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1. 수직양면 스프레이법과 Spray-Down법의 장비 size비교에 따른 생산성 비교
2. 종래 방식인 수직양면스프레이법과 Spray-Down법의 생산성 비교
구분
수직양면 스프레이법 (기존 방식)
Spray-Down방법 (이코니 방식)
폴리싱 효과
표면에 직각으로 직접 분사하므로 폴리싱 효과를
표면을 따라 흘러내림으로써 돌기 등 결함(defect)
기대하기 어렵다.
을 저감시키므로 폴리싱 효과를 기대할 수 있다.
(polishing)
소형 : 생산성 낮음 18매 생산/turn
생산성
중형 : 생산성 낮음 8매 생산/turn
(turn당 처리매수)
대형 : 생산성 낮음 2매 생산/turn
표면 품질
우수
소형 : 기존대비4배 72매 생산/turn
중형 : 기존대비6배 48매 생산/turn
대형 : 기존대비 약10배 이상
26매 생산/turn
매우 우수
3. 국내외 유사․경쟁기술과의 특징비교(정량적 비교)
정량적
평가항목
적용기술(당사기술)
국내 유사·경쟁기술
선진국 유사·경쟁기술
(기술명: 양면스프레이)
(기술명: 디핑법 )
(회사명: 기타에칭업체)
(회사명: 나가세산업)
에칭 방법
Spray-Down법
수직양면 스프레이법
디핑(Dipping)방법
적용 Size
(카세트 투입 방식)
(매엽식)
(카세트 투입 방식)
생산성
1100 x 1300 (mm2)
1100 x 1300 (mm2)
590 x 670 (mm2)
(매수/batch)
30 매
2～4 매
12～15 매
가능 두께
0.5 mm
0.6mm
Size차이로 비교불가
(현재 수준)
무연마 70%수준
무연마 40%수준
연마 필수
표면 품질
16,500원/매
20,000원/매
25,000원/매
Etchant
용해성
Sludge 입자성
Sludge 입자성
Cost
(표면품질 우수)
(입자로 인한 돌기발생)
(입자로 인한 돌기발생)
2009. 01
2007. 07
2000년대 초
Sludge 특성
기술개발완료시기
4. 개발기술 적용제품의 개요
⃞ 제품의 사진 또는 개략도, 구성도
그림. 개발기술 적용 제품인 TFT-LCD Slim Panel과 적용 완성제품