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奈米定位與量測技術-蠕蠖式
The Design and Characterization of a Novel
Piezoelectric Transducer-Based Linear Motor
指導教授：朱志良 老師
報 告 者：王文廷
報告日期：102年10月22日
前言

THUNDER換能器(a)能夠有較大的
張力相對於堆疊換能器(b)，因此，
不需要外部結構位移放大。

當電壓應用於到THUNDER換能器，
基板減輕曲率半徑，影響雙軸系統
的變形和剛度。

THUNDER換能器以模塊化壓電馬
達設計，提供各種尺寸，從而解決
圖1、兩種類型的壓電換能器
在將來要擴展性的問題。
(a)堆疊 PZT (b) THUNDER單壓電晶片

此研究報告，以um單位進行。
2
機構設計
THUNDER Transducer
圖2、線性壓電馬達(THUNDER 換能器)示意圖
3
負載測試

記錄性能數據包括執行器的速度、
阻力對驅動信號的頻率和能量密度。

測試程序：
1.
提取的數據
2.
等效剛度和致動器的阻止力
3.
線性壓電馬達的速度
圖3、壓電馬達換能器測試圖
4
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研究(1/3)
表1、換能器模塊特徵結果
5
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研究(2/3)

兩個獨立的試驗結果顯示：
線性壓電馬達的最大頻率約
100赫茲，速度為161毫米/
秒。

位移增加：線性動量轉移從
後方的鎖閂組件到前半部的
線性壓電馬達
圖4、線性壓電馬達的速度與
驅動信號的頻率
6
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研究(3/3)

負鎖存器滑移表示在前進方向的相對運動。
圖5、線性壓電馬達鎖存器的滑移與負載
7

參考文獻
1.
Jeremy A. Palmer, Member, “The Design and Characterization of a
Novel Piezoelectric Transducer-Based Linear Motor” IEEE/ASME
TRANSACTIONS ON MECHATRONICS, VOL. 9, NO. 2, JUNE
2004
2.
Engineering Village(資料庫平臺)關鍵字：Linear Piezoelectric、
inchworm
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