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以Li0.05(Kx Na1-x)0.95 (Sb0.06 Ta0.04 Nb0.9)O3 製備圓型薄片壓電陶瓷塊材 指導老師 : 鄭建民 學生 : 梁書華 1 球磨 • 將調配好的粉末與瑪瑙珠、無水酒精,混合在一 起,置入密封容器,在將容器放置在粉末混合器, 混合時間為6小時,使粉末能混合均勻。 2 溶液蒸發 • 將混合均勻的粉末,倒入燒杯中,將瑪瑙珠取出, 在將燒杯置入烘箱設定100℃,待無水酒精蒸發, 粉末成固狀。 3 煆燒 • 將凝結成固狀的粉末,搗碎至較微粒,在將粉末 放置於杯狀坩鍋,設定每分鐘升溫5℃至890℃在 持溫6個小時,待降溫之後取出。 4 球磨 • 將煆燒完成的粉末再與瑪瑙珠、無水酒精,混合 在一起,置入密封容器,在將容器放置在粉末混 合器,混合時間為6小時,使粉末能混合均勻。 5 溶液蒸發 • 將混合均勻的粉末,倒入燒杯中,將瑪瑙珠取出, 在將燒杯置入烘箱設定100℃,待無水酒精蒸發, 粉末成固狀。 6 黏劑 • 將粉末加入黏劑,以致壓制塊材較易成功,但黏 劑如加過多,去黏劑時會導致塊材空隙過多,特 性會差異許多,因此要加入適當的黏劑。 7 篩粉 • 使粉末顆粒均勻,會影響壓電特性,粉末粒徑不 均勻,會使得壓制塊材造成不均勻的擠壓,特性 對此會有影響。 8 壓製圓型陶瓷塊材 • 用模具將所篩粉完成的粉末進行壓製,厚度約為 1mm,直徑約為10mm,壓製時塊材不能有裂痕, 會使後面量測阻抗時,產生較大的介電損耗。 9 去黏劑/燒結 • 將壓製完成的圓型塊材,使用高溫爐去黏劑,升 溫分成三階段為200℃、400 ℃ 、600 ℃,各持溫2 小時,因黏劑會造成塊材中有空隙,會造成塊材 品質不好。 • 接著進行燒結,溫度為1090 ℃,持溫8小時。 10 電極 • 因陶瓷塊材不導電,須使用銀膠塗抹正反面,使 其導電,銀膠所用的是高溫銀膠,工作溫度為750 ℃持溫10分鐘。 11 極化 • 將塗抹完的圓型陶瓷塊材,使用極化槽極化,溫 度為150 ℃,電壓為3500 V/mm ,極化時間則是30 分鐘。 12 阻抗/電容 • 將四種不同參數進行量測, • 阻抗頻率約為340~349 KHz , • 電容值約為582~620 pF • 電壓為33~40 mV 13