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雷射準直儀的原 理及應用 姓名:陳柏文 學號:49914033 指導老師:劉雲輝 1 目錄 摘要 原理 反射鏡特性 雷射準直儀應用 量測前準備動作 影響量測準確性因素 應用 結論 2 摘要 現今機械產業以傳統產業及精密加工產業 為主,我今天要討論的是應用在加工儀器 上的光電量測,如果機台要加工出精密的 產品當然機台也要有相當的水準 3 原理 雷射準直儀示意圖,對於精密定位準直,則需要 用到位置感測器(PSD),通常將這位置感測器裝 在待測目標物上進行準直。 http://www.youtube.com/watch?v=HEi9zU0lwC4 4 利用雷射光高方向性及高亮度等特性,在機械工 程 中作為檢驗工具機或平板之真平度、垂直度、 角度、對準等用途 5 目前常用於量測長度的干涉儀,主要以麥克森干 涉儀為主;以雷射為光源,構成一具有干涉作用 之量測系統。 6 7 反射鏡特性 所有反射光皆以入射光相同角度反射 8 雷射準直儀應用 雷射準直儀應用在 銑 床機台上,用以量 測 pitch及 yaw兩種誤 差 9 量測前準備動作 量測軸的極限位置 量測軸的起點位置 移動方向是正方向或負方向 確認機械位置回饋方式及其膨脹係數 10 影響量測準確性的因素 1.空氣擾動 2.機械振動 3.鏡組誤差 4.鏡組未固定在正確位置上 5.局部熱源 11 應用 也可應用在傳統產業的車床上 12 結論 因為現在商品趨向微小精密,所以在量測 方面會出現問題,如果使用光電量測就能 準確量測出所需位置。 13 參考文獻 http://140.124.201.107/data/course/university_Pre cision_Machines/6_ch6.pdf雷射干涉儀原理與應 用(沈建華) 逢甲大學 資訊電機工程碩士在職專班 碩士論文 應用類神經網路於軸向動態定位精度之分析(林勇勳) 14