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VLSI製程 Bipolay Junction Transistor BJT 學生: 黃逸豪 M9630207 吳朝允 M9630208 老師: 蔣富成 大綱 電晶體的分類 雙極性接面電晶體BJT的結構 BJT的操作原理 BJT電路應用 BJT電晶體製造取向 BJT製程流程示意圖 自我對準技術 NPN BJT製程簡易圖 常見的電晶體外觀 結論 參考文獻 電晶體的分類 電晶體是具有三個電極的半導體元件,又稱為三極 體。依其結構可分為雙極性接面電晶體BJT及場效電晶體 FET兩類。 雙極性是指流經電晶體的電流由兩種不同極性的載 子所組成,即帶正電的電洞和帶負電的自由電子。 場效電晶體是利用電場來控制電流的大小,而且組 成電流的載子僅限一種極性,即電洞或是自由電子,故 又稱為單極性電晶體。 雙極性接面電晶體BJT的結構 雙極性接面電晶體(簡稱BJT)由三個摻雜濃度不同 的半導體區域組成,分成 pnp 和 npn 兩型。 這種電晶體含有兩個p-n接面,可視為由兩個pn接面 二極體,反向背靠背接合組成,其中間的一層稱為基極 區B ,其他兩層分別稱為射極區E和集極區C。 pnp雙極性接面電晶體的結構和電路符號。 npn雙極性接面電晶體的結構和電路符號。 B 的厚度必 須非常薄,約僅1微 米。射極區E的摻雜 濃度遠高於基極區 B ,而基極區B的摻雜 濃度又高於集極區 C 。 基極區 BJT的操作原理-以pnp為例 pnp雙極性接面電晶體的操作原理示意圖。注意 紅色箭矢代表電子流的流動方向,黑色箭矢為常規 的電流方向。 通過BJT電極間的電流關係 由於電晶體為電中性的元件,流入和流出的電流應相 等,即 IC和IE電流的比值,通常以α表示之, 電晶體的α值一般約為 0.99。 IC和IB電流的比值,通常以β表示之, 若α= 0.99,則β= 99。普通電晶體的β值約在80 ~ 200之間。 若電晶體的E-B接面為順向偏壓,且C-B接面能保持 逆向偏壓,則β值約為常數稱為電流增益。 pnp與npn的比較 npn電晶體的操作原理和pnp相同,只是電洞 和自由電子的角色互換。在npn中自由電子為傳 送電流的多數載子。 由於自由電子對電場的反應較電洞靈敏得多, 故在電路設計時,大多採用npn電晶體。 BJT電路應用 電晶體的功能—放大訊號 電晶體的功能—數位開關 BJT電晶體製造取向 電晶體在製造時,各區的寬度大小為:WC > WE > WB 1. 基極寬度WB必須小於基極中少數載子電洞的擴散 長度。通常WB會小於1um,若WB大於8倍的電洞擴散長 度時,則BJT可視為兩個PN反向串接,不具有放大作 用。 WB較短的優點: 載子通過基極時間較短,速度較快。 載子到達集極數目較多,電流增益α及β直較大。 WB較短的缺點: 歐來效應明顯,基極區有效寬度W減少,元件容易被 貫穿引起崩潰。 2.BC接面面積大於BE接面面積,可提高載子通往集極 的收集率,並擴大散熱面積。 BJT製程流程圖示意圖 自我對準技術 NPN BJT製程簡易圖 先在以P為基底的晶圓上植入五族元素As,使他成為n+ 製作p通道停止層、n磊晶層、與SiO2隔離層,在沉積 一層p+ poly,再用化學氣相沉積(CVD)沉積一層SiO2。 沉積SiO2。利用自我對準的方式植入B元素,形成基極。 用自我對準完成射極與集極,完成一個NPN BJT電晶體。 常見的電晶體外觀 常見的雙極性電晶體的外觀,各圖像下方的符號為封 裝代碼。 結論 開關速度快 能量消耗大 在元件密集的情況下散熱不佳 現以mos代 替,除了一些元件,如高電能元件。 參考文獻 (1) 半導體工程-先進製程與模擬/James D. Plummer、 Michael D. Deal、Peter B. Griffin 原著,羅正忠、 李嘉平、鄭湘原 譯著/普林斯頓國際有限公司/2002年。 (2) 半導體製程技術導論/HONG XIAO 原著,羅正忠、 張鼎張 譯著/台灣培生教育出版股份有限公司/2002年。 (3) 半導體元件物理與製程技術 /施敏 原著, 黃調元譯著 /國立交通大學出版社/2006年。 參考網址 半導體科普技話網站 http://163.25.149.37/semi/semi_index.html