Transcript 9.1 日立S-4800场扫描电镜操作规程

S-4800 简 易 操 作 规 程
Techcomp Lab
电镜维修部
开机步骤
1. 开墙上主机电源电源的开关；
2. 将仪器后面板处的主电源开关（Main
Power）打开，之后按下Reset键；
3. 启动Evac Power ，等待TMP指示正常后顺
序打开IP1、IP2和IP3 的电源开关，真空启
动程序开机结束；
4. 开启左侧面板Stage Power，启动右侧
Display 开关；
5. PC机自动启动进入Windows 操作系统，并
自动运行S-4800 操作程序，此时点击OK
（没有密码）后自动进入S-4800操作软件。
更换样品步骤
一：安装样品步骤：
1. 在实验台上事先粘好样品，并用高度规检
测其高度；
2. 点击样品交换室的Air键，当听到笛的一声
后轻轻的拉开样品交换室；
3. 将样品杆手柄处于Unlock位置，把样品机
座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位
置；
4. 轻轻推注样品交换室，点击Evac 键，抽好
真空后点击Open键，样品交换室与样品室
间的闸门自动打开；
5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品至于样品台
上，旋转手柄至Unlock，拉出样品杆，最后
点击Close关闭阀门，安装样品结束；
二：取样品步骤：
1. 样品检测结束后，关闭高压，点击Stage菜
单的Home 图标使样品归位；
2. 点击样品交换室处的Open键，推进样品杆
将香蕉头插入至样品基座，旋转手柄至Lock
位置；
3. 轻轻的拉出样品杆，点击Close键，闸门关
闭后点击Air键，待样品室放气后轻轻拉开
样品交换室，旋转手柄至Unlock位置，取
下样品基座，结束取样品工作。
操作步骤
1. 打开Flashing菜单并执行强度2，直到
Ie=30～40uA；
2. 选择合适的加速电压，并点击HV ON，当
操作过程中Ie≤60%设定值时，点击Set使其
恢复至设定值；
3. 电气合轴调整：
1）打开Alignment菜单，点击Beam Align 通
过操作面板上的X、Y旋钮调整光斑到中心；
2）暂时选Off关闭Beam Align对话框，通过
Focus大致调整图像，再选择Aperture Align
通过操作面板上的X、Y旋钮调整图像至心
脏式跳动而不是摇摆晃动；
3）再选择Stigma Align Ｘ通过操作面板上的
X、Y旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇
摆晃动，同样方法调整Stigma Align Ｙ；
4. 选择Ｌ－Mag 模式，配合轨迹球大致找到
要观察的样品；
5. 转换到H-Mag 模式,通过调整Mag增大倍
数，并同时通过Focus调整图像达清晰；
6. 进一步增大Mag至超过自己想要的放大倍
数，细聚焦调整并通过Stiga消除像散，使
图像达至最清晰；
7. 将Mag调到实际放大倍数，点击M图标暂存
图像，之后关闭高压结束此样品检测。
关机步骤
1. 点击Stage Home样品归位后，取出样品；
点软件右上角X ，退出软件，正常关机显示
器出现黑屏后关闭Display开关。
烘烤步骤
1. 关掉高压，取下电子枪上的两个固定螺丝；
2. 轻轻的取下高压电缆，将取下的枪头放于
侧面的支架上；
3. 检查镜筒是否干净，安装内外烘烤的电源
线；
4. 盖好相应的传感器的罩子；
5. 通过面板处选择Bake设定内外烘烤的时间，
根据自己的时间情况设定如Ou12，In8；Ou
24 ，In12；等等（注意Ou≥In）之后点击
Start 开始烘烤；
6. 烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6
小时；
7. 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装
入镜筒；
8. 开机执行Flashing，先F1 0～10uA、F2
30 ～40uA、 F3 50～60uA最后再调回到
F2。
取样品步骤
1. 关掉高压，并样品台归位；
2. 关闭Aperture 从Heat到Off，等待30分钟；
3. 关闭Display 和 Stage 的开关，按住面板处
Air键2～5秒钟；
4. 等待破真空后，取下固定样品室的4个内六
角螺丝；
I型：拆下相连接的信号线，小心的取下样品
台；
II型：接上轨道延长杆将样品台缓缓滑出；
5. 戴上手套进入样品室取出样品；
6. 将样品台和线等复原，点击Evac抽真空，
待真空抽好后将Aperture再开始加热；
日常维护保养
1. 清洗冷却循环水过滤网；
2. 空压机放水；
3. 检测RP泵油液面；