Transcript MKS Ozone System

TMS Co. , Ltd
2014. 07. 18.
Ozone System
OZONE Generator
AX8407
1 ~ 14개의 cell**
높은 농도 O3 생성
AX8560
AX8561
1~7개의 cell
1~8개의 cell
O3농도계
O3 농도계
MFC 내장
MFC내장
** Cell: OZONE을 만들어내는 공간
Touch Panel
OZONE Delivery system
AX8575
AX8550
AX8555
Max 4 GEN
AX8407
Max 2 GEN
AX8407
AX8560,
AX8561 설치
POWER Distributor
POWER Distributor
POWER Distributor
Gas Control
Gas Control
개별 챔버 공급가능
O3 농도계
O3 농도계
Control부
Control부
오존수 Delivery system
LIQUOZON Single
 Single Wafer Processing
 400×500×1200 mm
 오존농도: 95 ppm
 오존수 flow : 20 lpm
LIQUOZON Loop O3
 Low flow applications
 412×512×1,407 mm
 오존농도: 62 ppm
 오존수 flow : 10 lpm
오존수 Delivery system
LIQUOZON Stream O3
 multi chamber single wafer Tools
 610×1,011×1,977 mm
 오존농도: 114 ppm at 5lpm
 오존수 flow : 140 lpm
Constant ozone
concentration &
pressure at varying
flow rates
오존수 Delivery system
LIQUOZON Prim O3
 multi chamber single wafer Tools
 612×612×1,808 mm
 오존농도: 115 ppm at 2 lpm
 오존수 flow : 32 lpm
High flow option: 60 lpm (30ppm)
LIQUOZON Smart
 Semiconductor market
오존농도: up to 114 ppm
 오존수 flow-One outlet : 25 lpm
High flow mode : 50 lpm (80lpm)
 Up to 3 outlets : 개별 flow & 개별농도