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PDMS之成型
介紹PDMS
 矽氧樹脂亦稱為矽酮（polymerized siloxanes或
polysiloxanes），是一個介於有機與無機的聚合物。
 熱穩定性 (在–100 to 250°C間能保持穩定性質) 。
 彈性、低化學活性、無毒。
PDMS成型
 選用520μm厚度之silicon wafer塗佈一層負型光阻(SU-
8)80 μm厚度
PDMS成型
曝光後可呈現出微流管道。
PDMS成型
 A＆B Solution (Dow Corning)以10：1混合倒進模具內。
 放置室溫下24小時可分離PDMS與Si Wafer。
PDMS成型
 如欲成型Inlet＆Outlet Tube可用機械鑽孔機成型。
PDMS ＆ GLASS BONDING
 因PDMS表面有著疏水性，可利用OXYGEN PLASMA
使PDMS表面成親水性。
 PDMS ＆GLASS可利用RIE系統通氧氣(25SCCM) ，操
作壓力200mTorr 、功率100W 執行30秒。