Transcript 8PP

Mikrosystemy
krzemowe
Rozmiary geometryczne mikrosystemów
Schemat blokowy mikrosystemu
Realizacja skomplikowanego kształtu metodą wielokrotnego
nakładania warstw poświęconych
MIKROSILNIK ELEKTROSTATYCZNY
prędkość obrotowa
25000 obr/min
STOJAN
ROTOR
o średnicy
100 m m
Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Wykonanie
Projekt w CAD
Cewka
Chip z wieloma układami RF
Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Waraktor obrotowy
Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Projekt w CAD
Wykonanie
Linia opóźniająca
Scaner
1 mm
Zespół dysz wraz z przełącznikiem
Miniaturowa łódź podwodna płynie w naczyniu
krwionośnym
Techniką stereolitografi
wytworzono
subminiaturową łódź
podwodną,
przeznaczoną do
diagnostyki układów
krążenia, o wymiarach 4
x 0.8 mm .
Urządzenie to jest
napędzane śrubą
wielołopatkową. Może
być wyposażone w
kamerę TV i różne
czujniki wielkości
nieelektrycznych.
Dzięki uprzejmości firmy Micro TECH, Bismarckstrasse 1426, 47057 Duisburg, Niemcy
Rynek MEMS-ów w miliardach dolarów
Światowy rynek mikrosystemów
Struktura i zakres 1996-2002, produkty
dobrze usytuowane (przewidywania 1999)
1996
Nazwa produktu
głowica twardych dysków
głowica drukarek
atramentowych ink-jet
urządzenia wspomagające
pracę serca
urządzenia do diagnozowania
in vitro
pomocnicze urządzenia dla
niesłyszących
czujniki ciśnienia
czujniki przyspieszenia
czujniki chemiczne
kamery podczerwone
żyroskopy
czujniki magneto-rezystywne
mikrospektrometry
Razem
2002
szt.
mln
530
USD
mln
4500
szt.
mln
1500
USD
mln
12000
100
4400
500
10000
0.2
1000
0.8
3700
Noworozwijane mikrosystemy 1996-2002
(przewidywania 1999)
1996
700
450
4000
2800
4
1150
7
2000
115
24
100
0.01
6
15
0.0006
600
240
300
220
150
20
3
13033
309
90
400
0.4
30
60
0.150
1300
430
800
800
360
60
40
34290
2002
spodziewany wzrost
Nazwa produktu
szt.
mln
USD
mln
szt.
mln
USD
mln
ilościowy
wartościowy
dozowniki lekarstw
1
10
100
1000
10x
10x
przełączniki optyczne
lab-on-chip (DNA,
HPLC, etc)
magnetoopyczne
twarde dyski
rzutniki obrazu DMD
cewki na chipie
mikroprzekaźniki
mikromotory
1
50
40
1000
50x
25x
0
0
100
1000
-
-
0.01
1
100
500
10000x
500x
0.1
20
0.1
10
10
0.1
5
1
600
50
2
300
100
100
80
10x
30x
20x
30x
10x
1000x
16x
1
10
20
70
20x
7x
10
10
30
30
3x
3x
0.01
0.5
2
20
200x
100x
0.001
0.1
106.7
0.05
5
4205
50x
50x
>40x
mierniki pochylenia
(poziomice)
dysze wtryskowe
czujniki
antykolizyjne
nosy elektroniczne
Razem
EUROPRACTICE
W Europie powołano jeden ogólnoeuropejski i kilka
narodowych programów rozwoju mikrosystemów pod nazwą
EUROPRACTICE, który podzielono na pięć głównych działów:
pomiary fizyczne i motoryzacja (CC1)
mikrourządzenia biomedyczne i zastosowania w
medycynie (CC2a)
mikrosystemy bioanalityczne dla nauki o życiu i
ochrony środowiska (CC2b)
MEOMS, urządzenia peryferyjne i telekomunikacyjne
(CC3)
mikromaszyny i mikroaktuatory, kontrola procesów i
zastosowania w narzędziach (CC4)
mikrofluidyka i mikrosystemy cieczowe (CC5)
czujniki promieniowania, areonautyka i zastosowania
instrumentalne w aparaturze naukowej (CC6a)
systemy obrazowe CMOS (CC6b).
Rozwój techniki mikrosystemów na świecie
Struktura nakładów inwestycyjnych na badania i
instytucji badawczych w dziedzinie
mikrosystemów
Struktura nakładów inwestycyjnych na
badania w dziedzinie mikrosystemów
krzemowych
Struktura instytucji badawczych
i dydaktycznych
Rozwój mikrosystemów
Pole zastosowań i rozwój mikrosystemów
Technika mikrosystemów a rozwój