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指導老師：朱志良
學生：陳建銘
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以壓電作為致動器，設計一種六自由度微定位平台，並對
此平台特性作量測，使其能夠應用於精密零件組裝、光通
訊產業、半導體製程、微機電系統、生醫檢測…等高科技
產業。
壓電致動器具有以下優點：體積小精度高、反應速率快、
機電轉換效率高、位移解析度大、熱膨脹補償很小、產生
推力大、不會產生電磁訊號干擾、固體變位元件，沒有運
動組件可增加系統之可靠度。
壓電性基本上是屬於機械能和電能間，能量轉換的一種現象。由於壓電材料
受到外力作用所產生的電荷是與外力的大小與方向有關;當電荷產生時，即形
成 電 場 與 電 壓 ， 在 受 到 拉 應 力 (Tensile Stress) 與 壓 應 力 (Compressive
Stress)時，其電場與電壓的方向恰好相反。此一現象亦是可逆的，亦即當壓
電材料受到不同極性的電場時，將會導致其長度的增減，所以壓電效應可包
括正壓電效應及逆壓電效應。
圖一.壓電效應示意圖。
圖二.六自由度結構。1：基板、2：壓電致動器放置處、3滑動撓性機構、4.5：
兩個球窩接點撓性機構、(1)：固定座、(2)：一對PSS機構、(3)：移動平台
馮榮豐，微奈米定位平台的設計與專利，國立高雄第一科
技大學。
張所鋐，2002，並聯式六自由度奈米級微定位平台研製，
國立台灣大學。
范鈞婷，2006，一種六自由度微定位平台的設計與量測，
國立高雄第一科技大學。
許學豐，2007，雙軸短行程微/奈米定位平台整合光纖干
涉儀作閉迴路定位控制之研製，國立台灣科技大學。
莊錦煌，2004，六軸微動平台之靜態誤差探討，私立中原
大學。
蕭文正, ” 使用壓電致動器之三自由度微操作平台,” 國立中山大學機械與機電工程學系碩士論文,200