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一.簡
介:陰影疊紋法（Shadow Moire’）
1.為一非接觸性,非破壞性的檢測方法,可用來量測物體的
面外位移,其具有全場性且架設簡單,解析度可藉由改變
光柵的疏密度來調整,因此很適合於量測物體的面外變形.
2.簡單的說,將一組重覆出現的暗亮條紋互相疊合在一起,其
所呈現的紋路就是雲紋.若在待測物體表面有一組條紋,則
隨著物體表面的形狀變化,其條紋會隨著扭曲變形,此變形
的條紋與事先架設之參考條紋相疊合即產生疊紋,也可以稱
做雲紋,此種雲紋與物體表面形狀以及光線投射路徑有某種
相依的幾何關係,利用此種關係即可計算出物體的變形,而
陰影疊紋法即是應用這基本原理衍生而出的光學量測技術
(面外位移:Z軸方向的變化量)
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二.原
理
陰影疊紋法（Shadow Moire），其為利用一光柵即可達到
干涉來量測面外位移的技術，參考光柵置於試件表面上方，
一點光纖光源照射光柵，參考光柵因照射產生一陰影光柵
於試件上，陰影光柵和參考光柵本身干涉而產生條紋，分
析這些條紋即可得出物體的變形量
β
α
陰影疊紋干涉條紋圖
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三.公 式
The shadow moiré fringe count is related to outof-plane deformation (warpage) using the fringe
constant calibration formula
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N = Fringe order(條紋數)
p = grating pitch(光柵的線寬或條紋密度)
α= angle of illumination(入射光源與光柵的法線夾角=45°)
β= angle of observation(CCD與光柵的法線夾角=0°)
W = out of plane (normal) displacement or warpage
(面外位移量)
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