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白光干涉儀原理
• 光的波動性。
– 利用待測物表面反射光線與參考面的反射光產生干涉。
• 光的同調性
– 白光同調性較低，產生干涉範圍只有幾微米，且只有相位0°時有
最大干涉強度，因此可以準確的測定出物體表面高度。
• 由於光的波長為數百nm，經由七步相位移演算法計算光
的強度變化，可以使位置解析度達到nm等級(10-9)。
光的波動性
• 邁克森干涉儀
a
b
c
干涉條紋
a
光源
參考平面
待測平面
b
c
光的同調性
1
1
2
3
2
0
同調性高
0
同調性低
七步相位移演算法
干涉強度最大的地方的光強度方程式
考慮7個不同位置且相鄰位置間的相位差為
I ( z )  I 0 ( z )(1   g ( z ) cos  ( z )
的光強度值
解聯立方程式得到
為
位置的相位值，因為PZT每推動
會造成
的相位差，因此可求得到峰值位
置的間距