Transcript 開發自動化低價電流-電壓應力量測系統(ppt檔案)

開發自動化低價電流-電壓
應力量測系統
計畫主持人 : 康定國
執 行 單 位 : 正修科技大學/ 電子系
計 畫 編 號 :NSC100-2622-E-230-004-CC3
日
期 : 2012/11/06
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大綱






合作廠商
計畫摘要
計畫内容&成果說明
技術特點說明
可開發產品
推廣及運用的價值
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 合作廠商
 合作廠商現況說明:




巨克富科技有限公司(www.chiefsi.com.tw) 。
自行開發StrainMap, eStrain, FleXense量測系統，主要是在應
變/振動/溫度之量測 。
經銷National Instruments(NI)系列商品。
代理日本SHOWA應變量測系列商品 …等等。
 參與此計畫預期效益:

整合合作廠商的eStrain，可將其開發自動化低價I-V應力量測。

此量測系統之開發具商品化與市場競爭性。
 目前效益: 此量測系統具商品化價值。
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 計畫摘要
應力機構設計
開發自動化低價
電流-電壓
應力量測系統
(1)
方法: 使用四點式應力機構，提供待測元
件均勻的應力，藉由應變規變化量測出。
低價I-V量測
(2)
方法: 選用低價的I-V量測儀，適當軟硬體
架設，可以獲得較低的電流量測大小。
自動化系統
(3)
方法: 利用Labview程式整合應力機構與
低價的I-V量測儀，將其成為自動化系統。
實驗驗證
(4)
方法: (a) 評估MOSFET壓阻係數。
(b)評估Nanowire壓阻係數。
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 計畫内容說明
 評估壓阻係數
3.5
pMOSFETs W/L=10m/10m
0 (MPa)
-34 (MPa)
-57 (MPa)
-82 (MPa)
-108 (MPa)
-116 (MPa)
-151 (MPa)
3.0
2.5
2.0
DS
低價I-V量測儀
 Labview整合
應力機構
I-V量測儀
實驗驗證
-I (A)
應力機構
自動化系統
1.5
1.0
V
0.5
0.0
-1
= -50 mV
DS
-0.8
-0.6
V
10
8x10
D rain C u rren ts (A )
應力機構&
I-V量測儀
6x10
-7
GS
-0.4
-0.2
0
(V)
-8
ID S
-8
with mechanical strain
4x10
2x10
-8
-8
w/o mechanical strain
0
100
200
300
400
500
600
T im e (S e c .)
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 研究成果說明 (續)
說明
研究成果
量化
SCI期刊論文
主要有三部分 :
1. I-V應力量測系統;
2. MOSFET應力量測分析。
3. Nanowire應力量測分析。
研討會論文
研究多晶矽奈米線壓阻性質
共1篇
技術移轉授權
國科會應用型產學合作計畫
(99~101年度先期技術移轉授
權金)。
共十五萬元。
年度
備註
計畫名稱
共4篇
共3篇
1. Measurement, vol.44, 2011,
2. IEEE EDL, vol.33, 2012,
3. APL, vol.100, 2012。
4. Nanotechnology, vol. 23, 2012.
(IEDMS, 2011)。
擔任工作
委託機構
情形
可自我升溫的四點式晶圓彎曲應力量測系統之研究
(NSC 99-2622-E-230-005-CC3)
主持人
國科會
結案
100
開發自動化低價電流-電壓應力量測系統
(NSC 100-2622-E-230-004-CC3)
主持人
國科會
結案
101
開發自動化低價低頻雜訊應力量測系統
(NSC 101-2622-E-230-001-CC3)
主持人
國科會
執行中
99
 重要成果: 4篇SCI期刊，十五萬元授權金。
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 技術特點說明

此計畫技術特點如下:
 建立國內自組自動化I-V應力量測系統之Know-How。
 此量測系統已應用於CMOS製程元件或是矽奈米線元件
之應力研究 。
 此量測系統也可應用於非矽元件，例如對III-V MOSFET
元件之壓阻性質研究 ，或是其它領域之相關應力量測。
 整合合作廠商的eStrain，可將其開發出Strained I-V量測
系統。
 技術特點: 此量測系統具獨特性、應用領域廣、整合性高。
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 可開發產品
 可開發產品
– 應力量測平台 –
1. 應力機構
2. 自動化低價I-V量測
3. 低價I-V應力量測儀
 可應用領域
1.
2.
3.
4.
5.
CMOS製程
非CMOS製程
軟性電子
微機電
OLED
…等等相關應力量測
低價低頻雜訊應力量測系統
 特色: 此量測系統具擴充性高。
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 推廣及運用的價值

推廣 : 半導體、光電、軟性電子、IC封裝、或是
學界等有關應力量測與研究使用上的需
求。

運用 : 有關應力量測，或是整合至其它量測功
能(例如: I-V, Temp., Noise等) ，增加更多功能 。
 結論: 此量測系統已具備商品化價值、獨特性、
應用領域廣、整合性高。
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報告結束，謝謝聆聽 ﹗
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附 錄 -1

應力量測平台 + Low-Frequency Noise
(d)
(a)
(b)
Wafer Station
LNA
Noise Filter
DSA
(a)
DC
Bias
Noise Filter
Labview
(c)
 此應力量測平台容易整合至其它量測功能。
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