Transcript Gas Cabinet 사양서 (NF3 1Bottle Semi

Gas Cabinet 사양서
(NF3 1Bottle Semi-Auto)
Gas Supply System 구성
1.
Gas Cabinet Case 구성
1 BOTTLE BOX 형
*적용 GAS명: NF3
Case Material
SS41 2.3t
방폭 유리
철심망 5t(Defense Film Option)
검사 압력
14.7Mpa(약 150bar)
Painting
Structure Powder(분체열처리/아이보리)
Cylinder
Dimension(mm)
1 Bottle
500 X 550 X 2050
UTILITY
SECTION
SIZE
TYPE
FLOW
RATE
REMARK
PROCESS
1/4”
Male VCR
-
-
VENT
1/2”
Male VCR
40~60
LPM
-
PURGE N2
1/4”
Male VCR
45~60
LPM
Purge용
(60-100 PSIG)
GENERAL N2
1/4”
SWAGELOK
50~60
LPM
Venturi용
(60~100PSIG)
Vent Line의 효율성을 높이기 위해 적용된 Vacuum
Generator를 구동해 주기 위한 N2 공급 Line.
LEAK CHECK
He
1/4”
Male VCR
1500PSIG이상
(SiH4)
Bottle change 및 Part’s 교체 등 배관 자체 Gas 누출을
Check하기 위해 He 또는 기타 Gas를 가압 공급해주는
Line.(사용하는 Gas의 1.25배 이상의 압력이 필요함)
SPRINKLER
1/2”
LOK TYPE,
FEMALE
32 GPM
31PSIG
DAMPER
100Φ
DUCT
180~235
CFM
10 ~ 20 mmH2O
AIR SUPPLY
1/4”
SWAGELOK
30~45
LPM
Valve구동용
(60~80PSIG)
목
적
사용하고자 하는 Gas의 공급 Line
Bottle 교환 및 Process Down 시 배관 내에 잔류하는
Gas를 배출해주는 Line.
배관 내 잔류하는 Gas를 원활하게 배출할 수 있도록 하며,
배관 내부를 청소하기 위해 N2를 공급해 주는 Line.
Gas Cabinet내의 Gas누출 및 기타사유로 화재가 발생
하였을 때 물을 공급하여 소화하기 위한 장치 및 Line
EXHAUST(연결배관은 Φ100 이상 연결 요망)
Air Valve 및 기타 장치를 구동하기 위한 Line(N2)
Controller 구성(OMRON PLC)
시스템 사양
구
분
내
역
적용 가스
NF3
가스 공급 방식
Semi - Auto
PLC
제어 시스템
Push Button 제어방식
Auto Recovery System(Not Available)
전원사양
AC 208~240V, 3A, 60Hz, 단상/3상
사용환경
온도 : 5 ~ 35℃
습도 : 0 ~80%(Non-Condensing)
소음
70 dB 이하
Option 사항
Valve Shutter, Leak Detector, Weight Scale