Transcript 氷水洗浄


洗浄装置

洗浄装置
氷水洗浄システム(ハイブリッド）　図-3a
洗浄機
クリンルーム内
クリンルーム内
圧縮空気ライン
ブラスト
フレーク氷水
ライン
M
P
Dr1
P
液面
制御
過冷却氷
ライン
Ｖ
クリンルーム内
純水ライン
T
ｓｖ
P
P
氷粒混合槽
P
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
ﾄﾞﾚﾝ
屋内
製氷機
製氷機
過冷却製氷機
（純水系）
純水供給
ライン
-1.2℃
M
M
フレーク製氷機
（市水系）
圧縮機
液面
制御
ｓｖ
蒸発器
T
F
P
P
液面
制御
AF
貯氷タンク
純水装置
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
P
T
ユニット
クーラー
HD
給水槽
貯氷タンク
ＴＰ
余熱器
過冷却器
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
ｓｖ
P
温ブライン
純水供給
約25以下
屋外
ＣＤＵ
ユニット
クーラー
CDU
市水
圧縮空気
氷水洗浄システム(ハイブリッド）　図-3a
洗浄機
クリンルーム内
クリンルーム内
圧縮空気ライン
ブラスト
フレーク氷水
ライン
M
P
Dr1
P
液面
制御
過冷却氷
ライン
Ｖ
クリンルーム内
純水ライン
T
ｓｖ
P
P
氷粒混合槽
P
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
ﾄﾞﾚﾝ
屋内
製氷機
過冷却製氷機
（純水系）
フレーク製氷機
（市水系）
純水供給
ライン
-1.2℃
M
液面
制御
ｓｖ
T
AF
貯氷タンク
純水装置
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
T
HD
P
ＴＰ
余熱器
過冷却器
ｓｖ
P
温ブライン
純水供給
約25以下
屋外
ＣＤＵ
ユニット
クーラー
市水
圧縮空気
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
製氷機
M
フレーク製氷機
（市水系）
純水供給
ライン
圧縮機
蒸発器
T
F
P
P
液面
制御
AF
純水装置
T
ユニット
クーラー
HD
給水槽
貯氷タンク
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
ｓｖ
純水供給
約25以下
ユニット
クーラー
CDU
市水
圧縮空気
氷水洗浄システム(大規模ー蓄氷）　図-3b
クリンルーム内
ブラスト
洗浄機
M
P
ＳＶ
氷粒混
合槽
P
氷粒混合槽
氷粒混合槽
液面
制御
T
ｓｖ
P
P
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
ﾄﾞﾚﾝ
クリンルーム内
純水ライン
クリンルーム内
圧縮空気ライン
屋内
蓄氷の場合
製氷機
-1.2℃
純氷水ライン
純水供給ライン
製氷部
上水氷ライン
M
ｓｖ
T
砕水部
圧縮空気
貯氷タンク
純水装置
ｽﾗﾘｰﾓﾆﾀｰ
P
P
ＴＰ
氷水槽
余熱器
過冷却器
ｓｖ
P
温ブライン
屋外
純水供給
約15℃以下
上水
ＣＤＵ
ユニット
クーラー
蓄氷部
2次評価結果
パーティクル数(No.1～7 >0.16um , No.8～23 >0.11um)
Wfr. No.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
テスト内容
参照ウェハ
N2清浄度
純水清浄度
通常処理清
浄度
洗浄力評価
1
洗浄力評価
2
洗浄力評価
1
洗浄力評価
2
N2(MPa)
純水(l/min)
距離(mm)
角度(°)
処理時間(sec)
0.25
0.25
無し
無し
0.25
0.25
0.25
0.25
0.25
0.35
0.35
0.25
0.25
0.25
0.25
0.35
0.35
0.25
0.25
0.35
0.25
0.35
無し
無し
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
50
50
50
50
50
50
50
30
10
30
10
30
50
30
10
30
10
30
10
30
10
30
90
90
90
90
90
90
90
90
90
90
90
60
90
90
90
90
90
60
60
60
60
60
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
45
Pre
24
11
2
9
1
1
2
5135
4978
5173
5147
5099
5218
5265
5115
5117
5078
5131
5238
5177
5069
4999
5162
Post
1191
1581
2901
>48903
>65687
>70357
>70339
21485
27859
47618
47867
34476
44578
13477
41586
28583
37152
33617
39501
38940
24350
32209
22906
増加数
1167
1570
2899
>48894
>65686
>70356
>70337
除去数
除去率
86
47
49
69
157
99
2634
1138
1586
846
1240
1118
114
228
1866
1813
1.67%
0.94%
0.95%
1.34%
3.08%
1.90%
50.03%
22.25%
30.99%
16.66%
24.17%
21.34%
2.20%
4.50%
37.33%
35.12%
氷水流量＝1.0L/min N2流量-->0.25MPa=61L/min,0.35MPa≒85L/min
ステージ回転数：50rpm
注：パーティクルの増加数が多すぎるので、通常の方法では除去率が計算できないため、
パーティクルの除去数を、処理前と処理後のパーティクル座標比較によるデータ処理
によって導き出して除去率を計算した。 データ処理の都合上、 φ１４０mm での結果と
した。（外周部 30mm はカット）
2
•氷のサイズ（大きさ）変えられる
•硬い氷ができる
•使用目的に応じたコンタミ管理
•製氷能力100kg/H以上