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授課老師：朱志良
班級：碩研奈米一甲
姓名：黃稚惠
學號：MA11V204
原理
 構造簡單
 體積小、重量輕
 無限行程之微動能力
圖1.驅動機構示意圖
 構成元件：
主移動體、壓電元件、慣性體
 斜面、垂直面均可使用
 定位精度可達10奈米
原理(向左運動)
(1)開始
（2）快速的張力
（4）突然停止
(5)結束
(3）收縮慢
圖2.驅動機構作動示意圖
應用
 超小型放電加工機。
 超精密加工機真空夾頭上微細零件的定位。
 細胞穿刺機構。
 掃描式穿隧電流顯微鏡。
 印刷電路板定位裝置。
 微型機械手臂。
參考文獻
 http://www2.nkfust.edu.tw/~rffung/lab/data/lab08.html
 PRECISE POSITIONING MECHANISM UTILIZING
RAPID DEFORMATIONS OF PIEZOELECTRIC
ELEMENTS, T.Higuchi, Y.Yamagata, K.Furutani, and
K.Kudoh Institute of Industrial Science University of
TokyoRoppongi 7-22-1, Minato-ku, Tokyo 106, JAPAN
 Fatigue Evaluation of Piezo Impact Drive Mechanism,
Nan Jiang, Junbiao Liu, Tao Tao, Li Han