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奈米定位與量測技術
報告題目：近場光學顯微鏡應用於表面量測
授課老師：朱志良 老師
學生姓名：李文妤
學生學號：MA110113
近場光學顯微鏡原理
 近場光學原理
 在遠小於光源波長的距離下，做光學的量測與觀察。
圖1. 近場光學原理示意圖
 近場光學顯微鏡原理與工作模式
圖2. 近場光學顯微鏡(SNOM)之示意圖
圖3. 近場光學顯微鏡(SNOM)之工作模式分為(a)穿透式與(b)反射式
近場光學顯微鏡應用
 觀察表面結構
 表面結構：如圖4.(a), (b)之聚苯乙烯顆粒之表面結構及近場光學影像
(a)
(a)
(b)
圖4. 聚苯乙烯顆粒之表面結構及近場光學影像
 表面粗糙度之量測
 將準分子雷射加工後之高深寬比 polycarbonate 微渠道結構底部，作表面粗糙度量測，如
圖5.(c), (b)，未來將利用此種技術測量生物組織培養之表面形貌。
圖5. PC表面之微結構粗糙度量測
近場光學顯微鏡參考文獻
 1.
 2.
 3.
科學發展，386期。
工業材料雜誌，238期。
http://web1.knvs.tp.edu.tw/AFM/ch9.htm。
第9章，近場光學顯微鏡。
 4.
 5.
近場光學顯微鏡，作者：許藝菊。
近場光學顯微鏡，作者：何采宇、周鈺翔、蔡智凱、陳利鴻。
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