirme yolları kullanmak gereklidir.
17. Laboratuardaki yangını söndürmek için,
a) Yangın söndürücünün nasıl kullanıldığını bilmek gereklidir.
b) Yangın söndürücünün yerini bilmek gereklidir.
c) Yangın battaniyesinin nasıl kullanılacağını bilmek gereklidir.
d) Yukarıdakilerin hepsini bilmek gereklidir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
TEST
18. Aşağıdakilerden hangi(leri) lab. güvenlik malzemelerinden sayılır?
a) İlk yardım kiti
b) Göz yıkama lavabosu
c) Dökülen malzemeleri temizleme kiti
d) Yukarıdakilerden hepsi
19. Asit ve baz karışımı hazırlanırken doğru yöntem
aşağıdakilerden hangisidir?
a) Asiti, çok miktarda su içerisine eklemek
b) Suyu, çok miktarda asit içerisine eklemek
c) Asiti, soğuk, girdap gibi dönen su içerisine eklemek
d) Her ikisini de beher içerisine birlikte dökmek
20. D ( ) Y ( ) Laboratuardaki tüm kimyasalların tehlikeli
olduğu düşünülmelidir?
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR
İnsan Sağlığına Zararlı Kimyasallar
Ağır metaller
Aromatik nitro bileşikleri
Aldehitler
Alkali metaller
Alkali tuzları (NaOH, KOH)
Amonyak
Benzen
Civa
Eterler
Fenoller
Florlu hidrokarbonlar
Formaldehit
Fosfor
Halojenler
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
Hidrojen peroksit
Hidrojen sülfit
Hidrojen syanid
İnorganik amidler
Karbon disülfür
Karbon tetraklorür
Klorlu hidrokarbonlar
Ksilen
Metil alkol
Nitrat ve nitritler
Nitrik asit
Okzalik asit
Perkloratlar
Toluen
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR
 Asetik asit
Daha kuvvetli asitlerle birlikte temizleme ve etch etme için
kullanılır. Seyreltik çözeltisi film banyosunda kullanılır.
Göz, deri ve burun içi mukoza zarı tahribi ve ayrıca yanmalara
sebep olur.
 Hidroklorik asit (HCl)
Si waferları ve fırın tüplerini temizlemek için kullanılır.
Göz, deri ve burun içi mukoza zarı tahribi ve ayrıca yanmalara
sebep olur, akciğerde kan toplanmasına ve zararına sebep olur.
 Nitrik asit (HNO3)
Waferları etch etmek ve temizlemek için kullanılır.
Solunum siteminde yanma, göz, deri ve burun içi mukoza
zarında yanmalara sebep olur.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR
 Hidroflorik asit (HF)
Si yüzeylerinin temizlenmesinde ve Si ile SiO2’ in etch
edilmesinde kullanılır.
Kokusuz, renksiz ve su görünümlüdür
HF, dokularda oldukça kolay çözülebilir ve vücudun her
tarafında taşınır.
H+, aşındırıcı tarzda yanmalara sebep olur.
F-, derin doku zararlarına, kemiklerde erozyona sebep olur.
7 mL saf HF, bir erişkin insandaki tüm Ca’ u bitirir. Kalp krizine
sebep olur. Acılar 24 saat gecikebilir.
Yüksek konsantrasyonlu HF cama attack eder. Plastik kaplar
kullanılmalıdır.
HF ile temas eden bölge Calcium Glouconate jel ile
pansuman edilmelidir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN ASİT ve BAZLAR
 Sülfürik asit
H2O2 ile birlikte wafer temizleme, etch ve soyma için kullanılır.
Eğer nefesle alınırsa, muhtemelen öldürücüdür. Deri ve göz
yanmalarına, burun içi mukoza zarı tahribine ve şiddetli solunum
yolu rahatsızlıklarına sebep olur.
 Potasyum hidroksit (KOH)
Si, SiC, GaN gibi waferları etch etmek için kullanılır.
Göz ve deride şiddetli yanmalara, ayrıca göz, deri, burun,
boğaz ve akciğerlerde tahrişe sebep olur.
 Sodyum hidroksit (NaOH)
Si waferları etch etmek için kullanılır.
Göz ve deride şiddetli yanmalara, ayrıca göz, deri, burun,
boğaz ve akciğerlerde şiddetli tahrişe sebep olur.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN ÇÖZÜCÜLER
 Aseton
Temizleme ve PR uzaklaştırmasında kullanılır.
Renksiz, tatlı bir kokusu ile son derece yanıcıdır. Asla yüksek
sıcaklıklarda ısıtılarak kullanılmamalıdır.
Göz, ve çok kullanımı, deri tahrişine sebep olur.
 İzopropil Alkol
Si waferları ve fırın tüplerini temizlemek için kullanılır.
Renksiz sıvı ve gaz halinde bulunur.
Göz ve deri tahrişine sebep olur. Oldukça rahatsız edici bir
kokusu vardır.
 Metanol
Genel amacı, çözeltileri temizlemek için kullanılır.
Renksizdir. Yanıcıdır.
Göz ve deri tahrişine sebep olur. Deri tarafından kolayca
absorbe edilir.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN ÇÖZÜCÜLER
 Trikloroethan
Oksitlenme fırın tüplerindeki klorini uzaklaştırmak için
kullanılır.
Sıvı ve tatlı bir kokusu vardır. Yüksek sıcaklıklarda yanıcı
özelliği vardır.
Solunum yolu, göz, ve deri tahrişine, merkezi inir sistemi
depresyonuna ve kanser tehlikesine sebep olur.
 Hidrojen Peroksit (Oxidizer)
Oxidizer: Diğer malzemelerle tutuşma ve yanmaları başlatan
yada teşvik eden, kendi başlarına yada oksijenin salınıvermesi ile
yangınlara sebep olan kimyasallardır.
Wafer temizleme çözeltisi olarak kullanılır.
Renksizdir.
Göz ve deride kimyasal yanmalara ve tahrişine sebep olur.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN GAZLAR
 Amonyum (NH3)
Si ile reaksiyona girerek Si3N4 oluşmasını sağlar.
Renksiz, kuvvetlice alkaline ve son derece çözülebilen ve
keskin kulu bir gazdır.
 Forming gaz
N2 ve H2 (yüzdelik olarak %10 a kadar) gazının karışımı olan
bir gazdır. Waferların sinterizasyonunda (toz halindeki
malzemenin erime sıcaklığı altındaki bir sıcaklığa belli bir süre
maruz bırakılarak tozların birbirlerine değdikleri noktalardan
başlayarak kaynaşmasına denir.) kullanılır. Ayrıca, termal tavlama
sırasında ortam gazı olarak kullanılır.
Yanıcıdır.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik
SIKÇA KULLANILAN GAZLAR
 Silane (SiH4)
Epitaksiyel, amorf ve poli-Si kristallerinin büyütülmesinde,
ayrıca N2 ve NH3 ile reaksiyona girerek Si3N4 oluşmasını sağlar.
Pyrophoric (havada kendiliğinden tutuşan, sürtünme sonucu
kıvılcımlara sebep olan) gaz olup, kötü bir kokusu vardır.
 Dichlorosilane (SiH2Cl2)
N2 ve NH3 ile reaksiyona girerek Si3N4 oluşmasını sağlar.
 Sülfür Hekzafloride (SH6)
Poli-Si ve Si3N4’ ın RIE sisteminde plazma ortamında etch
edilmesinde kullanılır.
 Ar, N2, O2…
Sputtering işlemlerinde, çeşitli tavlamalarda ortam gazı olarak,
numune kurulamalarında, …kullanılır.
Prof. Dr. Seydi DOĞAN
07.11.2015
Bilim, Eğitim ve Etik