Transcript How To Use SEM

How To Use SEM
2007March
Kojima
付属の説明書もしっかり読むこと
細かい点はDVDを参照してください。
1
日常点検事項 １
窒素ボンベの圧力
2次圧= 0.35~0.5 MPa
冷却装置 水温=
20±5 ℃
水の量は大丈夫？
冷却装置はB電源をONに
したとき（観察時）に動作
する。
UPS装置
2
日常点検事項 2 （真空系）
バルブの状態（通常）
ペニングゲージ
= Low 側で振り切れ
イオンポンプ
GUN= 2E-8 Pa
INT = 4E-8Pa
3
スイッチ類の場所
STIGMATOR
走査速度
FOCUS
倍率調整
FREEZE
二次電子像
明るさコントラスト
PROBE
4
スイッチ類の場所
フラッシングSW
COMP TOPO
明るさコントラスト
ALIGNMENT
SEI COMP
TOPO 選択
(X,Y)つまみ
引出電流リセット
WOBBLER
加速電圧SW
5
スイッチ類の場所
可動絞りノブ
X
Y
イオンポンプ
試料交換棒
6
スイッチ類の場所
Xステージの粗動つまみ
X,Yステージ （微
動）
7
スイッチ類の場所
V7CLOSE
明 強制CLOSE
暗 ACC Vと連動
B電源スイッチ。
上がON（キースイッチが連動）
下がOFF（真空系だけ維持）
8
電源を入れるとき
B電源スイッチを上に
（電源を切るときは下げる）
キースイッチをSTARTへ
回して手を離す
9
基本画面
キーボードのPF1を押すとこの画面に戻る
加速電圧が切れているのを確認する。
10
観察準備
キーボードのPF2を押して設定画面を表示
テンキー1,2,3,4押すとEOS-1~4がそれぞれ表示される。
11
試料交換その前に...
①ステージを必ずX = 1.20, Y= 1.20 に戻す。
② 加速電圧が切れているの
を確認する。
③ V7が閉じていることを確認
する。
④ 傾斜がかかっていないことを確認。
12
試料交換 試料を出す
① 試料交換棒を止まるところまで引っ張る。
② 手前に止まるところまで回転させてさらに引き抜く
③ 交換棒をホルダに置く
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試料の交換
① ストッパーを外して試料ホルダを取り出す
② 試料ホルダを入れてストッパーを押して固定する
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試料の挿入
① 試料ホルダがしっかり固定されているか確認。
② 交換棒をガイドに合わせて止まるところまで挿入する。
③ ロータリポンプでの粗引きが開始（EVACランプ点灯）
④ EVACランプが消灯するのを確認して棒を奥に回転させ
てさらに止まるところまで挿入する。
⑤ ペニングゲージで圧力が良くなる（1 E-4Pa)まで待つ
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二次電子像の観察
① 加速電圧（0.5 kV~15 kV)を設定入力する。
カーソルを合わせてINSキーで入力
② ACC ACCELボタンをONにして加速電圧を印加す
る。電子銃からの引き出し電流が8.0μAになるまで
待つ。（EXTRACT V ＝7~8 kVでGUN交換）
③ V7CLOSEを解除して（暗灯）像を出す。
④ FOCUSを合わせて像を観察する（続いて軸調整）。
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軸調整（３項目）ゴミみたいな目標物を見つける。
① 倍率×5000でGUN Alignment
CL(Probe Current)=8→4にした時に像の動きが最小と
なるようにGun Alignment（X,Y)で動いた分だけ戻す。こ
の作業を繰り返して動きを最小にする。
② 倍率×10000でOL-AP調整
CL =5にしてEOS-2画面でHRをALCL2にする。ここで像
が上下左右に移動したら移動が最小となるように可動絞り
X、Yノブで調整する。終わったらHRに戻す。
③ CL調整
EOS-1でGUNをCLにする。WOBBLERボタンを押して
像の移動が最小となるようにGun Alignment (X,Y)で調
整する。
17
FOCUS合わせ
① FOCUS調整
前項の軸調整が済んだらFOCUSを合わせる。
② その状態でさらにSTIGMATOR（X,Y)で最もFOCUS
が合うところを探す。
以上で調整終わり、XYステージで目的の場
所を観察する。
さらに高倍率で見たいときでFOCUSだけではきれい
な像が見られないときはその倍率で前項の軸調整(3
項目）を再び行う。
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像の撮影
① 軸調整、FOCUS合わせは終了しているとして
② SCAN SPEEDをSLOWにして画像を撮る。（右画面）
撮り終えたらFREEZEボタンで像を止める。
この画像をキャプチャする。
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反射電子像の観察準備
二次電子像で前項までの各調整が終わっている状態で
行うこと。加速電圧は5 kV以上
① 傾斜の確認（超重要！！）
傾斜がかかっていると検出器と衝突するので必ず傾斜を
0°に戻す。
② V7CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。
③ 反射電子検出器の挿入
検出器のロックを解除（奥側へ回転）して鏡筒内部へ挿
入する。このとき真空で入っていくので徐々に入れる。
④ V7CLOSEボタンを暗灯させてバルブを開ける。
20
反射電子像の観察
① 操作パネルのCOMPO、TOPOボタンを押して観察。
② SCAN SPEEDはSLOWで行う。（信号量が少ないから）
③ 反射電子像用のCONTRAST BRIGHT 調整つまみ
で明るさ、コントラストを調整する。
第二CRT（右モニタ）には設定画面が移りこんでいる
のでキーボードのPF1ボタンで消すことも可能。
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反射像の終了
反射像を使わないとき、観察を終了する前には必ず検出器
を抜く！！
① V7 CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。
② 検出器を止まるところまで引っ張る。
③ 手前に回転させてロックをかける
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観察を終了するとき
① 反射電子検出器が抜いてあることを必ず確認。
② ACC VOLTAGEボタンを押して（消灯）加速電圧を切る。
③ V7CLOSEボタンを明灯させてバルブが閉まっていること
を確認する。
④ キーボードのPF1を押して基本画面に戻る。
⑤ B電源スイッチを下に下ろして真空系だけ動かしたまま電
源を切る。（キースイッチはONのままで良い）
⑥ 約5分後に冷却水装置が停止する。
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帰るときは安全確認
点検事項を確認する。さらに、
１．反射電子検出器は抜いてる？
２．V7はCLOSEか？
３．ペニングゲージはOKか？
４．GUN、INTの真空度はOK?
５．水漏れは無いか？
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日々のメンテナンス
・150時間に1回 強制フラッシング
・冷却水の水量チェック
・１年に１回 ターボ分子ポンプのバッテリー
交換（JEOLに注文）
・１年に１回 イオンポンプ用非常電源バッ
テリー（自動車用で良い、24V36Ah)交換
・ロータリポンプ用油チェック（JEOLに
注文）
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緊急時は
・ 加速電圧を切る。
・ V7CLOSEでバルブを閉める。
・ キースイッチをOFFにして装置全体を止める。
日本電子総合コールセンターへ
0120-134-788
装置名 JSM-6000FS
型名
162003-0005
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