Transcript 반도체 제조장치(Stepper, Wafer검사장비 등)

Linear Motion Unit (X-Y STAGE)
製品の用途及び性能
• 반도체 제조공정의 NANO SCALE의 초정밀 위치 제어가 가능.
• 반도체 제조 장비에 장착 되어 정밀 왕복 이송 가능.
• 친 환경성 ,초정밀 위치 결정 성능 동시 확보.
- Stroke : 350Х350 mm
- Straightness / Position Accuracy / Repeatability : 200 nm
- Rail 평면도 ,직진도,평행도 : 2 ㎛ 이내
<ceramics X-Y stage>
<ceramic Z stage>
位
置
決
定
度
< Motion error 측정 결과>
<개발동향>
석정반
주철(FCD 300)
세라믹 (ALUMINA )
곡 강 도 [M pa]
20
500 ~ 6276
360
흡 수 율 [%)
4.61
0.0016
0
선 팽창 계수 [x-10-6/℃]
7.89
9.2 ~ 11.80
6.8
구
분
• 활용분야: 반도체 제조장치(Stepper, Wafer검사장비 등)、 IT장비(X-Y stage 등)、
정밀 측정기기(3차원 측정기、 자동화 기계(산업용 Robot)、 MICRO 공작기계.
MAX TECH. Co. Ltd
대구광역시 달서구 신당동 321-152
TEL : 82-53-564-7720 FAX : 82-53-564-7721
www.newceramic.com
E-mail : [email protected]
Porous Ceramic Vacuum Chuck
Vacuum 1000liter/min
porous ceramic 흡착 원리
•다공질 세라믹의 미세기공에 의한 전 영역에 균일 VACUUM 압력 전달
•미세 기공에 의한 미 부착 면 부분의 진공 손실이 최소화 되어 흡착 가능
부분 흡착 가능
다공질 세라믹의 전자 현미경 사진
기공도 10~48% 기공 SIZE 3~5㎛
Spec.
Porous Ceramics
Density
1.8 g/c m 3
Porosity
45~48%
Bending Strength
50 Mpa
Young’s Modulus
50 Gpa
1200mmX1400mmX0.4T Glass 흡착
MAX TECH. Co. Ltd
321-152, Shindang-Dong, Dalseo-Gu, Daegu, KOREA
TEL : 82-53-564-7720 FAX : 82-53-564-7721
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