6 F€vrier 2014

MEB LEO Stereoscan 440 Dual Beam MEB LEO Stereoscan 440 / FIB Orsay Physics Canion 31

Nous vendons deux MEB LEO stereoscan 440 dont un est €quip€ d'une colonne FIB OP Canion 31 et d'un logiciel de pilotage Raith Elphy Quantum (lithographies €lectronique et ionique).

CaractÄristiques MEB :

- Filament Tungsten - Tension d’acc€l€ration 300V ‚ 30kV - Plage de courant 1pA ‚ 1 ƒA - D€placement de la platine (X - Y - Z) 80mm - 80mm - 30mm - Tilt / Rotation 0-90„ / 360„ continu - Platine eucentrique 6 axes pour le MEB €quip€ de la colonne FIB - R€solution 10 nm - D€tecteur Everhart Thornley

CaractÄristiques FIB :

- Source LMIS Ga + - Plage de courant 3pA – 1.2nA - Densit€ de courant (max) 1 A/cm† - R€solution 20nm Pilotage des faisceaux : Raith Elphy Quantum 4.0 (gestion des donn€es au format gds, pilotage de l'un ou l'autre des faisceaux ) . Pour plus d'informations, veuillez contacter : Roland SALUT Institut FEMTO-ST - UMR CNRS 6174 Centrale de Technologie MIMENTO Maison des Microtechniques 18, rue Alain Savary F - 25000 BESANCON Phone : +33 (0) 363 082 107 E-mail : [email protected]