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超純水製造設備プロセス比較
処理法
プロセス
特 徴
設備費安価
2段RO法
原水
前処理
脱CO2
RO
RO
純水槽
UV + CP + CF
回収システム
排水回収時
有利
P.O.U.
RO+CDS法
運転費安価
原水
前処理
脱CO2
RO
UV + CDS
純水槽
CP + CF
純水水質向上策 脱CO2を脱気に変更
UVをTOC-UVに変更
CFをUFに変更
回収システム
P.O.U.
脱酸素要求
TOC削減
微粒子削減