Transcript 중고장비 18종의 해체 및 이설 규격서

중고장비 18종의 해체 및 이설 규격서
문의처
변상섭선임(NCNT)
연락처
054-279-0234, 010-9339-8369
1
1. 장비 LIST
No
장비명
Maker
Model
수량
용 도
1
I-Line Stepper
NIKON
NSR 2205 i11
1대
미세공정용
2
I-Line Stepper
NIKON
NSR 2205 i11
1대
METAL공정용
3
PR Track
TEL
MARK-7
1대
미세공정 PR도포 및 현상용
4
Poly-Si LPCVD
TEL
ALPHA-805SC
1대
DPoly Depo용
5
Poly-Si LPCVD
TEL
ALPHA-808SCN
1대
DPoly Depo용
6
Pyro Ox. Furnace
TEL
ALPHA-805D
1대
High Temp Aneal용
7
Pyro Ox. Furnace
TEL
ALPHA-805D
1대
High Temp Aneal용
8
Pyro Ox. Furnace
TEL
ALPHA-805D
1대
High Temp Aneal용
9
Pyro Ox. Furnace
TEL
ALPHA-805D
1대
Back Side Aneal용
10
Pyro Ox. Furnace
TEL
ALPHA-805D
1대
Alloy용
11
Dry Etcher
LAM
A-4528
1대
Oxide Etch용
12
Dry Etcher
LAM
A-4528
1대
Oxide Etch용
13
High-Current Implanter
VARIAN
VIISION 80
1대
P+ , N+ , B_Imp용
14
PECVD
AMAT
P-5000
1대
TEOS DEPO용
15
PR Asher
PSK
DAS2000
1대
Metal Strip, Dust Etch용
16
Back Side Grinder
DISCO
DFG840
1대
Back Side Grinding용
17
UV Exposure
DISCO
DFD640
1대
18
Dicing Saw
Lintech
RAD2000F8
1대
2
비고
1-Coat / 2-Dev
2. 업무 범위 및 내용




지정장소에 있는 각 장비를 ‘해체 및 운송 시 요구사항’을 준수하여 해체 및 반출한다.
해체 전 검수하여 Missing Parts와 장비 상태를 점검하여 ‘사전검수 Report’를 작성 제출한다.
Closing Fab 안에 있는 장비 18대를 해체 한 후 ‘Packing List’를 작성 제출한다
반출하여 업체의 공장에 입고 한 후 Cleaning 및 검수를 실시 한 후 ‘중간검수 Report’를 작성 제출한다.
 검수 시에는 Power Turn-on하여 Control Board와 각 부품의 동작 상태를 Check하고 그 결과를 검수
Report에 명기하며 ‘불량 Parts List’가 포함 되어야 한다.
 검수 Report가 제출되면 NCNT 담당자가 확인하여 ‘검수완료보고서’가 승인 되어야 한다.
 승인이 완료 되면 NCNT가 지정한 일정에 맞춰 NCNT로의 운송 및 입고 처리를 한다.
 NCNT의 지정장소까지 안전하게 반출, 운송, 반입하여야 한다.
 반입 후에는 Power Turn-on하여 고장 발생유무 및 파손여부 확인하며 업체에서 작성된 검수 Report에
명기되지 않은 추가 불량 Parts 발생시 운송과정에서 발생한 것으로 간주하여 업체에서 수리하여야 한다.
 모든 장비의 반입 및 검수가 완료되면 ‘최종검수 Report’를 작성 제출하며 이를 근거로 NCNT 담당자의
최종 확인 후 ‘최종검수보고서’가 승인 되면 대금은 일시에 지급한다.
 소요되는 경비(해체, 반출, 운송, 반입, 도비 등) 일체의 경비를 포함하며 추가비용은 청구할 수 없다.
 해체/반출/운송/반입 등 전 과정에서 발생한 사고에 대해서는 업체에서 모든 책임과 변상을 하여야 하며
이를 담보하여야 한다.
 반출 업체 및 NCNT의 보안규정/청정수칙/안전규정 등 제반 규정을 철저히 준수하여야 하며 위반 시 발생
하는 모든 책임은 업체가 져야 한다.
3
3. 해체 및 운송 시 요구사항
 해체 시 필요한 도비,운송,포장,중장비 등의 장비 수리 외 부분을 모두 포함한다.
 전용 Locking tool을 신규로 제작하여 모든 부위를 locking 하도록 하고 사용 후 NCNT에 제공한다.
 전용 Catch pallet 를 이용하여 Moving in/out에 사용 하도록 한다.
 장비 반출/입 시 반도체장비 전문 도비업체를 선정하여 진행한다.
 이동 시 온,습도 및 진동을 관리 할 수 있는 무진동 차량을 이용한다.
 동한기 이동 시 동파방지를 위하여 온/습도에 민감한 부위를 모두 Covering 조치를 하여야 하며 동파
발생시 업체에서 원상복구 또는 변상한다.
 모든 배관 및 Tank의 Chemical 및 Water등을 전량 제거 한다. (Valve 및 Flow meter 內 포함)
 모든 장비의 배관 Connector 부위는 End Cap으로 마감 처리 한다.
 운송 시에는 장비의 본체에 Tilt sensor & Shock sensor를 부착하여야 한다.
 포장 시 Air cap / 투명 렙 / 청렙 순으로 하여야 한다.
 지정된 일정 내 검수 및 해체 가능해야 하며 해체기간 중 장비의 사양서 및 Config, Utility 사양서를
제출하여야 한다.
 반출 및 반입 통로를 사전에 확인하여 통로 확보를 위하여 추가 작업 필요 시 업체에서 실행하고 이를
견적에 포함 하여야 한다. ( 미포함 비용은 추가청구 할 수 없다 )
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