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第 2 部分 二 極 體 Chapter 5 標準的pn同質接面 第2部分 二極體 P 189 第 2 部分 二 極 體 ■ 在本書的第2部分,我們會探討不同接面 的電特性,這些包含: 1.同質接面 (Homojunctions):兩相同半導體 材料,兩不同摻雜區之間的接面。 2.異質接面 (Heterojunction):兩不同材料間 的接面,雖然技術上這包含了半導體 - 絕緣 體接面的組合,但通常異質接面是指兩不同 半導體間的接面。 3.金屬 - 半導體接面 (Metal-semiconductor junctions):金屬與半導體間的接面。 ■ 5.1 ■ 5.2 ■ 5.3 ■ 5.4 ■ 5.5 ■ 5.6 ■ 5.7 簡 介 標準型pn接面 ( 定性的 ) 標準pn同質接面 ( 定量 ) 標準型同質接面的小信號阻抗 暫態效應 溫度效應 結 論 Chapter 5 5.1 標準的pn同質接面 P 193 簡介 ■ 一個pn同質接面 包含了一個單晶的半導 體,它的摻雜位準在某一邊界由p型變成 n型。 ■ 同質接面 (homojunction) 意謂著這個接面 位於兩相同材料 ( 如矽 ) 之間,而異質接 面 (hetorojunction) 則是位於不同半導體 材料間的接面 ( 如鍺和矽 )。 Chapter 5 圖 5.1 (a) 平面型 pn 接面的結構圖;(b) A - A 標準的pn同質接面 P 194 的截面;(c) pn 接面的圖 示;(d) p 型基板佈植施體的典型摻雜輪廓 ( 接面發生在 ND NA );(e) 這個 接面的淨摻雜濃度 ND NA 和步階近似 ( 虛線 )。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 194 □ 為了要瞭解二極體的物理意義,我們必須分 析這個同質接面半導體的簡化模型 ( 步階接 面 ),我們稱這為標準的同質接面 (prototype homojunction) □ 使用在步階接面模型的近似為: 1.摻雜輪廓是一個步階函數,在n型區, ND= ND – NA 是固定的,在p型區,NA = NA – ND 也是固定的。 2.所有雜質都已經解離,所以在n型區的平衡電子 濃度為 nn0 = ND,在 p 型區的平衡電洞濃度為 Pp0 = NA。 3.忽略雜質導致的能帶間隙縮減效應,因此假如接 面的一邊為簡併 ( 在矽中 ND , NA > 4 × 1018 cm-3 ), 那麼本質傳導帶 (n型 ) 底部的費米能階假設在 EC0 ,而 p 型在 EV0 。 Chapter 5 5.2 標準的pn同質接面 P 195 標準型pn接面 ( 定性的 ) ■ 5.2.1 標準接面的能帶圖 圖5.2 兩相似但不同摻雜的半導體,在接合以前的能帶圖。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 196 平 衡 □ 當這兩材料接觸以後,因在 n 側有比 p 側更 多的自由電子,所以電子從 n 型半導體流 ( 擴散 ) 到 p 型半導體。當電子朝向 p 型區移 動,會留下施體離子 ( 帶正電 ) 。 □ 電洞從 p 型半導體流到n型半導體,會遺留 下來帶負電的受體離子,這兩種分開的電荷 會建立起電場。 □ 因為在接面的兩邊,電子和電洞濃度是不同 的,我們希望會有擴散電流流過整個接面; 同時,電場的存在也會建立起漂移電流。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 196 圖5.3 在平衡下,pn同質接 面的能帶圖。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 197 □ 在n和p的過渡區,電子和電洞電流可由方程 式 (3.46) 和 (3.47) 得到。 dn kT dn J n q n n% E E qDn q n n% dx q dx dp kT dp J p q p p% E E qDp q p p% dx q dx □ 在平衡情況下,沒有淨電流,所以 Jn= Jp= 0 且費米能階是相等的,一個內建電場 E 在過 渡區 (transition region) 產生。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 197 1.接近介面處,從 n 型半導體而來的電子會填 滿p型區的電洞而導致在 p 型區的一個負電 荷區 (非中性的受體);同樣的,電子會和擴 散進入n型區的電洞抵消,在n型區造成一個 正電荷區 (非中性的施體),這個會在n型區 的非中性 (正) 施體離子和 p 型區的非中性 ( 負 ) 受體離子之間的介面創造出一個電場。 非中性 (non-neutralized) 意謂著在同樣的區 域內,沒有相對的自由電子和自由電洞去中 和離子電荷。 2. Evac , EC 和 EV 的能量在每個地方都是平行 的,這是 , 和 Eg 都是常數的直接結果。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 197 3.整個元件的電子親和力是一樣的,然而一個 電子從在n區的傳導帶底部逃脫到右邊的真 空能階,除了必須克服材料的電子親和力外 還須克服內建電場的靜電位。 4.在接面的每一邊,有一個未補償電荷的區域, 稱為空間電荷區 (space charge region),它涵 蓋了介面的兩邊且包含了未中性化的雜質離 子,它的寬度與兩邊的雜質濃度有關,發生 電荷轉移時,費米能階必須對齊。 5.空間電荷區內的自由載子濃度可以忽略,這 個自由載子被電場加速而離開,所以空間電 荷區被稱為載子空乏區域簡稱空乏區 (depletion region)。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 198 6.接面兩邊的總空間電荷是相等的(但不同符 號)。 7.一個內建電位能障壁出現在接面,稱為內建 電壓 (built-in voltage),Vbi 大小正比於圖5.2 中性情況下的費米能階差值。 qVbi p n (5.1) Φp 和Φn 是兩個半導體的功函數,方便起見, 取 Vbi 為正值。 8.電位能量障壁對於傳導帶和價帶是相同的, 意即對於電子和電洞的電位能量障壁是相同 的。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 198 9. 對於相同的摻雜濃度而言,因為接面兩邊的空 間電荷大小是相等的,所以接面兩邊的空間電 荷區是相同的,對於不相等的摻雜濃度,大部 分的空間電荷區是位於淺摻雜那邊。 10.隨著兩邊的摻雜濃度增加,內建電壓也隨著增 加,這是由於功函數與摻雜濃度有關係 [圖5.2 方程式 (5.1)]。 11.內建電場正比於真空能階的斜率: 1 dEvac % E q dx (5.2) 它的最大值出現在冶金接面 x0 處,這將圖示 於5.3節。方程式 (5.2) 的電場是真正的電場, 如第4章討論的。 12.內建電位大部分跨在淺摻雜區。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 198 偏壓下的能帶圖 □ 首先考慮逆偏情況,所以 Vα是負的 (如 Vα = – 1V )。 1. 從左邊端點到n區接面空乏區邊緣,稱為準 中性 (quasi-neutral) 區 ( 經常稱為中性區), 因為在這個區域的淨施體數目等於(或接近 等於)傳導帶的電子數目。 2. 空乏區本身僅包含離子而沒有(或可忽略)自 由載子。 3. 從 P 型區空乏區邊緣到右邊端點(準中性)。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 199 圖5.4 單邊的 n+p 接面有 一個重摻雜區。n+ 表示簡併摻雜 n型, 在簡併摻雜區,我 們近似費米能階在 傳導帶邊緣。 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖 5.5 一個有 Va 外加偏壓的 pn 同質接面。習 慣上,外加電壓是從 p 量到 n,或以 n 當參考 點。如此,若 Va 是正的,二極體是順偏,若 Va 是負的為逆偏。 P 199 Chapter 5 圖5.6 逆向偏壓下的pn同質接 面。實線:平衡的能帶 圖;虛線:逆偏下的能 帶圖。電場增加需要更 多的離子化的受體和施 體,所以在逆向偏壓下, 空乏區會變寬。 標準的pn同質接面 P 200 Chapter 5 □ V j Vbi Va 標準的pn同質接面 P 201 (5.3) 圖5.7 平衡和順偏下的空間電荷區寬度,與其相對應的能帶圖。 Chapter 5 ■ 5.2.2 標準的pn同質接面 P 201 pn同質接面中電流流動的描述 平 衡 □ 平衡下二極體的能帶圖示於圖5.8。電子從高 濃度區 ( n 型區 ) 往低濃度區 ( p 型材料 ) 擴 散,在接面也有一個電場,會產生一個電子 漂移,這恰與每一點的電子擴散抵消。同樣 的,電洞由 p 往 n 擴散,但電場會施加一個 力使它們流回 p 區,所以沒有淨電子或電洞 流。 Chapter 5 圖5.8 標準的pn同質接面 P 202 平衡下的 pn 同質接面。過渡區的內建電場產生的漂移 電流恰與沿著接面不同載子,濃度產生的擴散電流相 反。過渡區內,任何點的產生 (G) 和復合 (R) 電流是 相等的但方向相反。 Chapter 5 圖5.9 標準的pn同質接面 P 203 pn接面二極體電流的定性描述。(a) 平衡之下,擴散電流 被相反方向的漂移電流抵消;(b) 逆偏壓下,一小部分載 子可能擴散越過接面,隨著逆向偏壓的增加,由於穿隧 和倍增會使得逆向電流跟著增加; Chapter 5 圖5.9 標準的pn同質接面 P 203 pn接面二極體電流的定性描述。(c) 順偏壓下,漂移電流 稍為降低,但擴散電流會增加很多;(d) 預期的電流 - 電 壓特性。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 203 逆向偏壓 □ 在接面右邊,少數的傳導帶電子也有一些動 能,且在任何時刻,它們之中的 50%會到達 左邊。假如那些電子中有些進入過渡區,那 麼電場會加速它們使其進入 n 型區;如此, 有一個淨的電子電流,但因它們的數目相當 少,所以電流很小。 □ 由於電子和電洞擴散到接面而被電場掃離所 導致的電流稱為少數載子擴散電流 (minority carrier diffusion current)。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 204 順向偏壓 □ 在順向偏壓條件下,因穿過接面的電位能量 被降低,所以現在有大量數目的電子有足夠 的能量可以穿過接面,如此,有一個電子從 n 型區到 p 型區穿過障壁的擴散,而產生從 p 到 n 淨電子電流。 □ 同樣的,外加電壓也會降低電洞的障壁,如 此有一個淨的電洞流動和從 p 到 n 的淨電洞 電流,順向偏壓下,電洞和電子的擴散電流 加起來會得到相當大的電流。 Chapter 5 5.3 標準的pn同質接面 P 206 標準pn同質接面 ( 定量 ) ■ 5.3.1 平衡下的能帶圖 ( 步階接面 ) qVbi p n (5.4) qVbi Eg ( n p ) (5.5) NC NC n EC E f kT ln kT ln nn 0 N D n 0 n 型,簡併 NV NV p E f EV kT ln kT ln p p0 N A p 0 n 型,非簡併 p 型,簡併 (5.6) (5.7) p 型,非簡併 (5.8) (5.9) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 207 □ 計算如圖5.3步階 pn 接面的內建電壓 NC NV qVbi Eg kT ln ln N A N D pn 接面 (5.10) □ 如果接面是 n+p 或 p+n,那麼 n 或 p 為零, 且方程式 (5.10) 可簡化為 NV qVbi Eg kT ln N A n p 接面 NC qVbi Eg kT ln N D p n 接面 (5.11) □ 對於一個非簡併半導體,(5.10) 和 (5.11) 方 程式可簡化為 n N C NV e 2 i E g / kT N C NV E g kT ln ni2 (5.12) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 207 □ 從方程式 (5.5) 到 (5.12) 可寫成 kT N D N A Vbi ln pn 接面 2 q ni kT NV N D (5.13) Vbi ln p n 接面 2 q ni kT N C N A Vbi ln n p 接面 2 q ni □ 對於一個 pn接面,我們可將內建電壓表示成 Eg kT N C NV Vbi ln q q N D N A pn 接面 (5.14) □ 當 ND 和 NA 趨近於 NC 和 NV 時,上式的內 建電位趨近於能帶間隙的值。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 208 例題5.1 對於一個 Si pn 接面,n 型區每立方公分均勻 摻雜1016 個淨施體,而 p 型區每立方公分有均勻的 淨受體濃度1015,計算內建電壓的值。 解: 從方程式 (5.13) kT N A N D (0.026 eV)(1.6 1019 J / eV) 10161015 Vbi ln ln 2 19 10 2 q ni 1.6 10 C (1.08 10 ) 0.026 V ln[8.57 1010 ] 0.655 V 對於一個單邊的步階接面,可以使用 (5.13) 的近似 式。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 208 圖5.10 矽製單邊步階接面的內建電壓,以淺摻雜 邊的淨摻雜濃度為函數,對於 p+n 和 n+p 接面的曲線在圖形上是沒有分別的。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 209 ■ 5.3.2 外加電壓的能帶圖 □ 我們使用的座標系統,x0 是冶金接面的位置, x < x0 是 n 型材料而 x > x0 是 p 型材料,n型 空乏區邊緣是 xn 而 p 型是 xp,n 型空乏區寬 度是 wn,而 p 型寬度是 wp,全部寬度是 w。 □ 為求電場 E(x),我們解波義生方程式 d% E QV ( x) dx (5.15) Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.11 一個標準的同質接面。(a) 物理的圖;(b) 電荷 分布; P 209 Chapter 5 圖5.11 標準的pn同質接面 一個標準的同質接面。(c) 藉由積分電荷得到 的電場;(d) 藉由積分電場得到的電壓;(e) 能 帶圖,與電壓有相同的圖形,但反轉。 P 209 標準的pn同質接面 Chapter 5 P 210 □ 在n型區為 xn < x < x0 QV qN D (5.16) 且對於 x0 < x < xp QV qN A (5.17) □ 假設空乏區外的 QV(x) 是零且 E (x) = 0 □ 使用方程式 (5.15),在n型區,xn ≤ x ≤ x0 %( x ) E x d% E 0 q N D xn dx (5.19) 在 p 型區,x0 < x < xp xp 0 %( x ) E d% E q x N A dx (5.20) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 211 □ 在 n 型區的結果為 %( x) q E N D ( x xn ) xn x x0 (5.21) ( x p x) x0 x x p (5.22) 在 p 型區 %( x) q E N A □ 因為是連續的,在 x = x0 得到 □ qN D ( x0 xn ) qN A ( x p x0 ) (5.23) wn ( x0 xn ) N A wp ( x p x0 ) N D (5.24) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 211 □ V ( x) V ( xn ) qN D ( x xn ) 2 2 xn x x0 (5.27) qN A □ V ( x p ) V ( x) ( x p x) 2 2 x0 x x p (5.28) □ V jn Vj p N A N D (5.34) □ 接下來,我們要求接面寬度的表示式,從方 程式 (5.29)、(5.32) 和 (5.33),我們可得到 wn 的表示式: 1/ 2 □ 2 V wn ( x0 xn ) qN D n j 1/ 2 2 V j N D qN D 1 N A (5.35) Chapter 5 2 V j □ wp ( x p x0 ) qN A p 1/ 2 標準的pn同質接面 2 V j N A qN A 1 N D 2V j ( N A N D ) □ w wn wp qN N A D P 213 1/ 2 (5.36) 1/ 2 pn 接面 (5.37) □ 解接面電壓得 qN D N A w2 Vj 2 ( N N A ) pn 接面 (5.38) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 213 □ 對於單邊接面,接面幾乎全部在淺摻雜區。 對於一個 n+p 接面,w ≈ wp,因為 ND » NA, 從方程式 (5.37),我們有 2V j w qN A 1/ 2 n p (5.39) p n (5.40) 對一個 p+n 接面 2V j w qN D 1/ 2 □ 前面我們得到最大電場發生在接面 x = x0 處, 現在我們可以求它的值。從方程式 (5.21)、 (5.37) 和 (5.38), 2qV j N D N A qN D qN A wn wp ( N N ) D A 1/ 2 % E max 2V j w (5.41) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 213 圖5.12 矽製單邊步階接面,接面寬度表示為接面 電壓的函數,以淺摻雜區的濃度為參數。 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.13 單邊步階接面的接面寬度,以淺摻雜 邊濃度為函數,且對於三種不同的工 作電壓作圖。 P 214 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 214 ■ 5.3.3 pn同質接面的電流 - 電壓特性 □ 我們現在要來找標準 pn 同質接面,穩態電 流對外加電壓 ( I-V )的表示式。 □ 我們假設: 1.在接面的任一邊,每個位置的少數載子濃度 甚低於多數載子濃度 n p » p p N A pn » nn N D 這稱為低階注入情況 (low-level injection condition)。 (5.43) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 215 2.在半導體的本體區,多數載子濃度基本上是 一個平衡值, nn nn 0 N D p p p p 0 N A (5.44) 3.在準平衡區,少數載子的漂移電流與擴散電 流比較是可以忽略的,所以 J np qDn J pn dn p dx dpn qD p dx Dn 和 Dp 是少數載子擴散係數。 (5.45) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 215 4.半導體是非簡併的, n0 NC e [( EC E f ) / kT ] p0 NV e [( E f EV ) / kT ] (5.46) 5.對於正的 V,我們定義電流是正的,對 於負的V,電流是負的。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 215 擴散電流 □ 為了得到I-V特性,我們從連續性方程式 開始 n n 1 J n t t q x n Gop n p p 1 J p x x q x p Gop p Δn 和Δp 是超額的電子和電洞濃度。 (5.47) (5.48) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 216 □ 穩定情況下,∂n / ∂t = 0且方程式 (5.50) 可表 示成 2n d 2n n n 2 2 2 Dn n Ln x dx (5.51) 由方程式 (3.82),電子的少數載子擴散長度為 Ln Dn n □ 因np = np0 + Δnp,Δnp 是 p 型區的超額電子濃 度,np0 是常數,方程式 (5.51) 可表示成 d 2 n p 解為 dx 2 n p 2 n L n p Ae x / Ln Be x / Ln (5.52) (5.53) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 216 □ 常數 A 和 B 可由邊界條件決定,對於一個長 基極二極體,在 x = ∞,Δn = 0 得到A = 0, 在 x = xp邊界條件是 n( x p ) Be ( x x p ) / Ln ,得到 x /L B n( x p )e p n,且 n( x) n( x p )e □ 因為 ( x x p ) / Ln (5.54) dn d n J n qDn qDn dx dx (5.55) qDn ( x x p ) / Ln Jn n( x p )e Ln (5.56) 電子電流為 □ 在過渡區邊緣,x = xp 處,電子電流密度為 Dn Jn (xp ) q n( x p ) (5.57) Ln Chapter 5 標準的pn同質接面 平 衡 圖5.14 步階接面平衡的能帶圖 P 217 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 218 擴散電流:順向偏壓 □ 考慮一個外加 V 的順向偏壓,在空乏區邊 緣 xn 和 xp 的少數載子濃度為 n p ( x p ) N D e q (Vbi Va ) / kT pn ( xn ) N A e q (Vbi Va ) / kT n p ( x p ) n p 0 eqVa / kT pn ( xn ) pn 0 e qVa / kT (5.65) (5.66) □ 當外加順向偏壓,超額電子被注入到 p 型區, 擴散到右邊且在 p 型區和電洞復合,電洞也 被注入到 n 型區,也產生復合。 Chapter 5 圖5.15 標準的pn同質接面 順向偏壓下,n型區往高電位能移動而p型區往低 位能移動。彩色線表示平衡,黑線表示順偏。載 子藉由擴散注入接面,一旦越過接面,它們變成 少數載子且當它們繼續擴散時會產生復合,結果 是少數載子濃度隨著遠離接面而改變。 P 218 Chapter 5 □ 標準的pn同質接面 n p ( x p ) n p ( x p ) n p 0 pn ( xn ) pn ( xn ) pn 0 P 219 (5.67) n p ( x p ) n p 0 (eqVa / kT 1) pn ( xn ) pn 0 (e qVa / kT 1) (5.68) □ 當超額電子在 p 型區擴散時,將與多數載子 電洞復合,注入的超額電子濃度隨 x 指數性 的衰減 n p ( x) n p ( x p )e ( x x p ) / Ln (5.69) 且在 n 型區,電洞濃度將遵循 pn ( x) pn ( xn )e ( xn x ) / L p (5.70) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 219 □ 在 p 型區的電子擴散電流, dn d n J n qDn qDn dx dx (5.71) Dn 和 Ln 分別是電子少數載子的擴散係數和 少數載子的擴散長度。 □ 方程式(5.69)和(5.68)代入方程式(5.71)得到 Dn ( x x p ) / Ln qVa / kT Jn q n p 0 (e 1) e Ln (5.72) 在過渡區邊緣,x = xp,電子的擴散電流密度 為 Dn Jn (xp ) q n p 0 (eqVa / kT 1) Ln (5.73) Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.16 在接面兩邊的少數載子濃度 P 219 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 220 □ 同樣的,在 n 型區 x = xn 的電洞擴散電流密 度為 J p ( xn ) q Dp Lp pn0 (eqVa / kT 1) (5.74) Dp 和 Lp 分別是電洞少數載子的擴散係數和 擴散長度。 □ xn 與 xp 之間每個地方的總電流可以接面任 一邊的擴散電流加總而得: J J n ( x p ) J p ( xn ) (5.75) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 220 圖5.17 (a) 順向偏壓注入 p 型區的電子一定會越 過 x = xn 的平面; Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.17 (b) 同樣的,注入 n 型區的電洞一定會 越過 x = xp 的平面; P 220 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.17 (c) 接面的總電流 ( 忽略復合電流 ) 是兩 者的和。在接面之外,少數擴散電流減 少而多數載子漂移電流增加以維持總電 流為固定值。 P 220 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 221 □ 代入方程式(5.73)和(5.74)得到總電流密度: Dn n p 0 Dp pn0 J q Ln Lp qV / kT (e a 1) (5.76) 一般可寫成下式 J J 0 (eqVa / kT 1) (5.77) □且 Dn n p 0 Dp pn 0 J0 q Ln Lp (5.78) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 221 □ 從關係式 Ln Dn n , Lp D p p , n p 0 ni2 / N A, 且 pn0 ni2 / ND ,方程式 (5.78) 可表示成 D 1 n J 0 qn n N A 2 i Dp p 1 N D (5.79) 我們可以看到 J0 正比於 ni2 。 □ 由方程式 (5.77),對於順向電壓(Vα» kT / q), 二極體電流可表示成 I I0eqVa / kT (5.81) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 221 擴散電流:逆向偏壓 □ 逆向偏壓下的能帶圖示於圖 5.18,這時的擴 散電流是源於少數載子擴散到過渡區且被接 面電場掃離越過接面。在空乏區邊緣,少數 載子濃度基本上是零,而超額載子濃度為 Δnp(xp) = np(xp) – np0 = 0 – np0 = – np0,在 n 型 區少數載子濃度也是零,且Δpn(xn) = pn(xn) – pn0 = – pn0。 □ 逆向偏壓下,方程式 (5.76) 和 (5.77) 仍然有 效。然而 Vα< – 3kT,對於 ,指數變成負的 很大,指數項趨近於零;因此,對於一個好 的近似,擴散電流密度為 – J0。 Chapter 5 圖5.18 標準的pn同質接面 P 222 逆向偏壓的標準接 面。準平衡區產生 的少數載子擴散到 接面而形成逆向電 流。 Chapter 5 標準的pn同質接面 逆向偏壓下的擴散電流:短基極二極體 圖5.19 pn接面擴散電流的圖示,準中性區 WB 甚 小於一個電子的擴散長度。 P 223 Chapter 5 Dn n p 0 Dp pn0 □ J0 q WB L p Dn n p 0 Dp pn 0 □ J 0 q W W B ( p ) ( n ) 標準的pn同質接面 P 223 短 p 型區二極體 (5.84) 兩邊都是短的 (5.85) □ 第3章中我們看到許多的半導體,載子的產 生和復合主要陷阱狀態,即 ET ≈ Ei,ET 是陷 阱能量,假設 n = p = 0 且 ET = Ei,,在 這個情況下,淨復合速率為 np ni2 R G 0 (n ni p ni ) 平衡時每個地方的 np ni2 且淨復合降為零。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 224 產生和復合:逆向偏壓 □ 在逆向偏壓情形下,復合是可以忽略的,因 為祇有很少的電子和電洞可以復合,所以 □ ni R0 G 2 0 qni w J G qGw 2 0 (5.89) (5.90) 因為步階接面的空乏區寬度 w 為 1/ 2 2 ( N D N A )(Vbi Va ) w qN N D A (5.91) 方程式 (5.91) 代入 (5.90) 得到 1/ 2 ni q ( N D N A )(Vbi Va ) JG 0 2 N D N A 逆向偏壓 (5.92) Chapter 5 圖5.20 標準的pn同質接面 P 225 逆向偏壓pn接面 擴散電流和產生 電流的圖示。產 生電流甚大於擴 散電流。 Chapter 5 標準的pn同質接面 例題5.2 對於一個典型的pn接面,在逆向偏壓下,估計產 生電流相對於擴散電流的值。 解: 我們取標準的矽製接面 N A 1017 cm 3 N D 1017 cm 3 n p 0 6 106 s V j (Vbi Va ) 5 V 0 是取自圖3.21的平均少數載子壽命。 P 225 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 226 例題5.2(續) 從圖3.11,N A = N D = 1017cm-3 在,少數載子擴 散常數為 Dn 20 cm 2 / s D p 11 cm 2 / s 從圖3.23少數載子擴散長度為 Ln = 102µm 和 Lp = 3 73µm。少數載子濃度為 np0 pn0 ni2 /1017 1.16 103 cm, 由方程式 (5.13),內建電壓為 1017 1017 kT N D N A Vbi ln 0.026 V ln 0.83 V 2 10 2 q ni (1.08 10 ) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 226 例題5.2(續) 給定接面電壓,可以得到外加電壓: V j 5 V Vbi Va 0.83 Va or Va 4.17 V 由擴散電流,可由方程式 (5.78) 找到漏電流 Dn n p 0 D p pn 0 J0 q Ln Lp 1.6 10 19 (20 cm 2 / s)(1.16 103 cm 3 ) (11 cm 2 / s)(1.16 103 cm 3 ) C 4 4 102 10 cm 73 10 cm 6.7 1013 A / cm 2 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 226 例題5.2(續) 將這個代入方程式 (3.77),可得到擴散電流 J diff J 0 (e qVa / kT 1) 6.7 10 13 2 [(1.61019 C)( 4.17 V)] /[(0.026)(1.6 10 19 ) J / eV ] A / cm (e 1) J 0 6.7 1013 A / cm 2 6.7 1021 A / m 2 對於產生電流,我們由方程式 (5.91) 計算出接 面寬度為 w = 0.36µm,然後使用這個值在方程 式 (5.90) 上,得到 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 226 例題5.2(續) qni w (1.6 1019 C)(1.08 1010 cm3 )(0.36 104 cm) JG 2 0 2(6 106 s) 5.2 109 A / cm2 5.2 1017 A / m2 或 JG 5.2 1017 3 7.8 10 J diff 6.7 1021 逆向偏壓下的產生電流甚大於擴散電流,因此逆 向偏壓下的擴散電流可以忽略。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 227 產生和復合:順向偏壓 □ 接下來討論順向偏壓下的產生和復合電流, 由方程式 (5.46),可以得到在過渡區 n( x) nn 0 e [ EC ( x ) ECn ] / kT p( x) p p 0 e [ EV p EV ( x ) ] / kT (5.93) 因此,過渡區內的np乘積為 np ni2 eqVa / kT (5.94) □ 順向偏壓下的np乘積甚大於 ni2,則方程式 (5.87) 變成 ni2 eqVa / kT np R 0 (n p) 0 (n p) (5.95) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 227 圖5.21 順偏 pn 接面的擴散電流和復合電流, 擴散電流的障壁是 q(Vbi – Va),而復合 電流的障壁是它的一半。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 228 □ G-R電流經常可近似為 JGR J GR0 (eqVa / 2kT 1) (5.98) □ 總電流密度現在是 J J GR J diff J GR0 (eqVa / 2kT 1) J 0 (eqVa / kT 1) (5.99) □ 在電流的範圍內,J 經常可近似為 J J s (eqVa / nkT 1) (5.101) Js 是 JGR0 和 J0 的函數且二極體品質因素 (diode quality factor) n ( 有時稱為理想因素 ) 介於 1 和 2 之間。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 228 圖5.22 表示復合電流和擴散電流的順偏 I-Va 特性。 在大電流下,由於在本體的 IR 壓降而導 致圖形偏離直線。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 229 逆偏穿隧 □ 逆向偏壓下,兩個電流機制為穿隧(tunneling) 和載子倍增 (multiplication)。 □ 當一個電子在所給的能量之下 ( 如圖的能量 E ),在位障另一邊的相同能量看到一個空的 狀態,那麼穿隧就會發生。 □ 一個具能量 E 的電子垂直入射到禁止區的穿 隧機率 T 為 T e 2 dx (5.102) 這裡 1/ 2 2m * 2 ( EP ( x ) E ) * (5.103) Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.23 圖示一階穿隧過程的逆偏下的 pn 接面 P 229 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 230 圖5.24 (a) 穿隧期間的有效電位能;(b) 正規劃到 能帶間隙後,總能量與有效能量之間的差 值是穿隧電子正規劃位置的函數,在路徑 的任一邊,電子能量全部是電位能; Chapter 5 圖5.24 標準的pn同質接面 (c) 表示穿隧距離 WT 的圖。 P 230 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 231 逆向偏壓、載子倍增和累增 □ 考慮一個電子被熱激發到 p 型區的傳導帶 ,令熱產生事件為過程 1,這個電子被加 速朝向 n 型區直到產生碰撞 ( 過程 2),然 後失去能量 (3),它把這個能量給在價電 帶中的電子,激發這個電子到傳導帶 (3’), 這個過程稱為撞擊解離 (impact ionization) Chapter 5 圖5.25 標準的pn同質接面 P 232 圖示稽納穿隧,載子倍增和累增的 I-Va 特性。逆向和順向偏壓的尺寸並不相 同。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 232 圖5.26 逆向偏壓下的載子倍增過程。熱激發產生一個電子 (1),被電場加速 到左邊 (2),它的動能增加,超過能帶間隙,所以當這個電子與價電 帶中其它電子碰撞 (3),第二個電子會被激發到傳導帶,這種過程稱 為撞擊解離 (impact ionization)。這個解離會得到一個電子一電洞對, 所以一個原始的電子產生兩個電流載子而有效的倍增電流。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 232 □ 令 P 是一個電洞或電子越過接面時創造出一 個電子 - 電洞對的機率,令 nin 是從 p 型區 進入過渡區的電子數目,那麼將有 Pnin 的撞 擊解離而產生 nin(1+P) 個電子到達 n 型區; 但也有 Pnin 個電洞產生,這產生了 P(Pnin) = P2nin 個電子 - 電洞對等等,或越過接面的總 載子數目為 nin (1 P P2 P3 ) 這可表示成 nin (1 P) 因此,倍增因素為 1 M (1 P) □ 對於 P = 1, M = ∞,累增就會發生。 (5.105) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 233 圖5.27 累增發生在當電場足夠大而導致新的激發載 子,而此新的激發載子又會創造出更多的 載子。 Chapter 5 ■ 5.3.4 標準的pn同質接面 P 234 逆向 - 偏壓崩潰 圖5.28 Ge, Si, GaAs和GaP的 n+p 或 p+n 單邊步階接面的崩潰電壓表 為雜質濃度的函數。處線表示隔開累增和穿隧崩潰機制的摻 雜濃度。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 234 例題5.3 對於一個可觀的穿隧電流,計算它的穿隧距離。 考慮一個 p+n 的接面,N’D = 8.0×1017cm-3 = 8.0 × 1023m-3。 解: 可觀的穿隧電流發生在崩潰附近,因此我們 可以找出接面的崩潰電壓,它是外加崩潰電壓和 內建電壓之間的差值。 由圖5.10內建電壓為1.04 V。 由圖5.28,崩潰電壓為 4V(Vα= –4V),則接面 電壓為 Vj = (Vbi – Vα) = 5.04V。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 235 例題5.3(續) 由方程式 (5.41),最大電場 Emax = 2Vj / w,由方程式 (5.40) 1/ 2 2V j w qN D 1/ 2 2 11.8 (8.85 1012 F / m) (5.04 V) 19 23 3 (1.6 10 C) (8 10 m ) 9.1108 m 91 nm 那麼 %max E 2 5.04 V 9.1108 m 1.1108 V / m 最後,由圖5.24(c) WT Eg (eV) q% Emax 1.12 eV (1.6 10 19 1 eV C)(1.110 V / m) 19 1.6 10 V 8 1.0 108 m 10 nm 對於矽,我們討論:對於10 nm或更短的穿隧距離,會有一 個可觀的穿隧電流。 Chapter 5 5.4 標準的pn同質接面 P 235 標準型同質接面的小信號阻抗 ■ 5.4.1 接面電阻 □ 過渡區的小信號電導 GP 為 dI GP dVa (5.106) □ 接面電阻是斜率的倒數。 dI 1 RP GP dVa 1 (5.107) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 236 圖5.29 (a) 一個具有直流電壓Va和外加交流電壓υa的pn接 面,流過的直流和交流電流分別為I和i;(b) pn接面 的小信號等效電路,包含串聯電阻RS ( 接觸和準平 衡區加總起來的電阻 ),接面電阻RP,接面電容Cj 和儲存電荷電容Csc,箭頭表示這個參數會隨外加 電壓而改變。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 236 圖5.30 對於一個變動的輸入電壓,小信號電阻 RP = 1/GP 可用來求輸出電流。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 237 例題5.4 求出在1 mA和 1µA 的順向電流下,二極體的接面 電阻。假設理想因素是一且 RS = 0。 解: 由方程式 (5.107) dI RP dV a 1 二極體電流可被表成 I I 0 (eqVa / kT 1) I 0eqVa / kT I 0 I 0eqVa / kT Chapter 5 標準的pn同質接面 例題5.4(續) 因 –I0 一般為 10-14A,所以可忽略,而 I » I0,故 dI q qI I 0eqVa / kT dVa kT kT 且 RP kT qI 因 kT/q = 0.026eV RP 26 RP 26 k ( I 1 mA) ( I 1 A) P 237 Chapter 5 ■ 5.4.2 標準的pn同質接面 P 237 接面電容 □ 小信號或微分接面電容 Cj 為 dQ Cj dVa (5.108) □ 接面如同一個平行板電容器,可寫成 A Cj w A是接面面積而w是空乏區寬度 (5.109) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 238 □ 步階接面的接面電容是 1/ 2 q N D N A Cj A 2( N N )( V V ) D A bi a 1/ 2 q N D N A A 2( N D N A )V j pn 步階接面 (5.110) 對於單邊步階接面 1/ 2 q N Cj A 2(Vbi Va ) 1/ 2 q N A 2V j N 是淺摻雜邊的淨摻雜濃度。 單邊步階接面 (5.111) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 238 圖5.31 接面電容 Cj 的圖示。一個外加電壓 Va 的 改變產生在接面任一邊來補償離子數目 的改變,這會在接面任一邊產生 dQ 電荷 的改變,使得接面電容看起來像一個具 有寬度 w 的平行板電容器。 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.32 對於單邊接面 N = 1016cm-3,單位面 積的接面電容表為逆向偏壓的函數。 P 239 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 239 ■ 5.4.3 儲存 - 電荷電容 □ 考慮5.33(a),順向偏壓 n+p 接面的情形。在 穩態下,假設 p 型區比電子擴散長度大很多 , 從方程式 (5.69) n p ( x) n p ( x p )e ( x x p ) / Ln (5.69) 這個載子分布是維持固定的,我們說有一 個電荷“儲存”在這個分布中 □ 在 p 型區總儲存的少數載子 ( 電子 ) 電荷是 這個分布的積分 ( 乘以接面的面積 ) Qs qA n ( x) dx qAn ( x ) L p xp p p n (5.112) Chapter 5 □ 擴散電流為 d n p ( x) I |x p qADn dx qADn xp 標準的pn同質接面 n p ( x p ) Ln P 240 (5.113) 連結方程式 (5.113) 和 (5.112) 得 IL2n Qs I n Dn (5.114) □ 假如外加電壓改變 dVα,穩態儲存電荷改變 dQs,Qs 對 Vα 改變率為 dQs n dI n dVa dVa RP (5.115) RP 是方程式 (5.107) 中的二極體微分電阻。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 240 □ Vα突然降低 dVα,在 x = xp 平面的超額載子 濃度也突然降低;然而分布不會突然改變, 所以超額電子峰值濃度不再位於 x = xp 而是 有些往右移。 □ 儲存的電子將往兩邊擴散到低濃度區,祇有 那些擴散到左邊的會進入 n+ 區而在外部電 路流動,對電容有貢獻,這個電荷稱為可回 收的儲存電荷 (reclaimable stored charge) Qsr, 而伴隨的儲存 - 電荷電容為 dQsr dQs Csc I n dVa dVa (5.116) Chapter 5 標準的pn同質接面 P 241 圖5.33 在 n+p 接面,儲存一電荷電容的圖示 (a) 當順向偏壓改變,注入電子數目 ( 少數 載子 ) 跟著改變,在一個單邊接面,電 洞的注入是可以忽略的; Chapter 5 標準的pn同質接面 P 241 圖5.33 在 n+p 接面,儲存一電荷電容的圖示(b) 順向電壓突然減少ΔVa,導致一些注入 (“儲存”) 電子回到接面的 n 區而對電容 產生貢獻。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 241 例題5.5 比較逆向偏壓 (Vα= –5V) 和順向偏壓 (Vα= +0.75V) 下的接面電容和儲存 - 電荷電容。 解: 我們考慮一個標準的矽製 n+p 接面,NA = NA = 1017cm-3,令接面面積為 100µm2 且可回收電荷 = 0.5。 接面電容 對於一個 n+p 接面,由方程式 (5.111) q N A Cj A 2( V V ) bi a 接面的內建電壓,由圖5.10 Vbi 0.98 V Chapter 5 標準的pn同質接面 P 242 例題5.5(續) 對於 Vα= –5V 8 cm 2 2 10 C j (5) 100 m 2 1 m (1.6 10 C j (5) 0.053 pF 19 1/ 2 C)(11.8)(8.85 10 F / cm)(10 cm ) 2(0.98 5) 同理,對於 Vα= 0.75V C j (0.75) 0.27 pF 14 17 3 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 242 例題5.5(續) 儲存 - 電荷電容 為了求儲存 - 電荷電容,我們必須求 I, 這個是方程式 (5.77)的擴散電流,而 I0 = AJ0。因為 Jn » Jp,注入 n+ 型材料的電洞可 以忽略且 I I 0 (e qVa / kT Dn n p 0 1) qA Ln qVa / kT 1) (e Chapter 5 標準的pn同質接面 例題5.5(續) 這裡的 Dn 和 Ln 分別為少數載子擴散常數和擴 散長度。 對於 p 型材料,我們有 np0 ni2 (1.08 1010 cm3 )2 3 3 1.17 10 cm N A 1017 cm3 P 242 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 242 例題5.5(續) 從圖3.11,使用p型邊的摻雜濃度檢視 Dn (在 p 型邊的少數載子是電子 ),在 NA = 1017cm-3, 我們發現 Dn = 20cm2/s,由圖3.23,Ln = 110µm。 那麼 I0 變成 Dn n p 0 I 0 qA Ln 2 3 3 (20 cm / s)(1.17 10 cm ) 19 8 2 (1.6 10 C)(100 10 cm ) 3 11 10 cm 3.4 1019 A Chapter 5 標準的pn同質接面 P 242 例題5.5(續) 在 V= –5V 的擴散電流為 I = –I0 = –3.4 × 1019A,在順向偏壓 +0.75V 時電流為 I I 0 (eqVa / kT 1) 3.4 1019 A(e0.75 / 0.026 1) 1.1 A 儲存 - 電荷電容為: 在 Vα= –5V : Csc (5) I n (0.5)(3.4 1019 A)(3 106 s) 5.1 1025 F 0 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 243 例題5.5(續) 這裡的少數載子壽命可由圖3.21得到。 在Vα= +0.75V : Csc (0.75) I n (0.5)(1.1 106 A)(3 106 s) 1.65 pF 現在讓我們比較兩個電容: Va 5 V C j 0.053 pF Va 0.75 V C j 0.27 pF Csc 0 Csc 1.65 pF 如同預期的,逆向偏壓下,接面電容顯著,而在 順向偏壓下,儲存 - 電荷電容顯著。 Chapter 5 5.5 標準的pn同質接面 暫態效應 ■ 5.5.1 關閉暫態 圖5.34 在一個 pn 接面中用以圖示關閉和 導通電晶體的電路 P 243 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 244 □ 在 t = 0,外加電壓從 VF 被交換到 VR,在 準中性 p 區的少數載子 ( 電子 ) 濃度如圖 5.35是 x 的函數且 t > 0;這時超額載子不 再被注入且當載子擴散離開和復合,超額 載子濃度會下降。 □ 當載子濃度衰減,在某些時間內,在 xp 的 Δnp 斜率是固定的;所以電流是常數 VR IR R1 (5.119) 直到 t = ts,ts 為儲存時間(storage time)。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 244 □ 對於 t > ts,在 x = xp 的斜率隨時間增加而降 低且電流大小朝穩態逆向電流(≈ 0)衰減。 □ 儲存時間的近似解為 IF ts n ln 1 IR (5.120) 圖5.35 從 VF 交換到 VR 後,注入的電子 濃度隨著時間增 加而衰減。 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.36 二極體關閉期間的電流暫態,交換 儲存時間 ts 和上升時間 tr。 P 245 Chapter 5 ■ 5.5.2 標準的pn同質接面 P 246 導通暫態 圖5.37 由關閉交換到導通後,儲存電子的建立。 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 247 圖5.38 二極體在導通和 關閉交換時的波 形。(a) 輸入波形; (b) 二極體電流; (c) 二極體電壓。 明顯的,關閉時 間超過導通時間。 0 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.39 (a) 一個 pn 同質接面二極體的交換 電路模型; P 248 Chapter 5 標準的pn同質接面 圖5.39 (b) 對於一個開始在 t1 = 100ns,結束在 t2 = 600ns 的輸入脈波,以 SPICE 模擬 的電壓和電流響應。 P 248 Chapter 5 標準的pn同質接面 P 249 例題5.6 比較順向偏壓下短基極和長基極二極體少數載 子儲存電荷的數量。 解: 由方程式 (5.124)、(5.125)2 和 (5.114),使用 L2n Dn n Qs ( 短基極 ) 1 WB Qs ( 長基極 ) 2 Ln 如同典型的雙極性電晶體,WB = 0.1µm 且Ln ≈ 31µm, 我們有 2 Qs ( 短基極 ) 1 0.1 6 5 10 Qs ( 長基極 ) 2 31 很清楚的,藉著使用短基極二極體可以大為降低 儲存電荷和關閉恢復時間。 Chapter 5 5.6 標準的pn同質接面 P 249 溫度效應 □ 考慮一個 n+p 二極體,由方程式 (5.79) q J0 N A Dn q N A Dn n n ni2 N C NV e E g / kT (5.126) 忽略 Dn , τn , NC 和 NV 的溫度關係且 Eg 是1/T 的指數關係,J0 隨溫度的微小變化為 E / kT dJ 0 de g Eg Eg 1 dT dT 2 Eg / kT J0 e kT kT T (5.127) Chapter 5 □ 對於室溫下的矽,這變成 1.12 1 0.14 0.026 300 或 J0 每℃約改變14%。 標準的pn同質接面 P 250