Transcript QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ VÀ ỨNG DỤNG Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng.

QUANG PHỔ NGUYÊN TỬ
VÀ ỨNG DỤNG
Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
Địa chỉ bạn đã tải:
http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html
Nơi bạn có thể thảo luận:
http://myyagy.com/mientay/
Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí:
http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html
Dự án dịch học liệu mở:
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html
Liên hệ với người quản lí trang web:
Yahoo: [email protected]
Gmail: [email protected]
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Thực hiện:
Trần Minh Đạo
Phạm Kim Ngọc
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
I. Cấu tạo
II. Nguyên lý hoạt động
III. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng:
a) Loại màng
b) Stylus tip và force tip
c) Parameters
d) Ưu và nhược điểm
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
CẤU TẠO
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL
TRANSFORMER
TÍN HIỆU AC
LVDT
MẪU
CHUYỂN ĐỔI A/D
ĐẾ
MÁY TÍNH
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
LINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
S S
P P
S S
S
P
S
P
S
S
A
S S
P P
S S
S S
P P
S S
S S
P P
S S
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
x(t)
Sóng
mang
Lớn hơn 10
lần
t
Cùng tần số
Amplitude modulator
V(t)
t
lọc
Tín hiệu ra
Chỉnh lưu
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan length

30µm to 30 mm

Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu

100µm - 500µm thực tế???
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Scan speed






Khoảng cách quét - lực quét
Duration: 3 - 200sec
Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec)
Data Points/Scan = Scan length(µm) /
Horizontal Resolution (µm)
Low speed ( + low force + noise) ?
High speed ??
(5 - 10µm/sec) ideal?
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus force




1mg – 15mg (< 1mg)
Loại màng, pp chế tạo?
Low force  ?
High force ?
Stylus tip?
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Stylus tip

Diamond tip

R= 0.2 25µm (12.5µm)
stylus

Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) +
vận tốc quét
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Parameters






Maximum sample thickness 31.75 mm
Vertical range 262 micron.
X-Y stage translation 20 mm x 80 mm
vertical data resolution 1 A at 65kA range
Z-height capability 1 mm ??
Color video camera with manual zoom optics
70-280X
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Roughness









Maxdev (Maximum Deviation)
MaxRa (Maximum Ra)
Ra (Average Roughness)
Rp(Maximum Peak)
Rq (RMS)
Rt (Maximum peak to valley)
Rv (Maximum valley)
Rz_din (Ten points height average)
Skew (skewness)
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Waviness






Wa (Arithmetic average of waviness)
Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness)
Wp (maximum peak of waviness)
Wq (Root – Mean – Square of Waviness)
Wt (Maximum peak to valley of waviness)
Wv (Maximum vallley of waviness)
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Height








ASH (Delta Average step height)
Avg Ht (Average Height)
HSC (High spot count)
Pc (peak count)
Peak (Maximum peak)
P_V (Maximum peak to valley)
TIR (Total Indicated reading)
Valley (maximum valley)
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Analytical Functions - Geometry







Area (Area under the curve)
Perim (Perimeter)
Radius
Slop
Sm (Mean spacing between peaks)
Tp (Bearing ratio)
Volume
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
ưu và nhược điểm