Transcript やとい - 京都大学

研磨関連報告
（株）ナノオプトニクス・エナジー
高橋啓介
9/18 ＠京都大学
もくじ
・「やとい」つき研磨の流れ
・ナガセインテグレックス製研磨機の構造について
・予定
端の研磨不足領域
エッジ付近の形状
エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けない
パッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう
滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく補正する方法は？
前回の方針：やといの設置
エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから
パッドが落ちないようにする！
セグメント
やとい
設置の方法、段差の問題等、課題はいくつかあるが、
研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性
GTC segment by Sagem
Sagem：フランスの会社。GTC (Gran Telescopio Canarias)を製作
SPIE proceeding
より
パッドに対して非常に狭い領域にのみ、やとい設置→端ダレを防ぐ目的のみ？
やといつき研磨の流れ
やとい
R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１
１：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット）
２：セグメントの周囲に設置
→レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標）
→ナガセ製剣山治具で高さ固定
→ラテラル方向の固定はセグメントとほぼ同じ
セグメントが干渉する場所はやとい底の溝で固定
３：CGHで形状を確認しながら研磨
ナガセインテグレックス製研磨機
山口専務総指揮にて開発中。
・スライド部はエア軸受け→摩擦なし
・高剛性でガタがほぼなし
・傾き制御はNCで
→高精度で制御できれば
意図的な圧力勾配つき研磨可能？
・早ければ年内に使用可能？
今後の予定
来週～
・曲率基準鏡研磨
～10月
・やとい用治具発注
～11月
・やとい用硝材納入
→その後、研削を経てセグメント研磨